异质结太阳能电池的制作方法_2

文档序号:8320851阅读:来源:国知局
根据权利要求1所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第一透明导电层为含氮 化娃、二氧化娃、钢锡氧化物或氧化锋的结构。
7. 根据权利要求2所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该导电端子为银质结构。
8. 根据权利要求1所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该P型结晶娃基板更具有相 对于该受光面的背光面,该异质结太阳能电池还包括: 第二i型非晶娃薄膜层,形成于该基板的背光面上; P型非晶娃层,形成在该第二i型娃薄膜层上; 第二透明导电层,形成于该P型非晶娃层上;W及 电极层,形成于该第二透明导电层上。
9. 根据权利要求8所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第二i型非晶娃薄膜层为 形成时通入氨气的结构,该P型非晶娃层为形成时通入氨气的结构。
10. 根据权利要求8所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第二透明导电层为氮化 娃、二氧化娃、钢锡氧化物或氧化锋结构,该电极层为银质结构。
11. 一种异质结太阳能电池,包含: P型结晶娃基板,具有受光面; n型非晶氧化层,形成在该P型结晶娃基板的受光面上;W及 第一透明导电层,形成于该n型非晶氧化层上。
12. 根据权利要求11所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该太阳能电池还包括导 电端子,形成于该第一透明导电层上,且外露出部分的该第一透明导电层W构成受光区域。
13. 根据权利要求11所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该n型非晶氧化层为经热 退火处理的结构。
14. 根据权利要求13所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该n型非晶氧化层为于 locrc至loocrc间进行热退火处理的结构。
15. 根据权利要求11所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该n型非晶氧化层为含 钢、嫁、锋或氧的结构。
16. 根据权利要求11所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第一透明导电层为含 氮化娃、二氧化娃、钢锡氧化物或氧化锋结构。
17. 根据权利要求12所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该导电端子为银质结构。
18. 根据权利要求11所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该n型非晶氧化层包括: n-型非晶氧化层,形成于该P型结晶娃基板的受光面上;W及 n+型非晶氧化层,形成于该n-型非晶氧化层上,其中,该第一透明导电层形成于该n+ 型非晶氧化层上。
19. 根据权利要求18所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该n-型非晶氧化层的厚 度小于该n+型非晶氧化层的厚度,且该n-型非晶氧化层的浓度小于该n+型非晶氧化层的 浓度。
20. 根据权利要求11所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该P型结晶娃基板更具有 相对于该受光面的背光面,该异质结太阳能电池还包括: 第一 i型非晶娃薄膜层,形成于该基板的背光面上; P型非晶娃层,形成在该第一 i型娃薄膜层上; 第二透明导电层,形成于该P型非晶娃层上;W及 电极层,形成于该第二透明导电层上。
21. 根据权利要求20所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第一 i型非晶娃薄膜层 为形成时通入氨气的结构,该P型非晶娃层为形成时通入氨气的结构。
22. 根据权利要求20所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第二透明导电层为含 氮化娃、二氧化娃、钢锡氧化物或氧化锋的结构,该电极层为银质结构。
23. -种异质结太阳能电池,包含: P型微结晶娃层,具有受光面及相对于该受光面的背光面; 第一纳米银线层,形成在该P型微晶娃层的受光面上; 第一 n型非晶氧化层,形成在该纳米银线层上; i型微晶娃薄膜层,形成在该P型微结晶娃层的背光面上; 第二n型非晶氧化层,形成在该i型微晶娃薄膜层上;W及 第二纳米银线层,形成在该第二n型非晶氧化层上。
24. 根据权利要求23所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该太阳能电池还包括: i型非晶娃薄膜层,形成于该第一 n型非晶氧化层上; P型非晶娃层,形成在该i型非晶娃薄膜层上; 透明导电层,形成于该P型非晶娃层上;W及 玻璃基板,形成于该透明导电层上。
25. 根据权利要求23所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该i型微晶娃薄膜层及P 型微晶娃层为形成时通入氨气的结构,该第一及第二n型非晶氧化层为经热退火处理的结 构。
26. 根据权利要求23所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第一及第二n型非晶氧 化层为于i〇(TC至loocrc间进行热退火处理的结构。
27. 根据权利要求23所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该第一及第二n型非晶氧 化层为含钢、嫁、锋或氧的结构。
28. 根据权利要求24所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该透明导电层为含氮化 娃、二氧化娃、钢锡氧化物或氧化锋结构。
29. 根据权利要求24所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该i型非晶娃薄膜层与P 型非晶娃层为形成时通入氨气的结构。
30. -种异质结太阳能电池,包含: n型非晶氧化层,具有受光面;W及 纳米银线层,形成在该n型非晶氧化层的受光面上。
31. 根据权利要求30所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该结构还包括导电端子, 形成于该纳米银线层上,且外露出部分的该纳米银线层W构成受光区域。
32. 根据权利要求30所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该n型非晶氧化层更具有 相对于该受光面的背光面,该异质结太阳能电池还包括: P型吸收层,形成于该n型非晶氧化层的背光面; 金属背接触层,形成W承载该P型吸收层;W及 基板,形成W承载该金属背接触层。
33. 根据权利要求30所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该n型非晶氧化层为含 钢、嫁、锋或氧的结构。
34. 根据权利要求31所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该导电端子为含媒或铅 的结构。
35. 根据权利要求32所述的异质结太阳能电池,其特征在于,该P型吸收层为含铜、钢、 嫁或砸的结构。
【专利摘要】本发明公开了一种异质结太阳能电池,包含具有受光面的p型结晶硅基板、形成在该p型结晶硅基板的受光面上的第一i型非晶硅薄膜层、形成在该第一i型非晶硅薄膜层上的n型非晶氧化层、以及形成于该n型非晶氧化层上的第一透明导电层。再者,本发明的异质结太阳能电池可选择性地不形成第一i型非晶硅薄膜层,而直接形成n型非晶氧化层,且所形成的n型非晶氧化层也可为依序形成的n-以及n+非晶氧化层。
【IPC分类】H01L31-0376, H01L31-077
【公开号】CN104638048
【申请号】CN201310654869
【发明人】陈玉鸿, 刘俊岑, 刘永宗, 林宸澄
【申请人】财团法人工业技术研究院
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2013年12月6日
【公告号】DE102014105910A1, US20150129025
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