检测系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理基板的工作单元，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器，至少一个所述检测器连接所述控制器并设置于所述工作单元的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。本实用新型通过至少一个检测器检测基板在工作单元处理之前的质量状态，便于将异常的基板隔离在工艺处理之前，避免了因基板的异常导致的生产设备停机、生产部件损坏等问题。
【专利说明】
检测系统
技术领域
[0001]本实用新型涉及工艺设备技术领域，特别涉及一种用于检测基板并具有安全互锁功能的检测系统。
【背景技术】
[0002]在显示器制造中，基板在进行等离子体增强化学气相沉积(Plasma EnhancedChemical Vapor Deposit1n，简称PECVD)工艺时，若发生破片、偏移等问题，相应的PECVD设备便需要停机进行清理。一旦PECVD设备停机后开机，开机周期长，会造成产能的损失。而且，在生产中若不及时检测到异常的基板，还会造成PECVD设备的进一步损伤。
[0003]为了解决上述技术问题，目前在PECVD设备的传送腔室(Transfer Chamber)与装载腔室(Load lock)之间的区域加装有两个感应器，以感应进出两个腔室的基板是否完好。但是，感应器固定在基板的边缘部位，若基板的其他部位发生问题，则无法获知，因而，检测区域有限，检测效果不佳。而且，通常在来料基板进出对应的腔室后，对其进行检测，若基板确实存在破片，人员还需开腔清理，耗费时间相对较长，且极有可能造成设备部件损伤，甚至于存在很大的安全风险。
[0004]此外，在日常保养过程中，人员在对PECVD设备之工作腔室(如装载腔室、传送腔室、真空腔室等)进行擦拭时，需要反复开关阀门，操作非常不便。而且，手臂有时会伸入腔室内作业，此过程中，设备控制端容易因无法获知人员的作业情况而开关阀门，造成设备损坏，甚至于人身伤害。为避免此类问题，通常现场会设置挂牌警示、将控制线拔掉或将阀门气缸关闭。然而，这样的做法比较繁琐且不能根本杜绝安全隐患。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种检测系统，以解决现有技术中因基板异常导致的生产设备频繁停机、生产部件频繁损坏等问题。
[0006]为实现上述目的以及其它相关目的，本实用新型提供了一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过一生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理所述基板的一工作单元，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器;至少一个所述检测器连接所述控制器且设置于所述基板的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。
[0007]优选地，至少一个所述检测器活动设置于所述基板的一侧。
[0008]优选地，所述检测系统还包括一驱动机构，至少一个所述检测器连接所述驱动机构，并在所述驱动机构的驱动下转动和/或移动。
[0009]优选地，所述基板的边缘设置有至少一个所述检测器，且所述基板的中心部位设置有至少一个所述检测器。
[0010]优选地，每个所述检测器为一照相器件，用于获取所述基板的表面的图像信息数据并反馈至所述控制器，所述控制器读取并显示所述图像信息数据，以判断所述基板是否出现质量异常。
[0011 ]优选地，每个所述检测器包括发射元件和接收元件，所述发射元件和接收元件设置于所述基板的一侧;所述发射元件用于发射一光信号至所述基板，所述接收元件接收所述基板透射或反射回的所述光信号，并根据透射或反射回的所述光信号的光强变化输出一状态信号至所述控制器;所述控制器读取并显示所述状态信号，以判断所述基板是否出现质量异常。
[0012]优选地，所述工作单元包括一工作腔室，且所述检测系统还包括一安全互锁装置；所述安全互锁装置与所述控制器连接并设置于所述工作单元的一侧，所述控制器根据所述安全互锁装置的工作状态控制所述工作腔室的关闭或开启。
[0013]优选地，所述安全互锁装置包括一功能开关，至少一个所述检测器处设置有所述功能开关，所述功能开关用于控制至少一个所述检测器的开启或关闭；所述控制器根据至少一个所述检测器的开启状态控制所述工作腔室的关闭或开启。
[0014]优选地，所述安全互锁装置包括一遮光片，至少一个所述检测器的光传输路径上设置有所述遮光片，所述遮光片用于遮挡所述光传输路径上的光信号;所述控制器根据所述光信号控制所述工作腔室的关闭或开启。
[0015]优选地，所述生产设备为一PECVD设备，且所述工作单元包括装载单元以及真空单元;所述装载单元用于将所述基板加载在一基座上;所述处理单元在真空状态下对所述基板进行工艺处理;其中，所述装载单元具有一装载腔室，所述真空单元具有一真空腔室，且所述装载腔室的入口处和真空腔室的入口处中的至少一个设置有至少一个所述检测器，用于获取所述基板在进入所述装载腔室和/或所述真空腔室之前的质量状态。
[0016]综上所述，本实用新型的检测系统具有以下有益效果:
[0017]1、本实用新型的技术方案通过至少一个检测器检测基板在工作单元处理之前的质量状态，这样的设置，便于将异常的基板隔离在工艺处理之前，避免了因异常的基板进入工艺阶段而导致的生产设备停机、生产部件损坏问题；
[0018]2、本实用新型的技术方案的至少一个检测器活动设置于基板的一侧，使得检测器相对于基板的检测角度可以调节，这样可根据实际情况检测基板的不同位置，且由于检测角度可以调节，因此，本实用新型既可用于检测同一种基板，也可用于检测不同种基板，检测范围广，检测效果好；
[0019]3、本实用新型的技术方案在基板的两端以及中心部位均设置有至少一个检测器，以集中对容易出现问题的部位进行检测，检测效率高；
[0020]4、本实用新型的技术方案还设置有配置在生产设备之工作单元一侧的安全互锁装置，其与控制器通信，所述控制器可根据安全互锁装置的工作状态控制工作单元之工作腔室门的关闭或开启，如此，一旦存在肢体进入工作腔室，该安全互锁装置可以确保人身的安全。
【附图说明】
[0021 ]图1是本实用新型实施例一的检测系统的结构示意图；
[0022]图2是本实用新型实施例二的检测系统的结构示意图。
[0023]图中的附图标记说明如下:
[0024]100、400-检测系统；110、410-第一检测器；130、430-第二检测器；150-第三检测器;200-基板;300-生产设备;310-工作单元;311-装载单元;313-传送单元;315-真空单元；411-第一发射元件;413-第一接收元件;431-第二发射元件;433-第二接收元件;435-第三接收元件。
【具体实施方式】
[0025]发明人对现有技术研究发现，大多数情况下，基板发生问题的部位不局限于基板的边缘，若仅对基板的边缘进行检测，无法及时获知基板的实际状况，致使生产线经常需要停机检修。特别地，异常的基板一旦进入PECVD设备的真空腔室，生产过程中往往还需要开腔清理异常的基板，鉴于真空腔室中部件数量多且结构关系复杂，因此，拆装非常不便，而且也容易损坏真空腔室中的精密器件。此外，发明人还研究发现，在对机台进行维护保养时，当人员对PECVD设备的工作单元之工作腔室实施擦拭作业时，由于PECVD设备的控制端无法感知人员的肢体，因而，控制端容易因误操作控制腔室的门开启或关闭，存在较大的安全隐患。为了解决现有技术中因基板异常导致的生产设备频繁停机以及生产部件频繁损坏等问题，本实用新型提出了一种检测系统。
[0026]以下结合附图1?2对本实用新型提出的检测系统作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0027]本实用新型提供一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过一生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理所述基板的一工作单元，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器，至少一个所述检测器连接所述控制器且设置于所述基板的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。
[0028]以下具体实施例以生产设备为一PECVD设备作为示意，详细说明本实用新型的检测系统如何具体实现。
[0029]〈实施例一〉
[0030]图1是本实用新型实施例一的检测系统的结构示意图。如图1所示，一种检测系统100，用于对一基板200的质量状态进行检测，所述基板200通过一PECVD设备300加工处理，所述PECVD设备300包括用于处理基板200的一工作单元310。在此，工作单元310可以理解为工艺设备和实施工艺的操作空间等。所述PECVD设备300用以对基板200实施等离子体增强化学气相沉积。
[0031]其中，所述检测系统100包括至少一个第一检测器110。以一个第一检测器110来说，所述第一检测器110与一控制器(未图示)连接且设置于基板200的一侧(如基板200的上方、下方，图1示出的是下方)；所述第一检测器110用于根据所述控制器发送的指令获取基板200在工作单元310处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示基板200的质量状态信息。所述质量状态信息例如是基板上的图案破损、偏移等质量缺陷。
[0032]本实施例的检测系统100通过至少一个第一检测器110检测进入工艺阶段之前的基板200的质量状态，以筛选出异常的基板200，确保来料的基板200的质量，从而避免异常的基板200进入工艺阶段而导致的生产设备停机、生产部件损坏等问题，进而降低设备的停机、以及部件损伤的概率，确保生产产能。
[0033]本实施例中，所述工作单元310包括依次设置的装载单元311、传送单元313以及真空单元315;所述装载单元311用于将基板200加载在一基座上，以便于实施后续的等离子体增强化学气相沉积;所述传送单元313用于在装载单元311以及真空单元315之间移送基板200;所述真空单元315在真空状态下对装载后的基板200进行等离子体增强化学气相沉积处理。
[0034]所述装载单元311包括一装载腔室，所述基板200在该装载腔室中被加载在所述基座上。
[0035]—个实施例中，如图1所示，所述第一检测器110设置于所述装载腔室的外部并位于该装载腔室的入口处，用以获取基板200在进入该装载腔室实施加载操作之前的质量状态信息，即最初来料时，对来料的基板200进行检测。
[0036]在另一个实施例中(未图示)，所述第一检测器110设置于一真空腔室的外部并位于该真空腔室的入口处，用以获取基板200在进入该真空腔室之前的质量状态信息。所述真空腔室是真空单元315实施等离子体增强化学气相沉积工艺的操作空间。
[0037]发明人发现，现有的真空腔室中配置的器件精度往往比较高，且配置的器件数量繁多，而且器件之间的组装关系复杂，一旦需要停机检修，或维护保养，其拆装很麻烦。因此，优选将第一检测器110设置在所述真空腔室的入口处，用于检测进入该真空腔室之前的基板200的质量状态信息，以减少拆装真空腔室中部件的概率，避免设备的长时间停开机问题，有效提升产能。
[0038]较佳方案中，所述装载腔室的入口处和真空腔室的入口处均设置有至少一个检测器。
[0039]进一步，所述传送单元313包括一传送腔室，所述基板200通过该传送腔室进入真空腔室。更优选方案中(未图示)，所述传送腔室的入口处设置有至少一个检测器，用以获取基板200在进入该传送腔室实施移送操作之前的质量状态信息，以避免因拆卸相关的传送部件，而使所述传送部件受到损伤。
[0040]需要说明的是，上述装载腔室、真空腔室、传送腔室构成了对应工作单元310的工作腔室。
[0041]可选地，上述质量状态信息为图像信息，且所述第一检测器110是一照相器件，例如CCD照相机，其设置于基板200的一侧(如下方或上方)，用以对基板200的表面进行拍照，以获取基板200表面的图像信息数据并反馈给所述控制器，所述控制器读取并显示所述图像信息数据，以便于判断基板200是否出现质量异常。
[0042]以第一检测器110为照相器件来说，优选所述第一检测器110活动设置于基板200的一侧，使得检测器相对于基板的检测角度可以调节，这样可根据实际情况检测基板的不同位置，包括对基板200的边缘以及边缘以内的区域进行检测，而且既可用于检测同一种基板，也可用于检测不同种基板，检测范围广，检测效果好。这里，发明人发现，对于不同的基板200，其结构会有所不同，因而，检测的位置也会有变化，若采用固定不变的检测视角，如现有技术中提及的方案，经常会产生误报警，引起了诸多不便。
[0043]所述第一检测器110与基板200之间的角度范围在0°?90°之间且不等于0°。具体地说，所述检测系统100还包括一驱动机构(未图示)，与第一检测器110连接，用于驱动第一检测器110运动，例如在平行于或垂直于基板200的平面内进行摆动，或者在平行于基板200的平面内进行移动。所述驱动机构连接所述控制器，在所述控制器的控制下驱动所述第一检测器110运动。
[0044]更具体地说，所述第一检测器110的安装位置固定不动，但其可在所述驱动机构的驱动下做摆动，从而实时改变其拍摄角度。所述驱动机构例如是一马达，所述马达通过一根转轴带动第一检测器110摆动。
[0045]或者，所述第一检测器110在所述驱动机构的驱动下在基板200的一侧进行移动，以实时改变其安装位置，从而调整其拍摄位置，在此，所述驱动机构可以是一气缸系统，通过调节一气缸的行程使第一检测器110的安装位置发生变化。
[0046]除了驱动第一检测器110运动改变其拍摄角度外，还可通过增设多个检测器的方式实现检测基板200的不同位置的目的。图1示出的实施例中，所述检测系统100还包括第二检测器130和第三检测器150，均与所述控制器连接;所述第一检测器110、第二检测器130和第三检测器150位于基板200的一侧(包括同一侧或不同侧)且间隔设置;其中:所述第一检测器110位于基板200的一端，用以获取基板200位于中心一侧的第一边缘区域的图像信息；所述第二检测器130位于基板200的另一端，用以获取基板200位于中心另一侧的第二边缘区域的图像信息;所述第三检测器150位于第一检测器110和第二检测器130之间(优选第三检测器150位于基板200的中心部位)，用以获取基板200位于第一边缘区域和第二边缘区域之间的图像信息。所述控制器读取并显示该三个检测器的图像信息数据，以判断基板200是否出现质量异常。通过在基板200的不同部位设置检测器，虽然增加了检测器的数量，但相对于驱动检测器运动的方式，其结构相对简化。但是，本实施例并不限定检测器的具体设置方式，只要能够检测到基板200的不同位置的质量状态即可。
[0047]〈实施例二〉
[0048]实施例二与实施例一不同的是:本实施例的质量状态信息为根据一光信号的光强变化输出的一状态信号。具体的，本实施例的检测系统400包括至少一组第一检测器410，具体如图2所示，其是本实用新型实施例二的检测系统的结构示意图。以一组第一检测器410来说，其包括第一发射元件411和第一接收元件413;所述第一发射元件411位于基板200的一侧(如下方或上方，图2中位于基板200的下方)，用以发射一光信号至基板200;所述第一接收元件413位于基板200的另一侧，用以接收透过基板200的所述光信号，并根据所述光信号的光强变化输出一状态信号至所述控制器;所述控制器读取并显示所述状态信号，并根据所述状态信号判断基板200是否出现破损、偏移等质量异常情况。
[0049]在另一实施例中(未图示)，所述第一发射元件411和第一接收元件413位于基板200的同一侧(如基板200的上方或下方)，但第一接收元件413用于接收自基板200反射回的所述光信号，并根据反射回的所述光信号的光强变化输出一状态信号至所述控制器，以判断基板200是否出现质量异常。
[0050]优选方案中，一组第一检测器410位于基板200的一端(如装载单元311的装载腔室的入口处，真空单元315的真空腔室的入口处，或传送单元313的传送腔室的入口处)，此时，所述检测系统400还包括一组第二检测器430，位于基板200的另一端(远离对应工作腔室的入口处的一端)；一组第二检测器430包括第二发射元件431和第二接收元件433，所述第二发射元件431位于基板200的一侧(如上方或下方，图2中位于基板200的上方)，用以发射一光信号至基板200;所述第二接收元件433位于基板200的另一侧，用以接收透过基板200的所述光信号，并根据所述光信号的光强变化输出一状态信号至所述控制器;所述控制器根据第一接收元件413以及第二接收元件433发送的状态信号判断基板200是否出现破损、偏移等质量异常情况。
[0051]在另一实施例中，所述第二发射元件431和第二接收元件433位于基板200的同一侦叭如基板200的上方或下方)，但第二接收元件433用于接收自基板200反射回的所述光信号，并根据反射回的所述光信号的光强变化输出一状态信号至所述控制器，以判断基板200
是否出现质量异常。
[0052]对于具有两组检测器的结构来说，一组第一检测器410用于获取基板200位于中心一侧的第一边缘区域的光强变化，一组第二检测器430用于获取基板200位于中心另一侧的第二边缘区域的光强变化，从而获取基板200位于边缘区域的质量状态信息。
[0053]较佳实施例中，所述检测系统400还包括一组第三检测器，其包括第一发射元件411以及第三接收元件435;所述第三接收元件435位于第一接收元件411以及第二接收元件433之间(优选第三接收元件435位于基板200的中心部位)，用以接收由第一发射元件411发送经基板200透射或者反射的光信号，并根据所述光信号的光强变化输出一状态信号至所述控制器;所述控制器读取并显示所述状态信号，并根据第三接收元件435发送的状态信号判断基板200位于所述第一边缘区域和第二边缘区域之间的质量状态。此时，所述第一发射元件411的发射角度可以调节，其发送的光信号既可被第一接收元件413接收，也可被第三接收元件435接收。所述第一发射元件411的发射角度可通过转动或移动进行调节。
[0054]当然，所述一组第三检测器也可单独包括另一第三发射元件(未图示)，所述第三接收元件435接收由第三发射元件发送且经基板200透射或反射的光信号。
[0055]进一步，上述实施例一或二中，所述检测系统100或400还包括一安全互锁装置，所述安全互锁装置设置于工作单元310的一侧并与所述控制器连接，所述控制器根据所述安全互锁装置的工作状态控制工作单元310之对应的工作腔室的关闭或开启，如此，一旦存在肢体进入工作腔室，该安全互锁装置可以确保人身的安全。
[0056]具体而言，当所述安全互锁装置启动时，所述控制器接收到所述安全互锁装置发出的启动信号，并根据该启动信号控制工作腔室门的开启或关闭。例如:所述安全互锁装置包括一功能开关，至少一个检测器处设置有所述功能开关，所述功能开关用于控制至少一个所述检测器的开启或关闭，所述控制器根据至少一个所述检测器的开启状态控制所述工作腔室的关闭或开启。具体地说，当所述功能开关开启时，所述检测器关闭，致使所述控制器无法接收到所述检测器输出的信号数据，由此，所述控制器判断工作腔室的门已开启(例如已手动或自动开启)且始终控制该工作腔室的门处于开启状态，直至所述控制器接收到检测器输出的信号数据而控制关闭工作腔室。
[0057]在其他实施例中，当所述安全互锁装置工作异常时，所述控制器接收到所述安全互锁装置发出的异常信号，并根据该异常信号控制工作腔室门的开启或关闭。例如:所述安全互锁装置包括一遮光片，至少一个所述检测器的光传输路径上设置有所述遮光片，所述遮光片用于遮挡所述光传输路径上的光信号;所述控制器根据所述光信号控制所述工作腔室的关闭或开启。举例来说，所述遮光片设置于用于发出光信号的发射元件的发射路径上，使得对应的接收元件无法接收到透射或反射回的光信号，从而所述控制器无法接收到所述接收元件输出的状态信号，以此所述控制器判断工作腔室的门已开启(例如已手动或自动开启)且始终控制该工作腔室的门处于开启状态，直至所述控制器接收到接收元件输出的状态信号而控制关闭工作腔室。
[0058]除了上述两种方式实现安全互锁外，还可通过人员的肢体实现安装互锁，例如人员的手臂伸入工作腔室时，所述发射元件发出的光信号被手臂遮挡，使得控制器无法正常接收到所述接收元件输出的状态信号，从而所述控制器判断工作腔室的门已开启(例如已手动或自动开启)且始终控制该工作腔室的门处于开启状态，直至所述控制器接收到接收元件输出的状态信号而控制关闭工作腔室。
[0059]在上述三个实施例中，一旦检测器的输出信号被阻断，所述控制器便始终控制工作腔室开启，从而使得控制端无法在人员对工作腔室进行维护、保养时，控制工作腔室门关闭，这样实现了工作端的安全控制，有效确保了人身安全。
[0060]上述实施例一或二中，若基板200存在异常，所述控制器优选可发送预警信号，并控制PECVD设备停止将基板200送入对应的腔室(如装载单元311的装载腔室、真空单元315的真空腔室等)中，以便确认后处理。
[0061]本实用新型的较佳实施例如上所述，但并不限于上述实施例公开的范围，例如，实施例一的检测器的数量以及位置，实施例二的各个接收或发射元件的安装位置还可实时调整，或者各个接收或发射元件的角度也可调整，再或者接收或发射元件的数量也不局限于三组，具体均可根据实际需要进行设置。
[0062]本实用新型以PECVD设备作为示意，以说明本实用新型的检测系统如何具体实现，但是本领域普通技术人员可以根据现有的知识将本检测系统应用到其他的生产设备中。
[0063]综上所述，本实用新型的检测系统通过至少一个检测器检测基板在工作单元处理之前的质量状态，这样的设置，便于将异常的基板隔离在工艺处理之前，避免了因异常的基板进入工艺阶段而导致的生产设备停机、生产部件损坏问题。
[0064]此外，本实用新型的至少一个检测器活动设置于基板的一侧，使得检测器相对于基板的检测角度可以调节，这样可根据实际情况检测基板的不同位置，且由于检测角度可以调节，因此，本实用新型既可用于检测同一种基板，也可用于检测不同种基板，检测范围广，检测效果好。另外，本实用新型在基板的两端以及中心部位均设置有至少一个检测器，以集中对容易出现问题的部位进行检测，检测效率高。
[0065]进一步，本实用新型还设置有配置在生产设备之工作单元一侧的安全互锁装置，其与控制器通信，所述控制器可根据安全互锁装置的工作状态控制工作单元之工作腔室门的关闭或开启，如此，一旦存在肢体进入工作腔室，该安全互锁装置可以确保人身的安全。
[0066]上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【主权项】
1.一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过一生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理所述基板的一工作单元，其特征在于，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器;至少一个所述检测器连接所述控制器并设置于所述基板的一侦U，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，至少一个所述检测器活动设置于所述基板的一侧。3.如权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括一驱动机构，至少一个所述检测器连接所述驱动机构，并在所述驱动机构的驱动下转动和/或移动。4.如权利要求1至3中任意一项所述的检测系统，其特征在于，所述基板的边缘设置有至少一个所述检测器，且所述基板的中心部位设置有至少一个所述检测器。5.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，每个所述检测器为一照相器件，用于获取所述基板的表面的图像信息数据并反馈至所述控制器，所述控制器读取并显示所述图像信息数据，以判断所述基板是否出现质量异常。6.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，每个所述检测器包括发射元件和接收元件，所述发射元件和接收元件设置于所述基板的一侧;所述发射元件用于发射一光信号至所述基板，所述接收元件接收所述基板透射或反射回的所述光信号，并根据透射或反射回的所述光信号的光强变化输出一状态信号至所述控制器;所述控制器读取并显示所述状态信号，以判断所述基板是否出现质量异常。7.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述工作单元包括一工作腔室，且所述检测系统还包括一安全互锁装置;所述安全互锁装置与所述控制器连接并设置于所述工作单元的一侧;所述控制器根据所述安全互锁装置的工作状态控制所述工作腔室的关闭或开启O8.如权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述安全互锁装置包括一功能开关，至少一个所述检测器处设置有所述功能开关，所述功能开关用于控制至少一个所述检测器的开启或关闭;所述控制器根据至少一个所述检测器的开启状态控制所述工作腔室的关闭或开启。9.如权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述安全互锁装置包括一遮光片，至少一个所述检测器的光传输路径上设置有所述遮光片，所述遮光片用于遮挡所述光传输路径上的光信号;所述控制器根据所述光信号控制所述工作腔室的关闭或开启。10.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述生产设备为一PECVD设备，且所述工作单元包括装载单元以及真空单元;所述装载单元用于将所述基板加载在一基座上;所述处理单元在真空状态下对所述基板进行工艺处理;其中，所述装载单元具有一装载腔室，所述真空单元具有一真空腔室，且所述装载腔室的入口处和真空腔室的入口处中的至少一个设置有至少一个所述检测器，用于获取所述基板在进入所述装载腔室和/或所述真空腔室之前的质量状态。
【文档编号】H01L21/66GK205680659SQ201620650331
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月27日 公开号201620650331.4, CN 201620650331, CN 205680659 U, CN 205680659U, CN-U-205680659, CN201620650331, CN201620650331.4, CN205680659 U, CN205680659U
【发明人】齐之刚
【申请人】昆山国显光电有限公司