外延片磨边设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体的生产制造设备，具体涉及用于磨削处延片边缘的偏厚部分的外延片磨边设备。
【背景技术】
[0002]根据半导体生产工艺，金属有机化学气相沉积以热分解反应方式在诸如蓝宝石的衬底片上进行化学沉积反应，生长各种II1- V族、I1-VI族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料，从而形成蓝宝石外延片，但是，在半导体生长过程中会出现外延片边缘沉积较多，生产出的外延片边缘偏厚，从而直接导致后续工序异常，如:减薄后边缘厚度偏薄、激光切割时边缘区域氮化镓层划出白点、裂片裂不开等。损失外延片边缘几圈芯片，造成外延片的芯片优良率较低。
[0003]在蓝宝石晶片行业，有一种叫做倒角机的设备，其主要作用是磨削蓝宝石晶片两个面边缘的倒角。而针对带定位边的蓝宝石晶片，都要先找准定位边再分别对定位边与圆周边进行磨削。现有技术中用于对带定位边的蓝宝石晶片进行倒角的设备结构非常复杂、价格昂贵、效率较低，难以在市场竞争激烈的芯片行业推广使用。
【发明内容】
[0004]为克服现有技术的不足，本发明提供了一种外延片磨边设备，外延片磨边设备包括:承载外延片的承载装置，承载装置具有旋转电机和吸盘；进行磨边操作的磨削装置；以及控制磨削装置升降的升降装置；其中，磨削装置包括砂轮、驱动砂轮旋转的主轴电机以及支承主轴电机的壳体，主轴电机可枢转地连接到壳体，在磨边操作过程中，砂轮压靠在置于吸盘上的外延片的边缘上，主轴电机的转动轴线与承载装置的旋转电机的转动轴线倾斜成一角度，角度在磨边操作过程中随着主轴电机相对于壳体的枢转而变化。
[0005]根据本发明的一个方面，主轴电机安装到电机固定板，电机固定板在一侧通过转轴枢转连接到壳体。
[0006]根据本发明的又一个方面，主轴电机通过弹簧施力机构连接到壳体，弹簧施力机构提供砂轮相对外延片的压紧力。
[0007]根据本发明的又一个方面，弹簧施力机构包括提供砂轮压靠在外延片的边缘上的压紧力的调节拉簧，调节拉簧连接在主轴电机和壳体之间，随着主轴电机相对壳体的转动，调节拉簧对主轴电机施力。
[0008]根据本发明的又一个方面，当主轴电机安装到电机固定板，电机固定板在一侧通过转轴枢转连接到壳体时，调节拉簧的一端通过固定到电机固定板的与一侧相对的另一侧而连接到主轴电机，调节拉簧的另一端通过调节螺杆连接到壳体。
[0009]根据本发明的再一个方面，吸盘设置为圆形，吸盘的半径小于放置于吸盘上的外延片的定位边到圆心的距离。
[0010]根据本发明的再一个方面，承载装置的旋转电机通过安装座安装在外延片磨边设备的基板的下侧。
[0011]根据本发明的再一个方面，磨削装置通过安装架连接到升降装置，壳体可枢转调节地连接到安装架上。
[0012]根据本发明的再一个方面，安装架包括沿水平方向滑动的滑台，滑台设置有垂直支架和水平支架，壳体一端通过销轴可转枢转地安装在水平支架上，壳体的另一端与垂直支架相连。
[0013]根据本发明的再一个方面，在磨边操作开始之前，砂轮布置在吸盘上的外延片的上方，与外延片隔开一定距离，此时，主轴电机的转动轴线和旋转电机的转动轴线之间形成角度a，在磨边操作过程中，砂轮压靠在外延片的边缘上，吸盘和砂轮的转动轴线之间形成角度β，角度β大于等于角度a。
[0014]采用根据本发明的外延片磨边设备对外延片的边缘进行磨削减薄加工，解决了外延片边缘偏厚的问题，避免外延片在减薄、激光切割、裂片过程中的异常，提高外延片的芯片良率。
[0015]此外，采用根据本发明的外延片磨边设备，无需先找定位边即可同时实现圆周边及定位边边缘的磨削。
【附图说明】
[0016]图1为根据本发明的外延片磨边设备的正剖视图。
[0017]图2为根据本发明的外延片磨边设备的局部放大立体图，其中示出了外延片磨边设备中的磨削装置。
[0018]图3为根据本发明的外延片磨边设备的局部仰视放大立体图，其中示出了外延片磨边设备中的磨削装置。
[0019]图4为根据本发明的外延片磨边设备的磨边操作示意图。
[0020]图5为外延片的外形图。
【具体实施方式】
[0021]下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，在以下的描述中阐述了更多的下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，在以下的描述中阐述了更多的细节以便于充分理解本发明，但是本发明显然能够以多种不同于此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎，因此不应以此具体实施例的内容限制本发明的保护范围。
[0022]图1为根据本发明的外延片磨边设备100的正剖视图。如图1所示，根据本发明的外延片磨边设备100主要包括三个部分:用于承载外延片2 (通常为蓝宝石外延片)的承载装置、致动砂轮11以进行打磨操作的磨削装置以及控制磨削装置升降的升降装置。
[0023]如图1所示，根据本发明的外延片磨边设备100的承载装置包括吸盘3、转轴7以及旋转电机4。吸盘3构造成可通过真空吸附放置在其上的外延片2，优选地，吸盘3连接着真空抽吸装置(未示出)，在磨边操作过程中，当真空抽吸装置致动时，吸盘3产生的抽吸力应足够大到使保持放置在其上的外延片2在磨边过程中保持固定。吸盘3通常设置为圆形，其半径小于外延片2的定位边24到圆心26的距离A(参见图5)。转轴7的一端可转动地连接到吸盘3，转轴7的另一端通过连轴器41可转动地连接到电机4，转轴7的本体基本竖直地穿设过安装基板8。旋转电机4用作承载装置中的驱动机构，其通常安装在基板8的下方，旋转电机4通过安装座9固定到基板8的下侧。在磨边操作中，吸盘3通过旋转电机4驱动而作旋转运动，保持在其上的蓝宝石外延片随之转动。
[0024]图2和图3分别为以不同视角示出磨边设备100中的磨削装置的局部放大立体图。磨削装置主要包括砂轮11和作为砂轮11的驱动装置的主轴电机13。砂轮11和主轴电机13通过联接器12可旋转地连接。磨削装置还具有一个支承主轴电机13的壳体16，主轴电机13可枢转地连接到壳体16，而壳体16又可枢转地安装在用于将磨削装置连接到升降装置的安装架23上。
[0025]根据本发明，主轴电机13的转动轴线与承载装置中旋转电机4的转动轴线彼此倾斜形成一个角度，主轴电机13能够在磨边操作过程中相对于壳体16枢转，从而主轴电机13的转动轴线与承载装置的旋转电机4的转动轴线之间的角度可以随着主轴电机13的枢转变化。另一方，主轴电机13还通过弹簧施力机构(以下将详述)连接到壳体，该弹簧施力机构提供砂轮相对外延片的压紧力。这样，在磨边操作过程中，主轴电机13将始终使砂轮11压靠在置于承载装置上的外延片2的边缘上。
[0026]如图2和图3所示，主轴电机13与壳体16之间的枢转连接是通过电机固定板18和转轴34实现的。具体而言，主轴电机13安装在电机固定板18上，而电机固定板18又通过转轴34枢转连接到壳体16，从而通过电机固定板18可绕转轴34旋转带动主轴电机13绕转轴34转动。当电机固定板18连接到壳体16后，电机固定板18和壳体16形成了一个容纳主轴电机13的腔室。
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