气体激光器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及气体激光器领域。
【背景技术】
[0002]图1所示的气体激光器的原理图，位于两电极板1之间的气体，在激励源(高电压电源2)的作用下，发生气体震荡，产生发散光；为了保证气体震荡，防止能量流失过快，在电极板的两端分别设置有锡射管视窗3和反射镜4，由气体震荡产生的光经过锡射管视窗、反射镜后回到中间区域。
[0003]实际工作过程中，气体激光器中的气体激光在连续激发一段时间后，能量会慢慢衰退，激励源也会因为要维持一定能量的输出而升高，进而使整体激光稳定性变差。
[0004]会造成能量衰退的原因很多，例如:电极氧化或者损坏，气体循环性变差，低温抽气栗效能变差等种种因素。若排除外在因素，能量渐渐衰退的原因大致可分为两类:
[0005]1、管视窗镜片脏污；
[0006]2、混合气体老化。
[0007]在达到一定激光脉冲数时，需要执行激光气体更换及管视窗镜片清洁，而在每次换气作业时，皆发现管视窗镜片因气体激光冲击而使表面脏污及激光标记残留。
[0008]判断更换管视窗镜片(tube window)及更换激光管内反应气体的指标为ELAcondit1n inspect1n(能量阶判断)，检测“亮带”(Poly_Si完美结晶区域)是否有足够的能量宽度来符合需求，如果管视窗镜片表面有脏污，则会使得激发光源穿透时受到阻碍，进而造成激光能量衰减，高电压电源(Hv)升高，稳定性变差，能量宽度随之缩减，因此在”混合气体老化”前不得不执行更换激光管内反应气体或更换管视窗镜片。由图2可看出管视窗镜片洁净需求及激励源随脉冲计数增加而升高的状况。由该图可以得出:
[0009]1、Ην (高电压电源)随laser pulse (脉冲计数)增加而升高；
[0010]2、Hv (高电压电源)基准值随管视窗镜片使用次数增加而提高；
[0011]3、影响Laser Gas life使用率的因素比重:管视窗镜片脏污〉混合气体老化。
[0012]所以若激光光源穿越管视窗镜片时，无脏污影响，应可提高气体的使用率及激光能量的稳定性。
【实用新型内容】
[0013]针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种气体激光器的镭射管视窗结构，以解决现有技术中的管视窗镜片容易脏污的问题。
[0014]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下:
[0015]—种气体激光器，包括激励源、填充有激活气体的放电管、管视窗盒体及一对反射镜，所述管视窗盒体上设置有可穿透镜片和光源进出孔，所述可穿透镜片和光源进出孔之间设置有管视窗镜片，其特征在于，所述管视窗盒体内设置有可移动管视窗座，所述可移动管视窗座上沿移动方向设置有至少两组管视窗镜片，通过可移动管视窗座的移动，可以使所述管视窗镜片中的任意一个管视窗镜片位于所述可穿透镜片和光源进出孔之间。
[0016]在本实用新型的一个较佳实施例中，所述管视窗盒体内设置有横向的滑轨，所述可移动管视窗座上的管视窗镜片横向间隔排列；所述可移动管视窗座通过连接杆安装在所述滑轨上。
[0017]在本实用新型的一个较佳实施例中，所述滑轨设置在管视窗盒体上部。
[0018]在本实用新型的一个较佳实施例中，所述滑轨设置在管视窗盒体的下部。
[0019]在本实用新型的一个较佳实施例中，所述管视窗盒体内部两侧设置有纵向的滑轨，所述可移动管视窗座上的管视窗镜片纵向间隔排列；所述可移动管视窗座通过连接杆安装在所述滑轨上。
[0020]在本实用新型的一个较佳实施例中，所述管视窗盒体内设置有丝杆机构，所述丝杆机构的丝杆通过传动机构与驱动电机连接，丝杆机构的螺母与可移动管视窗座连接。
[0021]在本实用新型的一个较佳实施例中，所述管视窗盒体内设置有伸缩机构，所述可移动管视窗座与伸缩机构的伸缩端连接。
[0022]在本实用新型的一个较佳实施例中，所述全穿透镜片和光源进出孔分别设置在管视窗盒体的两相对侧面上。
[0023]本实用新型通过在管视窗盒体内置多组管视窗镜片，并通过可移动管视窗座的移动，使任意管视窗镜片位于全穿透镜片和光源进出孔之间，这种多组管视窗镜片切换工作的结构，便于维持管视窗镜片的洁净度，进而维持能量稳定及提高反应气体使用率。
[0024]本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
【附图说明】
[0025]图1为气体激光器的原理图。
[0026]图2为管视窗镜片洁净需求及激励源随脉冲计数增加而升高的状况示意图。
[0027]图3为管视窗盒体的示意图。
[0028]图4为可移动管视窗座的示意图。
[0029]图5为管视窗结构的正面示意图。
[0030]图6为管视窗结构另一实施例的示意图。
【具体实施方式】
[0031]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例进一步阐述本实用新型。
[0032]气体激光器，包括激励源、填充有激活气体的放电管、管视窗盒体及一对反射镜。
[0033]参见图3，管视窗盒体10上设置有全穿透镜片11和光源进出孔12。全穿透镜片11和光源进出孔12分别设置在管视窗盒体的两相对侧面上。
[0034]管视窗盒体内设置有可移动管视窗座20，参见图4，可移动管视窗座20上沿移动方向设置有至少两组管视窗镜片30，通过可移动管视窗座的移动，使任意管视窗镜片位于全穿透镜片和光源进出孔之间，即全穿透镜片11、管视窗镜片30、光源进出孔12在同一轴线上。
[0035]参见图3、图5，在本实施例中，管视窗盒体内设置有横向的滑轨41，横向的滑轨41安装在管视窗盒体上部(也可以安装在管视窗盒体的下部)。
[0036]可移动管视窗座上的管视窗镜片30有两组，且横向间隔排列；可移动管视窗座上设置有可沿滑轨滑动的连接杆21，可移动管视窗座20通过连接杆21安装在横向的滑轨41上。
[0037]间隔一定时间后，通过调节可移动管视窗座20的位置，使可移动管视窗座20上的另一块管视窗镜片30对准光源进出孔12。
[0038]当然，滑轨也可以采用其他结构，参见图6，管视窗盒体10内部设置有一组纵向的滑轨42，可移动管视窗座22上的管视窗镜片30纵向间隔排列；可移动管视窗座22通过连接杆(图中未标示)安装在所述纵向的滑轨42上。
[0039]或者，管视窗盒体内采用丝杆机构(图中未标示)，丝杆机构的丝杆通过传动机构与驱动电机连接，丝杆机构的螺母与可移动管视窗座连接。可移动管视窗座上沿螺母运动方向设置有多组管视窗镜片。
[0040]再或者，管视窗盒体内采用伸缩机构(图中未标示)，可移动管视窗座与伸缩机构的伸缩端连接。这些方案都可以实现可移动管视窗座的移动，实现切换管视窗镜片的目的，进而维持管视窗镜片的洁净度。
[0041]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.一种气体激光器，包括激励源、填充有激活气体的放电管、管视窗盒体及一对反射镜，所述管视窗盒体上设置有可穿透镜片和光源进出孔，所述可穿透镜片和光源进出孔之间设置有管视窗镜片，其特征在于，所述管视窗盒体内设置有可移动管视窗座，所述可移动管视窗座上沿移动方向设置有至少两组管视窗镜片，通过可移动管视窗座的移动，可以使所述管视窗镜片中的任意一个管视窗镜片位于所述可穿透镜片和光源进出孔之间。2.根据权利要求1所述的气体激光器，其特征在于，所述管视窗盒体内设置有横向的滑轨，所述可移动管视窗座上的管视窗镜片横向间隔排列；所述可移动管视窗座通过连接杆安装在所述滑轨上。3.根据权利要求2所述的气体激光器，其特征在于，所述滑轨设置在管视窗盒体上部。4.根据权利要求2所述的气体激光器，其特征在于，所述滑轨设置在管视窗盒体的下部。5.根据权利要求1所述的气体激光器，其特征在于，所述管视窗盒体内部两侧设置有纵向的滑轨，所述可移动管视窗座上的管视窗镜片纵向间隔排列；所述可移动管视窗座通过连接杆安装在所述滑轨上。6.根据权利要求1所述的气体激光器，其特征在于，所述管视窗盒体内设置有丝杆机构，所述丝杆机构的丝杆通过传动机构与驱动电机连接，丝杆机构的螺母与可移动管视窗座连接。7.根据权利要求1所述的气体激光器，其特征在于，所述管视窗盒体内设置有伸缩机构，所述可移动管视窗座与伸缩机构的伸缩端连接。8.根据权利要求1所述的气体激光器，其特征在于，所述全穿透镜片和光源进出孔分别设置在管视窗盒体的两相对侧面上。
【专利摘要】本实用新型公开了一种气体激光器，包括激励源、填充有激活气体的放电管、管视窗盒体及一对反射镜，所述管视窗盒体上设置有可穿透镜片和光源进出孔，所述可穿透镜片和光源进出孔之间设置有管视窗镜片，所述管视窗盒体内设置有可移动管视窗座，所述可移动管视窗座上沿移动方向设置有至少两组管视窗镜片。本实用新型通过在管视窗盒体内置多组管视窗镜片，并通过可移动管视窗座的移动，可以使所述管视窗镜片中的任意一个管视窗镜片位于全穿透镜片和光源进出孔之间，这种多组管视窗镜片切换工作的结构，便于维持管视窗镜片的洁净度，进而维持能量稳定及提高反应气体使用率。
【IPC分类】H01S3/034
【公开号】CN204992232
【申请号】CN201520577320
【发明人】王仁宏
【申请人】上海和辉光电有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年8月4日