前开式晶圆盒载物台的检测工具的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种前开式晶圆盒载物台的检测工具，包括L型本体，所述L型本体包括互相垂直的第一板部和第二板部，所述第一板部上设有水平仪，所述第一板部上设有用以与水平定位针匹配连接的定位件，所述第二板部上设有用以与开锁针匹配的装置孔。
【专利说明】
前开式晶圆盒载物台的检测工具
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种前开式晶圆盒载物台的检测工具。【背景技术】
[0002]在12寸集成电路生产过程中，都是通过载物台(Load Port)进行晶圆(wafer)的吞吐。这对载物台(Load Port)水平要求非常高。如果载物台(Load Port)水平不好，机械手臂进行抓取晶圆(wafer)时容易造成刮伤，严重的会导致产品的报废同时造成机械手臂的损坏。
[0003]进一步来说，请参考图1，其中，20为载物台(Load Port)的三个水平定位针(pin)， 用来固定前开式晶圆盒(F0UP)。A面1的水平度直接影响前开式晶圆盒(F0UP)的水平度；10 为载物台(Load Port)打开晶圆盒门锁(F0UP Door Key)的开锁针。其垂直度会影响前开式晶圆盒(F0UP)能否顺利打开;B面2是与晶圆盒门(F0UP door)配合处，B面2与周边框件垂直度会影响能否顺利打开晶圆盒门(F0UP door)。
[0004]现有技术中，需要考量以上部件的垂直度和水平度时，都是通过人眼目测，缺乏可靠有效的检测工具。【实用新型内容】
[0005]本实用新型要解决的技术问题是如何对载物台(Load Port)及其上部件的垂直度和水平度进行有效监测。
[0006]为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种前开式晶圆盒载物台的检测工具，包括L型本体，所述L型本体包括互相垂直的第一板部和第二板部，所述第一板部上设有水平仪，所述第一板部上设有用以与水平定位针匹配连接的定位件，所述第二板部上设有用以与开锁针匹配的装置孔。
[0007]可选的，所述第一板部上的水平仪数量为4个，均匀分布于所述第一板部上。
[0008]可选的，其中两个所述水平仪沿第一方向设置，另两个所述水平仪沿第二方向设置，所述第一方向垂直于第二方向，沿第二方向设置的两个所述水平仪分别靠近所述第一板部的第一方向上的两侧边缘布置;沿第一方向设置的两个所述水平仪分别靠近所述第一板部的第二方向上的两侧边缘布置。
[0009]可选的，所述的前开式晶圆盒载物台的检测工具还包括连接加强部，所述连接加强部设于所述第一板部与第二板部的连接处。
[0010]可选的，所述定位件采用与所述水平定位针匹配的定位孔。
[0011]可选的，所述第一板部与第二板部上还设有孔洞结构。
[0012]本实用新型引入了互相垂直的第一板部和第二板部，分别连接水平定位针和开锁针，进而，以此作为垂直的基础，由于第一板部上设有水平仪，可实现水平度和垂直度的检测和调整。【附图说明】
[0013]图1是现有技术中载物台的示意图
[0014]图2是本实用新型一实施例中前开式晶圆盒载物台的检测工具的使用示意图；
[0015] 图中，1-A面;10-开锁针;2-B面;20-7K平定位针；
[0016]3-第二板部;31-装置孔;32-孔洞结构;4-第一板部;41-水平仪;42-定位孔;43-孔洞结构;5-连接加强部。【具体实施方式】
[0017]以下将结合图2对本实用新型提供的前开式晶圆盒载物台的检测工具进行详细的描述，其为本实用新型可选的实施例，可以认为，本领域技术人员在不改变本实用新型精神和内容的范围内，对其进行修改和润色。
[0018]请参考图2,本实用新型提供了一种前开式晶圆盒载物台的检测工具，包括L型本体，所述L型本体包括互相垂直的第一板部4和第二板部3,所述第一板部4上设有水平仪41， 所述第一板部4上设有用以与水平定位针匹配连接的定位件，所述第二板部3上设有用以与开锁针匹配的装置孔31。[〇〇19]有关所述水平仪41，现有技术中，所述第一板部上的水平仪41数量为4个，均匀分布于所述第一板部4上。当然，其他数量和分布方式，比如成三角形布置的三个水平仪41，也落在本实用新型的保护范围。
[0020]在本实用新型进一步可选的实施例中，其中两个所述水平仪41沿第一方向设置， 另两个所述水平仪41沿第二方向设置，所述第一方向垂直于第二方向，沿第二方向设置的两个所述水平仪41分别靠近所述第一板部4的第一方向上的两侧边缘布置;沿第一方向设置的两个所述水平仪41分别靠近所述第一板部4的第二方向上的两侧边缘布置。其可以设置于第一板部4的正面，也可以设于其反面。本实用新型并不对其进行限制。[〇〇21]如图2所示，本实用新型可选的实施例中，所述的前开式晶圆盒载物台的检测工具还包括连接加强部5,所述连接加强部5设于所述第一板部4与第二板部3的连接处。该设计可有利于第一板部4和第二板部3连接的稳定程度，考虑到板间连接的受力为线性的，所以， 该连接加强部5的设计数量和尺寸可以依据板的尺寸匹配设计，而不限于图中示意的2个， 也不限于图2种的结构形式。基于相类似的原因，减小承载的压力，同时，也为了能够适应装配需要，所述第一板部4与第二板部3上还设有孔洞结构43和32。其形状、尺寸和数量均可以依据需要进行配置，而不限于图中所示。
[0022]本实用新型可选的实施例中，所述定位件采用与所述水平定位针匹配的定位孔 42。当然，与装配孔31—样，两者都一般采用垂直孔。[〇〇23]可见，工具是一个L形装置;第一板部4带四个水平仪41，同时可以卡在三个水平定位针20上;两个装置孔31两处根据打开晶圆盒门锁(FOUP Door Key)尺寸设计的孔，可以检测打开晶圆盒门锁(FOUP Door Key)垂直度;第二板部3用来检测与晶圆盒门(FOUP door) 贴合面垂直度。
[0024]具体来说，设计的装置有四个水平仪，在检查载物台(Load Port)水平时只需将装置放在载物台(Load Port)上就可以一目了然的检测其水平，由于是与载物台(Load Port)直接接触，保证了测量载物台(Load Port)水平的精度；[〇〇25]以设计的装置当作治具，具有以下积极的作用:
[0026]将打开晶圆盒门锁(FOUP Door Key)的开锁针放在装置孔中可以检测其垂直度；
[0027]将装置放在载物台(Load Port)上可以检测载物台(Load Port)与前开式晶圆盒 (F0UP)贴合面垂直度；[〇〇28]将打开晶圆盒门锁(F0UP Door Key)放在装置孔中，一个人就可以完成晶圆盒门锁(F0UP Door Key)马达的更换，节省人力。[〇〇29]综上所述，本实用新型引入了互相垂直的第一板部和第二板部，分别连接水平定位针和开锁针，进而，以此作为垂直的基础，由于第一板部上设有水平仪，可实现水平度和垂直度的检测和调整。
【主权项】
1.一种前开式晶圆盒载物台的检测工具，其特征在于:包括L型本体，所述L型本体包括 互相垂直的第一板部和第二板部，所述第一板部上设有水平仪，所述第一板部上设有用以 与水平定位针匹配连接的定位件，所述第二板部上设有用以与开锁针匹配的装置孔。2.如权利要求1所述的前开式晶圆盒载物台的检测工具，其特征在于:所述第一板部上 的水平仪数量为4个，均匀分布于所述第一板部上。3.如权利要求2所述的前开式晶圆盒载物台的检测工具，其特征在于:其中两个所述水 平仪沿第一方向设置，另两个所述水平仪沿第二方向设置，所述第一方向垂直于第二方向， 沿第二方向设置的两个所述水平仪分别靠近所述第一板部的第一方向上的两侧边缘布置； 沿第一方向设置的两个所述水平仪分别靠近所述第一板部的第二方向上的两侧边缘布置。4.如权利要求1所述的前开式晶圆盒载物台的检测工具，其特征在于:还包括连接加强 部，所述连接加强部设于所述第一板部与第二板部的连接处。5.如权利要求1所述的前开式晶圆盒载物台的检测工具，其特征在于:所述定位件采用 与所述水平定位针匹配的定位孔。6.如权利要求1所述的前开式晶圆盒载物台的检测工具，其特征在于:所述第一板部与 第二板部上还设有孔洞结构。
【文档编号】H01L21/673GK205645763SQ201620488359
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月25日
【发明人】丁彦庆, 桂纯钦, 金卫, 许青峰, 朱骏
【申请人】上海华力微电子有限公司