。为了简要描述，可以省略该示例的与前面参照图3、图5A和图5B示出并描述的元件和特征相同或相似的元件和特征，并且将参照图13A和图13B来描述它们之间的差异。
[0122]参照图13A和图13B，栅极结构GL可以包括按照枚举次序顺序地布置的第一栅极结构GL1、第二栅极结构GL2和第三栅极结构GL3。在下文中，将把第一栅极结构GLl的第六栅电极G6称作第一串选择线SSLl，将把第二栅极结构GL2的第六栅电极G6称作第二串选择线SSL2，将把第三栅极结构GL3的第六栅电极G6称作第三串选择线SSL3。可以沿第二方向重复地设置第一串选择线SSL1、第二串选择线SSL2和第三串选择线SSL3。
[0123]当在平面图中观看时，结合到每条串选择线的竖直柱可以包括以锯齿形方式布置的第一竖直柱PLl至第四竖直柱PL4。当在平面图中观看时，第一竖直柱PL1、第二竖直柱PL2、第三竖直柱PL3和第四竖直柱PL4可以被布置成基本平行于第一方向Dl以分别构成第一列、第二列、第三列和第四列，并且第一列、第二列、第三列和第四列可以沿第二方向顺序地布置成彼此分隔开。第二竖直柱PL2可以从第一竖直柱PLl沿第一方向偏移第一距离，第三竖直柱PL3可以从第二竖直柱PL2沿第一方向偏移第一距离，第四竖直柱PL4可以从第三竖直柱PL3沿第一方向偏移第一距离。第一距离可以基本等于例如位线BL1-BL4的间距的两倍。在第一方向Dl上相邻的一对竖直柱可以彼此分隔开例如位线BLl至BL4的间距的四倍。
[0124]子互连件可以包括第一子互连件SBLl至第四子互连件SBL4。第一子互连件SBLl可以将与第一串选择线SSLl结合(或者穿过第一串选择线SSL1)的第四竖直柱PL4连接到第二串选择线SSL2的第一竖直柱PLl。第二子互连件SBL2可以将与第二串选择线SSL2结合(或者穿过第二串选择线SSL2)的第三竖直柱PL3连接到与第三串选择线SSL3结合(或者穿过第三串选择线SSL3)的第二竖直柱PL2。第三子互连件SBL3可以将与第一串选择线SSLl结合(或者穿过第一串选择线SSL1)的第三竖直柱PL3连接到与第二串选择线SSL2结合(或者穿过第二串选择线SSL2)的第二竖直柱PL2。第四子互连件SBL4可以将与第二串选择线SSL2结合(或者穿过第二串选择线SSL2)的第四竖直柱PL4连接到与第三串选择线SSL3结合(或者穿过第三串选择线SSL3)的第一竖直柱PLl。
[0125]子互连件SBL1-SBL4可以通过下部接触件152分别结合到竖直柱PL1-PL4。在平面图中，下部接触件152可以分别与竖直柱PL1-PL4叠置。第一子互连件SBLl至第四子互连件SBL4可以沿第二方向延伸。在某些实施例中，第一子互连件SBLl和第三子互连件SBL3中的每个可以分别包括朝着第一方向突出的第一凸起Pl和第三凸起P3，第二子互连件SBL2和第四子互连件SBL4中的每个可以分别包括朝着与第一方向相反的方向突出的第二凸起P2和第四凸起P4。凸起P1-P4可以位于分离绝缘层141上并且在栅极结构之间。
[0126]第一子互连件SBLl和第三子互连件SBL3可以沿第一方向交替地设置，第二子互连件SBL2和第四子互连件SBL4可以沿第一方向交替地设置。第一子互连件SBLl和第二子互连件SBL2可以沿第二方向交替地设置，第三子互连件SBL3和第四子互连件SBL4可以沿第二方向交替地设置。第一子互连件SBLl至第四子互连件SBL4中的每个可以连接到顺序地布置的四条不同位线中的相应的位线。例如，多个第一子互连件SBLl可以共同连接到第一位线BLl中的相应的第一位线BLl，多个第二子互连件SBL2可以共同连接到第二位线BL2中的相应的第二位线BL2，多个第三子互连件SBL3可以共同连接到第三位线BL3中的相应的第三位线BL3，多个第四子互连件SBL4可以共同连接到第四位线BL4中的相应的第四位线BL4。第一位线BLl至第四位线BL4可以与第二方向平行地延伸，并且可以沿第一方向顺序地布置且彼此分隔开。
[0127]第一位线BLl至第四位线BL4可以分别通过上部接触件154a、154b、154c和154d连接到第一子互连件SBLl至第四子互连件SBL4。上部接触件154a-154d可以分别设置在凸起P1-P4上。例如，分别设置在第一子互连件SBLl和第三子互连件SBL3上的第一上部接触件154a和第三上部接触件154c可以从下部接触件152沿第一方向偏移等于位线的间距的一半的距离，分别设置在第二子互连件SBL2和第四子互连件SBL4上的第二上部接触件154b和第四上部接触件154d可以从下部接触件152沿与第一方向相反的方向偏移等于位线的间距的一半的距离。
[0128]图14是示出根据本发明构思的第二实施例的另一示例的竖直型存储装置的平面图。图14的竖直型存储装置可以具有与图12B相同或相似的竖直剖面，因此，省略了其的剖视图。出于简要的目的，可以省略该示例的与前面参照图13A和图13B示出并描述的元件和特征相同或相似的元件和特征，并且将参照图14来主要描述它们之间的差异。
[0129]参照图14，子互连件可以包括第一子互连件SBLl至第四子互连件SBL4。第一子互连件SBLl可以通过与第一竖直柱PLl叠置的第一下部接触件152a连接到第一竖直柱PLl。第二子互连件SBL2可以通过与第三竖直柱PL3叠置的第三下部接触件152c连接到第三竖直柱PL3。第三子互连件SBL3可以通过与第二竖直柱PL2叠置的第二下部接触件152b连接到第二竖直柱PL2。第四子互连件SBL4可以通过与第四竖直柱PL4叠置的第四下部接触件152d连接到第四竖直柱PL4。
[0130]多个第一子互连件SBLl可以沿第一方向布置。多个第二子互连件SBL2可以沿第一方向布置。多个第三子互连件SBL3可以沿第一方向布置。多个第四子互连件SBL4可以沿第一方向布置。第一子互连件SBLl和第二子互连件SBL2可以沿第二方向交替地设置。第三子互连件SBL3和第四子互连件SBL4可以沿第二方向交替地设置。第一子互连件SBLl至第四子互连件SBL4中的每个可以连接到以顺序的方式布置的四条不同的位线中的相应的位线。
[0131]沿第二方向D2布置的多个第一子互连件SBLl可以通过从第一竖直柱PLl沿第一方向偏置的第一上部接触件154a共同连接到第一位线BLl中的相应的第一位线BLl。沿第二方向D2布置的多个第二子互连件SBL2可以通过从第三竖直柱PL3沿与第一方向相反的方向偏置的第二上部接触件154b共同连接到第二位线BL2中的相应的第二位线BL2。沿第二方向D2布置的多个第三子互连件SBL3可以通过从第二竖直柱PL2沿第一方向偏置的第三上部接触件154c共同连接到第三位线BL3中的相应的第三位线BL3。沿第二方向D2布置的多个第四子互连件SBL4可以通过从第四竖直柱PL4沿与第一方向相反的方向偏置的第四上部接触件154d共同连接到第四位线BL4中的相应的第四位线BL4。
[0132]在每个第一子互连件SBLl上，第一上部接触件154a可以从第一下部接触件152a沿第一方向偏移例如等于位线BL1-BL4的间距的一半的距离。在每个第二子互连件SBL2上，第二上部接触件154b可以从第三下部接触件152c沿与第一方向相反的方向偏移例如等于位线BL1-BL4的间距的一半的距离。在每个第三子互连件SBL3上，第三上部接触件154c可以从第二下部接触件152b沿第一方向偏移例如等于位线BL1-BL4的间距的一半的距离。在每个第四子互连件SBL4上，第四上部接触件154d可以从第四下部接触件152d沿与第一方向相反的方向偏移例如等于位线BL1-BL4的间距的一半的距离。
[0133]图15A是示出根据本发明构思的第三实施例的示例的竖直型存储装置的平面图，图15B是沿图15A的线Ι-Γ截取的剖视图。出于简要的目的，可以省略该示例的与前面参照图3、图5A和图5B示出并描述的元件和特征相同或相似的元件和特征，并且将参照图15A和图15B来主要描述它们之间的差异。
[0134]参照图15A和图15B，栅极结构GL可以包括以枚举的次序顺序地布置的第一栅极结构GLl至第三栅极结构GL3。在下文中，将把第一栅极结构GLl的第六栅电极G6称作第一串选择线SSLl，将把第二栅极结构GL2的第六栅电极G6称作第二串选择线SSL2，将把第三栅极结构GL3的第六栅电极G6称作第三串选择线SSL3。栅极结构GL还可以包括多个串选择线组，每个串选择线组包括第一串选择线SSLl至第三串选择线SSL3，多个串选择线组沿第二方向布置。第一串选择线SSLl至第三串选择线SSL3可以沿第二方向重复地设置。
[0135]结合到串选择线中的相应的串选择线的竖直柱可以包括第一竖直柱PL1、第二竖直柱PL2和第三竖直柱PL3。这里，第一竖直柱PLl被布置成基本平行于第一方向Dl以构成第一列，第二竖直柱PL2被布置成基本平行于第一方向Dl以构成第二列，第三竖直柱被布置成基本平行于第一方向Dl以构成第三列。换言之，第一列、第二列和第三列可以在第二方向D2上彼此分隔开。在平面图中，第一竖直柱PLl至第三竖直柱PL3可以二维地布置在每条串选择线上以形成矩阵形布置。
[0136]子互连件可以包括沿第二方向顺序地布置的第一子互连件SBL1、第二子互连件SBL2和第三子互连件SBL3。例如，第一子互连件SBLl可以将与第一串选择线SSLl结合(或者穿过第一串选择线SSL1)的第三竖直柱PL3连接到与第二串选择线SSL2结合(或者穿过第二串选择线SSL2)的第一竖直柱PLl，第三子互连件SBL3可以将与第二串选择线SSL2结合(或者穿过第二串选择线SSL2)的第三竖直柱PL3连接到与第三串选择线SSL3结合(或者穿过第三串选择线SSL3)的第一竖直柱PLl。第二子互连件SBL2可以设置在第二竖直柱PL2上并且可以与第二竖直柱PL2叠置。
[0137]第一子互连件SBLl至第三子互连件SBL3可以分别通过第一下部接触件152a至第三下部接触件152c连接到第一竖直柱PLl至第三竖直柱PL3。下部接触件152a_152c可以分别设置在第一竖直柱PLl至第三竖直柱PL3上并且分别与第一竖直柱PLl至第三竖直柱PL3叠置。
[0138]第一子互连件SBLl至第三子互连件SBL3中的每个可以沿第二方向延伸。在某些实施例中，每个第一子互连件SBLl可以包括向第一方向突出的第一凸起P1，每个第三子互连件SBL3可以包括向与第一方向相反的方向突出的第二凸起P2。凸起Pl和P2可以位于分离绝缘层141上并且在栅极结构GLl和栅极结构GL2之间以及在栅极结构GL2和栅极结构GL3之间。第二子互连件SBL2可以设置在第二竖直柱PL2上以与第二竖直柱PL2相邻。
[0139]多个第一子互连件SBLl可以沿第一方向布置。多个第二子互连件SBL2可以沿第一方向布置。多个第三子互连件SBL3可以沿第一方向布置。第一子互连件SBLl至第三子互连件SBL3可以沿第二方向重复地设置。第一子互连件SBLl、第二子互连件SBL2和第三子互连件SBL3可以连接到在第一方向上顺序地布置的位线中的各不同的位线。例如，多个第一子互连件SBLl可以共同连接到第一位线BLl中的相应的第一位线BL1，多个第二子互连件SBL2可以共同连接到第二位线BL2中的相应的第二位线BL2，多个第三子互连件SBL3可以共同连接到第三位线BL3中的相应的第三位线BL3。
[0140]第一位线BLl至第三位线BL3可以与第二方向平行地延伸，并且以枚举的顺序布置成沿第一方向彼此分隔开。第一位线BLl可以通过第一上部接触件154a连接到多个第一子互连件SBLl。第二位线BL2可以通过第二上部接触件154b连接到多个第二子互连件SBL2。第三位线BL3可以通过第三上部接触件154c连接到多个第三子互连件SBL3。第一上部接触件154a和第三上部接触件154c中的每个可以设置在栅极结构GL1-GL3之间并且在分离绝缘层141上。第一上部接触件154a可以从第一下部接触件152a沿第一方向偏移例如等于位线BL1-BL3的间距的距离，第三上部接触件154c可以从第三下部接触件152c沿与第一方向相反的方向偏移例如等于位线BL1-BL3的间距的距离。第二上部接触件154b可以分别设置在第二竖直柱PL2上并且分别与第二竖直柱PL2叠置。
[0141]图16A是示出根据本发明构思的第三实施例的另一示例的竖直型存储装置的平面图，图16B是沿图16A的线Ι-Γ截取的剖视图。出于简要的目的，可以省略该示例的与前面参照图15A和图15B示出并描述的元件和特征相同或相似的元件和特征，并且将参照图16A和图16B来主要描述它们之间的差异。
[0142]参照图16A和图16B，根据本实施例的竖直型存储装置可以被构造成不具有参照图15A和图15B描述的第二子互连件SBL2。第二位线BL2可以通过第二下部接触件152b和第二上部接触件154b直接连接到第二竖直柱PL2，而没有第二子互连件SBL2。
[0143]图17是示出根据本发明构思的第三实施例的又一示例的竖直型存储装置的平面图。图17的竖直型存储装置可以具有与图12B相同或相似的竖直剖面，因此，省略了其剖视图。出于简要的目的，可以省略该示例的与前面参照图15A和图15B示出并描述的元件和特征相同或相似的元件和特征，并且将参照图17来主要描述它们之间的差异。
[0144]参照图17，第一位线BLl可以通过第一上部接触件154a连接到多个第一子互连件SBL1，其中，第一上部接触件154a从第一竖直柱PLl沿第一方向偏置例如位线的间距。第三位线BL3可以通过第三上部接触件154c连接到多个第三子互连件SBL3，其中，第三上部接触件154c从第三竖直柱PL3沿与第一方向相反的方向偏置例如位线的间距。第二位线BL2可以通过与第二竖直柱PL2叠置的第二上部接触件154b连接到多个第二子互连件SBL2。
[0145]另外，如参照图16A和图16B所描述的，在根据本实施例的竖直型存储装置中可以不设置参照图15A和图15B描述的第二子互连件SBL2。第二位线BL2可以通过第二下部接触件152b和第二上部接触件154b直接连接到第二竖直柱PL2，而没有第二子互连件SBL2。
[0146]图18是示出根据本发明构思的第四实施例的示例的竖直型存储装置的平面图。图18的竖直型存储装置可以具有与图15B相同或相似的竖直剖面，因此，省略了其剖视图。出于简要的目的，可以省