一种晶圆红外检测装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及到晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆红外检测装置。该晶圆红外检测装置，包括底板、侧板、前后移动平台、托盘、支撑杆和CCD图像传感器。本实用新型所涉及的一种晶圆红外检测装置上设有前后移动手柄和左右移动手柄，前后移动手柄和左右移动手柄能够调节红外灯的位置，装置中的精确平移手柄能够对CCD图像传感器的位置进行精确调节，使得最终的检测检测效果好，图像清晰。这样就能在封装过程中提前发现不良品，节省了成本以及人力物力。此外，该晶圆红外检测装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【专利说明】
一种晶圆红外检测装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及到晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆红外检测装置。
【背景技术】
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。晶圆与晶圆键合后，键合效果需要检测设备来检测，以便检测出晶圆键合上的区域、未键合上的区域、气泡以及杂质。
[0003]为了解决上述技术问题，本实用新型设计了一种晶圆红外检测装置，该晶圆红外检测装置上设有前后移动手柄和左右移动手柄，前后移动手柄和左右移动手柄能够调节红外灯的位置，装置中的精确平移手柄能够对CCD图像传感器的位置进行精确调节，使得最终的检测检测效果好，图像清晰。这样就能在封装过程中提前发现不良品，节省了成本以及人力物力。此外，该晶圆红外检测装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【实用新型内容】
[0004]为了克服【背景技术】中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种晶圆红外检测装置，包括底板、侧板、前后移动平台、托盘、支撑杆和CCD图像传感器，所述侧板和前后移动平台固定在底板上，所述前后移动平台上设有前后移动手柄，所述左右移动平台设置在前后移动平台上，转动前后移动手柄能够带动前后移动平台前后移动，所述左右移动平台上设有左右移动手柄，所述左右移动平台上设有红外灯固定座，转动左右移动手柄能够带动红外灯固定座左右移动，所述红外灯固定座上设有红外灯，所述侧板上设有多个通风散热孔，所述侧板的顶部固定有导轨，所述托盘设置在导轨内，所述托盘的中部设有晶圆放置孔，所述支撑杆固定在底板上，所述支撑杆的顶部设有平移台，所述CCD图像传感器固定在支架上，所述支架上设有精确平移手柄，所述支架设置在平移台上。
[0005]本实用新型所涉及的一种晶圆红外检测装置，该晶圆红外检测装置上设有前后移动手柄和左右移动手柄，前后移动手柄和左右移动手柄能够调节红外灯的位置，装置中的精确平移手柄能够对CCD图像传感器的位置进行精确调节，使得最终的检测检测效果好，图像清晰。这样就能在封装过程中提前发现不良品，节省了成本以及人力物力。此外，该晶圆红外检测装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
【附图说明】
[0006]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0007]图1是本实用新型一种晶圆红外检测装置的结构示意图；
[0008]其中:1、底板;2、侧板;3、通风散热孔;4、前后移动平台；5、前后移动手柄;6、左右移动平台；7、左右移动手柄；8、红外灯固定座；9、红外灯；10、导轨；11、托盘；12、晶圆放置孔;13、支撑杆;14、平移台；15、精确平移手柄;16、支架;17、(XD图像传感器。
【具体实施方式】
[0009]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0010]具体实施例，请参阅图1，一种晶圆红外检测装置，包括底板1、侧板2、前后移动平台4、托盘11、支撑杆13和CCD图像传感器17，所述侧板2和前后移动平台4固定在底板I上，所述前后移动平台4上设有前后移动手柄5，所述左右移动平台6设置在前后移动平台4上，转动前后移动手柄5能够带动前后移动平台4前后移动，所述左右移动平台6上设有左右移动手柄7，所述左右移动平台6上设有红外灯固定座8，转动左右移动手柄7能够带动红外灯固定座8左右移动，所述红外灯固定座8上设有红外灯9，所述侧板2上设有多个通风散热孔3，所述侧板2的顶部固定有导轨10，所述托盘11设置在导轨10内，所述托盘11的中部设有晶圆放置孔12，所述支撑杆13固定在底板I上，所述支撑杆13的顶部设有平移台14，所述CCD图像传感器17固定在支架16上，所述支架16上设有精确平移手柄15，所述支架16设置在平移台14上。
[0011]本实用新型所涉及的一种晶圆红外检测装置，该晶圆红外检测装置上设有前后移动手柄和左右移动手柄，前后移动手柄和左右移动手柄能够调节红外灯的位置，装置中的精确平移手柄能够对CCD图像传感器的位置进行精确调节，使得最终的检测检测效果好，图像清晰。这样就能在封装过程中提前发现不良品，节省了成本以及人力物力。此外，该晶圆红外检测装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。
[0012]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
【主权项】
1.一种晶圆红外检测装置，包括底板(1)、侧板(2)、前后移动平台(4)、托盘(11)、支撑杆(13)和CCD图像传感器(17)，其特征在于:所述侧板(2)和前后移动平台(4)固定在底板(I)上，所述前后移动平台(4)上设有前后移动手柄(5)，左右移动平台(6)设置在前后移动平台(4)上，转动前后移动手柄(5)能够带动前后移动平台(4)前后移动，所述左右移动平台(6)上设有左右移动手柄(7)，所述左右移动平台(6)上设有红外灯固定座(8)，转动左右移动手柄(7)能够带动红外灯固定座(8)左右移动，所述红外灯固定座(8)上设有红外灯(9)，所述侧板(2)上设有多个通风散热孔(3)，所述侧板(2)的顶部固定有导轨(10)，所述托盘(II)设置在导轨(10)内，所述托盘(11)的中部设有晶圆放置孔(12)，所述支撑杆(13)固定在底板(I)上，所述支撑杆(13)的顶部设有平移台(14)，所述CCD图像传感器(17)固定在支架(16)上，所述支架(16)上设有精确平移手柄(15)，所述支架(16)设置在平移台(14)上。
【文档编号】H01L21/66GK205488044SQ201620038283
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月15日
【发明人】王云翔
【申请人】苏州美图半导体技术有限公司