平板基座支撑装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体硅外延领域，尤其是涉及一种平板基座支撑装置。
【背景技术】
[0002]厚度均匀性是硅外延生产的主要控制参数，随着外延产品的质量要求不断提高，设备的精确度要求也变得越来越苛刻。现有技术中的平板基座支撑装置，譬如，意大利LPE(Liquid Phase Epitaxial，液相外延)公司的PE3061D外延炉的平板基座支撑装置，支撑体与连接头分离，由于装配间隙的存在，支撑体与连接头在轴向上的旋转自由度未固定，导致基座在惯性下不能精确定位，从而引起硅片搭边或贴边，进而影响硅片的厚度均匀性。
[0003]在水平方向上，支撑体上表面与连接头下表面存在装配公差，不能有效保证平行度。在实际生产中，为了精确保证安装在连接头上端基座的水平，支撑体的垂直度将减小，从而导致支撑体底部边缘应力集中，容易崩边，损坏支撑体。
[0004]连接头安装在支撑体内，由于接触半径较小，在旋转力矩不变的情况下，接触处的扭力较大，易导致疲劳损坏，缩短支撑体的寿命。现有平板基座支撑装置如图1、图2所示。
[0005]连接头与支撑体的分离，增加了它们之间接触部位的清洁难度，降低了硅片外延后的表面质量。
[0006]设备维护时，连接头与支撑体的随机搭配，维护质量存在不确定性。
[0007]因此，亟待解决上述问题。
【实用新型内容】
[0008]实用新型目的:本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种平板基座支撑装置，来改善外延片厚度均匀性，降低设备备件的损耗，节约成本。
[0009]技术方案:本实用新型公开了一种平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体，所述支撑体的一端中心开设用于与伺服电机相连接的圆柱状的卡槽，另一端具有正八边形的连接头，该连接头与支撑体为一体成型。
[0010]进一步，所述连接头的内切圆直径为32?32.2mm
[0011]其中，所述支撑体的长度为363?365mm。
[0012]优选的，所述连接头的长度为8.5?9.5mm。
[0013]其中，在进行装配时，所述连接头嵌入式地与所需安装的平板基座的底部八角衬套相连接。
[0014]有益效果:本实用新型与现有技术相比，其优点为:本实用新型通过固定支撑体与连接头的轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性;通过去除支撑体与连接头的装配公差，相当于提高了支撑体在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体底部崩边的可能性，减少了备件损耗;通过增加连接头内切圆半径，在旋转扭矩不变的情况下，相当于减小了支撑体与连接头接触部位的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命;通过将连接头与支撑体设置为一体，降低了它们之间接触部位的清洁难度，提高了硅片外延后的表面质量;通过将连接头与支撑体设置为一体，减少了设备维护时连接头与支撑体的随机搭配，提高了维护质量。
【附图说明】
[0015]图1为现有平板基座支撑装置装配图；
[0016]图2为现有平板基座支撑装置的纵剖面图；
[0017]图3为本实用新型平板基座支撑装置的纵剖面图；
[0018]图4为本实用新型的实施例的纵剖面构造图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图对本实用新型的技术方案作进一步说明。
[0020]如图3、图4所示，为了解决现有技术外延片厚度均匀性差、设备备件寿命较短的问题，本实用新型所述的平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体I，所述支撑体I的一端中心开设圆柱状的卡槽2，另一端具有正八边形的连接头3，该连接头3与支撑体I为一体成型。通过固定支撑体I与连接头3的轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性;通过去除支撑体I与连接头3的装配公差，相当于提高了支撑体I在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体I底部崩边的可能性，减少了备件损耗。
[0021 ] 其中，支撑体I的长度为363?365mm，连接头3的长度为8.5?9.5mm。
[0022]其中，连接头3的内切圆直径为32?32.2mm，增加连接头3内切圆直径，在旋转扭矩不变的情况下，相当于减小了支撑体I与连接头3接触部位的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命O
[0023]在进行装配时，所述连接头3嵌入式地与所需安装的平板基座底部八角衬套相连接。
[0024]支撑体具有连接头的一端为上表面，该上表面为平面，嵌入式地与所需安装的平板基座底部八角衬套相连接;设有卡槽的一端表面为支撑体的下表面，该下表面与伺服电机金属托盘相连接。
[0025]实施例1
[0026]本实用新型所述的平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体I，所述支撑体I的一端中心开设圆柱状的卡槽2，另一端具有正八边形的连接头3，该连接头3与支撑体I为一体成型。其中，支撑体I的长度为364mm，直径50_。
[0027]连接头与支撑体设置为一体，固定了轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性。
[0028]连接头与支撑体设置为一体消除了水平方向上的装配公差，在精确保证连接头上端基座水平的情况下，有效提高了支撑体在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体底部崩边的可能性，节约了成本;连接头与支撑体设置为一体，降低了它们之间接触部位的清洁难度，提高了硅片外延后的表面质量;连接头与支撑体设置为一体，减少了设备维护时连接头与支撑体的随机搭配，提高了维护质量。
[0029]连接头3的长度为9_，连接头3的内切圆直径为32_，通过增加支撑体与连接头接触处的直径，在旋转力矩不变的情况下，有效降低了支撑体与连接头接触处的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命。
[0030]如图4所示，本实用新型平板基座支撑装置安装在平板式外延炉中。
【主权项】
1.一种平板基座支撑装置，其特征在于:包括由石英制成的圆柱状的支撑体(I)，所述支撑体(I)的一端中心开设用于与伺服电机相连接的圆柱状的卡槽(2)，另一端具有正八边形的连接头(3)，该连接头(3)与支撑体(I)为一体成型。2.根据权利要求1所述的平板基座支撑装置，其特征在于:所述连接头(3)的内切圆直径为32?32.2mm。3.根据权利要求1所述的平板基座支撑装置，其特征在于:所述支撑体(I)的长度为363?365mm。4.根据权利要求1所述的平板基座支撑装置，其特征在于:所述连接头(3)的长度为8.5?9.5mmο5.根据权利要求1所述的平板基座支撑装置，其特征在于:在进行装配时，所述连接头(3)嵌入式地与所需安装的平板基座的底部八角衬套相连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体，所述支撑体的一端中心开设圆柱状的卡槽，另一端具有正八边形的连接头，该连接头与支撑体为一体成型。本实用新型通过固定支撑体与连接头的轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性；通过去除支撑体与连接头的装配公差，相当于提高了支撑体在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体底部崩边的可能性，减少了备件损耗；通过增加连接头内切圆半径，在旋转扭矩不变的情况下，相当于减小了支撑体与连接头接触部位的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命。
【IPC分类】H01L21/683, H01L21/673
【公开号】CN205177802
【申请号】CN201520944020
【发明人】施国政, 亚历山大·金德尔, 何晶, 马利行, 冯永平
【申请人】南京国盛电子有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2015年11月24日