专利名称：：线性马达的制作方法
技术领域：
：本发明涉及工作设备、半导体制造装置等产业设备的工作台进给(tablefeeding)中使用的线性马达的齿槽(cogging)降低。
背景技术：
：在工作设备的工作台进给等的致动器、搬送机器中使用的线性马达中，在转子的电枢线圈比永久磁铁阵列(励磁磁铁阵列)短的情况下，由于电枢芯的磁路没有成为环状(endless)而产生末端效应。因此，在永久磁铁阵列的磁极间距中产生1个周期的齿槽推力、即2次的齿槽推力，而且产生其倍数的谐波即4次、6次的齿槽推力，所以产生转子的推力不均。另外，与以往的旋转型马达同样地，由于在第1铁心中具有狭缝，从而产生狭缝齿槽推力，并产生转子的推力不均。在作为以往的线性马达的所谓磁吸引力抵消型线性马达中，针对由于末端效应而引起的齿槽推力的问题，示出了使设置于左右定子上的永久磁铁的移动方向位置相互偏移半个间距的解决对策，其中，上述磁吸引力抵消型线性马达包括多个永久磁铁沿着移动方向依次成为不同极的在内侧等间距地紧固的左右的平行的定子；以及转子，该转子将卷绕了电枢线圈的分割芯排列在移动方向上而机械地进行结合，并且被定子的中央进行分割并被支撑为可在移动方向上移动，以分割芯的侧面与永久磁铁经由空隙而面对的方式形成磁极面(例如参照专利文献1、2)。另外，示出了不使左右的永久磁铁的移动方向位置相互偏移，而使转子的左右的齿(teeth)在移动方向上偏移的解决对策(例如参照专利文献1)。而且，针对狭缝齿槽推力的问题，示出了设为使齿的前端突出部的伸出量在轴向上相邻的芯块(coreblock)间不同结构的解决对策(例如参照专利文献3)。专利文献1日本特开平11-362236号公报(第3～4页、图1、7)专利文献2日本特开2003-134790号公报(第3～4页、图1、5)专利文献3日本特开2007-60800号公报(第5页、图4)在以往的线性马达中，存在以下那样的问题。在使定子的永久磁铁在转子的移动方向上偏移的情况下，线性马达的设置场所变长。通常，在定子的永久磁铁没有偏移的情况下，需要“线性马达的转子的移动方向长度+转子的移动距离”的设置场所，但在使定子的永久磁铁在转子的移动方向上偏移的情况下，需要“线性马达的转子的移动方向长度+转子的移动距离+偏移量”的设置场所。这存在导致装置的大型化的问题。另外，当使转子的齿在转子的移动方向上偏移的情况下，如果需要与没有偏移的情况相同的转子的移动距离，则线性马达的设置场所变长，存在导致装置大型化的问题。而且，还存在如下问题这样使定子的永久磁铁或转子的齿偏移的结构可以应用于磁吸引力抵消型线性马达，但无法应用于仅在单侧有一个定子的相向型线性马达。而且，存在如下问题在将旋转型马达中的齿的前端突出部的伸出量不同的结构应用于线性马达的情况下，即使应用了用于降低狭缝齿槽推力的阶梯式歪斜角(stepwiseskewangle)，也无法降低由于末端效应而产生的齿槽推力。
发明内容本发明是为了解决上述那样的课题而完成的，实现一种线性马达，可以不用增大装置尺寸，而同时降低狭缝齿槽推力与由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。本发明的线性马达具备定子，以交替成为不同极的方式直线状地排列多个励磁磁极而构成；以及转子，由设置有与励磁磁极的磁极面隔开规定的间隙而相向的多个齿的电枢芯、以及卷绕于齿的线圈构成，可滑动自如地支撑了定子与转子，所述线性马达的特征在于，将与转子的滑动方向垂直并且与磁极面平行的方向设为层叠方向，齿的前端部具有向滑动方向伸出的伸出部，至少电枢芯的滑动方向的两端设置的齿的前端部相对于层叠方向被分成多个区域，在相邻的区域间使滑动方向的至少一个伸出部的伸出量不同。在本发明的线性马达中，至少在电枢芯的滑动方向的两端设置的齿的前端部相对于层叠方向被分成多个区域，在相邻的区域间使滑动方向的至少一个伸出部的伸出量不同，所以不用增大装置尺寸，就可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。图1是本发明的实施方式1中的线性马达的剖面图。图2是本发明的实施方式1中的电枢芯的立体图。图3是本发明的实施方式1中的针对每个阶梯式歪斜角计算阶梯式歪斜的理论效果的结果。图4是示出本发明的实施方式1中的设为阶梯式歪斜角30°时的齿槽推力波形的图。图5是示出本发明的实施方式1中的对设为阶梯式歪斜角30°时的齿槽推力进行次数分解而得到的结果的图。图6是示出本发明的实施方式1中的设为阶梯式歪斜角45°时的齿槽推力波形的图。图7是示出本发明的实施方式1中的对设为阶梯式歪斜角45°时的齿槽推力进行次数分解而得到的结果的图。图8是本发明的实施方式2中的线性马达的剖面图。图9是本发明的实施方式2中的电枢芯的立体图。图10是示出本发明的实施方式2中的齿槽推力波形的图。图11是示出本发明的实施方式2中的对齿槽推力进行次数分解而得到的结果的图。图12是本发明的实施方式3中的线性马达的剖面图。图13是示出本发明的实施方式3中的对齿槽推力进行次数分解而得到的结果的图。图14是本发明的实施方式4中的线性马达的剖面图。图15是示出本发明的实施方式4中的对齿槽推力进行次数分解而得到的结果的图。图16是本发明的实施方式5中的线性马达的剖面图。图17是示出本发明的实施方式5中的对齿槽推力进行次数分解而得到的结果的图。图18是本发明的实施方式6中的电枢芯的立体图。图19是本发明的实施方式6中的作用于电枢芯的磁吸引力的说明图。图20是本发明的实施方式7中的电枢芯的立体图。图21是本发明的实施方式8中的电枢芯的立体图。图22是本发明的实施方式8中的齿的前端部的外观图。图23是本发明的实施方式8中的针对每个阶梯式歪斜角计算阶梯式歪斜的理论效果的结果。图24是本发明的实施方式9中的电枢芯的立体图。图25是本发明的实施方式9中的齿的前端部的外观图。图26是本发明的实施方式9中的针对每个阶梯式歪斜角计算阶梯式歪斜的理论效果的结果。图27是本发明的实施方式10中的电枢芯的立体图。图28是本发明的实施方式10中的针对每个阶梯式歪斜角计算阶梯式歪斜的理论效果的结果。图29是本发明的实施方式11中的电枢芯的立体图。图30是本发明的实施方式12中的电枢芯的立体图。图31是本发明的实施方式13中的电枢芯的立体图。图32是本发明的实施方式13中的其它电枢芯的立体图。图33是本发明的实施方式13中的其它电枢芯的立体图。图34是本发明的实施方式13中的其它电枢芯的立体图。图35是本发明的实施方式中的将齿前端部的伸出部的形状进行了切削的剖面图。图36是将本发明应用于抵消型线性马达时的剖面图。附图标记说明1、30、40、50、60、100线性马达；11、111定子；12励磁芯；13永久磁铁；21、31、41、51、61、121转子；22、32、42、52、62、72、82、202、212、222、232、242、252、262、272、282电枢芯；23线圈；24、35、36、44、45、46、55、56、65、66、74、78、204、214、224、235、236、245、246、254、264、275、276、285、286齿；24a、24b、35a、35b、36a、36b、44a、44b、45a、45b、46a、46b、55a、55b、56a、56b、65a、65b、66a、66b、74a、74c、74e、84a～84b、204a～204c、214a～214d、235a～235c、236a～236c、254a～254f、275a～275f芯块。具体实施例方式实施方式1图1是示出用于实施本发明的实施方式1的线性马达的剖面图。在图1中，线性马达1由定子11与转子21构成。在本实施方式中，例示出4极6齿结构，但也可以是任意的极数和齿数的组合。定子11以及转子21以相互滑动自如的方式设置规定的间隔而被支撑。将转子21相对定子11进行滑动的方向设为滑动方向。定子11由励磁芯12与作为励磁磁极的永久磁铁13构成。以在滑动方向上相邻的磁极交替成为不同极的方式将多个永久磁铁13直线状地排列于励磁芯12上。将永久磁铁13的配置间距设为磁极间距τ。另外，转子21包括电枢芯22，具有与永久磁铁13的磁极面隔着规定的间隙而相向的多个齿24；以及卷绕在这些齿24上的线圈23。另外，将与齿24相向的永久磁铁13的面设为磁极面，将与滑动方向垂直并且与磁极面平行的方向设为A方向(层叠方向)。图2是图1中示出的电枢芯22的立体图。在电枢芯22中设置有齿24，在齿24的前端部形成有向转子21的滑动方向伸出的伸出部。并且，各个齿24的前端部相对A方向分别被分成多个区域即两个芯块，将一个设为第1芯块24a，将另一个设为第2芯块24b，其中A方向是与转子21的滑动方向垂直并且与永久磁铁13的磁极面平行的方向。在相邻的区域间即第1芯块24a与第2芯块24b之间，滑动方向的两个伸出部的伸出量不同。即，将齿的前端部的伸出部按照芯块24a、24b设为不同的形状。此处，将这样的结构设为阶梯式歪斜。另外，在本实施方式中，以使第1芯块24a的A方向的长度L1与第2芯块24b的A方向的长度L2的关系成为L1∶L2＝1∶1的方式决定各个长度，但也可以是除此以外的关系。在第1芯块24a中，将齿的前端部中的滑动方向的一侧的伸出量设为A，将另一侧的伸出量设为B。在第2芯块24b中，将齿的前端部的滑动方向的一侧的伸出量设为C，将另一侧的伸出量设为D。此处，把通过式(1)、式(2)将伸出量的差分转换为电角度而得到的角设为阶梯式歪斜角θ1以及θ2。θ1＝(A-C)×180°/τ......(1)θ2＝(D-B)×180°/τ......(2)通过将阶梯式歪斜角θ1以及θ2设定为适当的角度，可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。在本实施方式中，在构成转子21的多个齿的所有前端部，设置有相同的阶梯式歪斜角。图3是针对每个阶梯式歪斜角计算阶梯式歪斜的理论效果的结果，示出了在将没有构成阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角0°时(即A＝C、B＝D时)的分量设为1时齿槽的各次数的分量的比例。在图3的表中，附加了负的符号的地方表示齿槽波形的位相进行反转的情形。通过构成阶梯式歪斜角，可以根据阶梯式歪斜角按照图3的表中示出的比例来降低齿槽的各次数的分量。图4示出设为阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝30°时的齿槽推力波形的例子。在图4中，横轴是电角度，纵轴是齿槽波形的大小。由于相对地比较各波形即可，所以纵轴的大小可以是任意的。该齿槽推力波形是通过磁场解析而得到的计算结果。在本实施方式中，由于定子11的极数与转子21的齿数的组合是4极6齿，所以作为狭缝齿槽推力而产生6次分量。此处，如图3的表所示，如果将阶梯式歪斜角设定为30°，则可以期待能够使6次分量大致成为零这样的效果。在图4中，分开显示出第1芯块24a组产生的齿槽推力FC1、与第2芯块24b组产生的齿槽推力FC2，通过合成FC1与FC2而得到总的齿槽推力FCT。在图4中，还示出了没有应用阶梯式歪斜时的齿槽推力FCO。如果将总的齿槽推力FCT与齿槽推力FCO进行比较，则可知通过应用阶梯式歪斜而使齿槽推力变小。在图5中，示出对图4所示的设为阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝30°时的总的齿槽推力FCT与没有应用阶梯式歪斜时的齿槽推力FCO分别进行次数分解而得到的结果。在图5中，横轴是各次数，纵轴是齿槽分量的大小。在图5中，通过应用阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝30°的阶梯式歪斜，与没有应用阶梯式歪斜的情况相比，2次分量成为0.884倍、4次分量成为0.497倍、6次分量成为0.065倍(大致零)、12次分量成为-0.984倍。不仅可以将作为狭缝齿槽推力而产生的6次分量降低至大致零，而且作为整体还可以降低狭缝齿槽推力(6次分量)以外的次数分量。因此，可知可以降低狭缝齿槽推力，并且同时可以降低由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。另外，相对这些齿槽推力FCO的总的齿槽推力FCT的各次数的倍率与图3的表中的阶梯式歪斜角30°中示出的倍率大致一致。图6示出设为阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝45°时的齿槽推力波形的例子。在图6中，分开示出第1芯块24a组产生的齿槽推力FC1、与第2芯块24b组产生的齿槽推力FC2，通过合成FC1与FC2而得到总的齿槽推力FCT。在图6中，与图4同样地还示出没有应用阶梯式歪斜时的齿槽推力FCO。如果将总的齿槽推力FCT与齿槽推力FCO进行比较，则可知通过应用阶梯式歪斜通过应用阶梯式歪斜，除了狭缝齿槽推力以外，由于末端效应而产生的齿槽推力也变小。图7示出对图6所示的设为阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝45°时的总的齿槽推力FCT与没有应用阶梯式歪斜时的齿槽推力FCO分别进行次数分解而得到的结果。在图7中，通过应用阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝45°的阶梯式歪斜，与没有应用阶梯式歪斜的情况相比，2次分量成为0.767倍、4次分量成为0.250倍、6次分量成为-0.677倍、12次分量成为-0.070倍。不仅可以降低作为狭缝齿槽推力而产生的6次分量，而且作为整体还可以降低狭缝齿槽推力(6次分量)以外的次数分量。因此，可知可以降低狭缝齿槽推力，并且同时可以降低由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。另外，相对这些齿槽推力FCO的总的齿槽推力FCT的各次数的倍率与图3的表中的阶梯式歪斜角45°中示出的倍率大致一致。另外，在决定阶梯式歪斜角时，优选将相邻的芯块(区域)中的一个芯块即第1芯块24a的滑动方向的一个伸出部的伸出量A、与相邻的芯块中的另一个芯块即第2芯块24b的滑动方向的另一个伸出部的伸出量D设为相同，而且将第1芯块24a的滑动方向的另一个伸出部的伸出量B、与第2芯块24b的滑动方向的一个伸出部的伸出量C设为相同。即，优选设定为伸出量A、B、C、D满足A＝D并且B＝C的关系。通过这样的结构，如果将第1芯块24a进行反转，则第1芯块24a与第2芯块24b的形状成为相同的形状，所以可以将部件进行共用化，因此可以减少部件个数。如上所述，将电枢芯22在与滑动方向垂直且与永久磁铁13的磁极面平行的方向上分成两个芯块24a、24b，并且成为各个齿的前端部的伸出部的长度不同的形状，将阶梯式歪斜角设定为期望的值，从而可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。另外，即使在仅在单侧具备一个定子的相向型线性马达中，也可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。实施方式2图8是示出用于实施本发明的实施方式2的线性马达的剖面图。本实施方式的线性马达30与实施方式1的不同点在于，仅在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的外侧没有设置阶梯式歪斜。在图8中，附加了与图1相同的符号的部分是同一或与其相当的部分，这种情况在说明书的全文中通用。另外，在说明书全文中示出的结构要素的方式仅是例示，不限于这些记载。图9是图8中示出的电枢芯32的立体图。在电枢芯32中设置有齿24、35、36，在各个齿24、35、36的前端部形成有向转子31的滑动方向伸出的伸出部。并且，齿24、35、36的前端部相对A方向分别被分成多个区域即两个芯块，其中A方向是与转子31的滑动方向垂直并且与永久磁铁13的磁极面平行的方向。此处，将一方设为第1芯块24a、35a、36a，将另一方设为第2芯块24b、35b、36b。另外，在设置于电枢芯32的滑动方向的两端的两个齿35、36以外的内侧的齿24的前端部，与实施方式1示出的部分同样地在滑动方向的两侧的伸出部设置有阶梯式歪斜。另外，在两端的齿35、36的前端部的内侧(旁边具有齿的一侧)与实施方式1示出的部分同样地，在伸出部设置有阶梯式歪斜。另一方面，将两端的齿35、36的前端部的外侧(旁边没有齿的一侧)的伸出部的形状，在A方向上相邻的区域即芯块间设为同一形状。即，在作为相邻的区域间的第1芯块35a(36a)与第2芯块35b(36b)之间，滑动方向的至少一个伸出部的伸出量不同。因此，在位于滑动方向的两端的两个齿35、36的前端部各自的外侧(旁边没有齿的一侧)没有设置阶梯式歪斜。在图10中，示出这样的结构的线性马达30中的设为阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝30°时的齿槽推力波形的例子。另外，在图11中，示出对图10所示的设为阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝30°时的总的齿槽推力FCT与没有应用阶梯式歪斜时的齿槽推力FCO分别进行次数分解而得到的结果。如图10以及图11所示，通过构成为仅在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的外侧没有设置阶梯式歪斜，从而与在所有齿的前端部同样地设置阶梯式歪斜的结构相比，齿槽推力降低，特别是可以降低齿槽推力的2次分量。由此，如果如图3的表所示选择60°以下的角度作为阶梯式歪斜角，则几乎无法降低齿槽推力的2次分量。但是，通过设为本实施方式那样的阶梯式歪斜的结构，即使选择了60°以下的小的角度作为阶梯式歪斜角，也可以减小总的齿槽推力。另外，理想的是，作为还可以降低齿槽推力的4次分量、6次分量的阶梯式歪斜角而优选选择25°～50°。实施方式3图12是示出本发明的实施方式3的线性马达的剖面图。本实施方式的线性马达40与实施方式1的不同点在于，仅在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的内侧设置了阶梯式歪斜。在图12中，在电枢芯42中设置有齿44、45、46，在齿44、45、46的前端部形成有向转子41的滑动方向伸出的伸出部。并且，在电枢芯42的滑动方向的两端设置的齿45、46的前端部相对于A方向(层叠方向)分别被分成多个区域即两个芯块，将一方设为第1芯块45a、46a，将另一方设为第2芯块45b、46b，其中A方向是与转子41的滑动方向垂直并且与永久磁铁13的磁极面平行的方向。在相邻的区域间即第1芯块45a与第2芯块45b之间，滑动方向的内侧(旁边具有齿的一侧)的伸出部的伸出量不同。同样地，在第1芯块46a与第2芯块46b之间，滑动方向的内侧的伸出部的伸出量不同。即，在位于滑动方向的两端的两个齿45、46的前端部各自的内侧设置有阶梯式歪斜。另一方面，将两端的齿45、46的前端部的外侧(旁边没有齿的一侧)的伸出部的形状，在A方向上相邻的芯块间设为同一形状。即，在位于滑动方向的两端的两个齿45、46的前端部各自的外侧没有设置阶梯式歪斜。另外，构成为在位于滑动方向的两端的两个齿45、46以外的内侧的齿44的前端部没有设置阶梯式歪斜，在A方向上相邻的芯块间将伸出部的形状设为同一形状。在图13中，示出对这样的结构的线性马达40中的设为阶梯式歪斜角θ1＝θ2＝30°时的总的齿槽推力FCT与没有应用阶梯式歪斜时的齿槽推力FCO分别进行次数分解而得到的结果。如图13所示，仅在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的内侧设置了阶梯式歪斜的结构，与没有设置阶梯式歪斜的结构相比，可以使齿槽推力的8次分量成为大致零。实施方式4图14是示出本发明的实施方式4的线性马达的剖面图。本实施方式的线性马达50与实施方式1的不同点在于，仅位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的内侧的阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角与其它阶梯式歪斜不同。在电枢芯52中设置有齿24、55、56，在齿24、55、56的前端部形成有向转子51的滑动方向伸出的伸出部。并且，齿24、55、56的前端部相对A方向(层叠方向)分别被分成多个区域即两个芯块，将一方设为第1芯块24a、55a、56a，将另一方设为第2芯块24b、55b、56b，其中A方向是与转子51的滑动方向垂直并且与永久磁铁13的磁极面平行的方向。并且，在电枢芯52的滑动方向的两端设置的两个齿55、56以外的内侧的齿24的前端部，与实施方式1示出的部分同样地，在两侧的伸出部设置有阶梯式歪斜。另外，对于两端的齿55、56的前端部的外侧(旁边没有齿的一侧)，仅单侧与实施方式1示出的部分同样地，在伸出部设置有阶梯式歪斜。另一方面，两端的齿55、56的前端部中的滑动方向的内侧(旁边具有齿的一侧)的伸出部，相对在两端以外设置的齿24的前端部中的伸出部以及两端的齿55、56的前端部中的滑动方向的外侧的伸出部，在多个区域即两个芯块55a、55b(56a、56b)中的至少一个芯块中使伸出部的伸出量不同。即，将两端的齿55、56的内侧的伸出部的形状，在A方向上相邻的芯块间设为不同的形状，但与其它齿的前端部的伸出部相比，使伸出量不同。因此，仅有位于滑动方向的两端的两个齿55、56的前端部各自的内侧(旁边具有齿的一侧)的阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角与其它阶梯式歪斜不同。在这样的结构的线性马达50中，可以同时得到实施方式1的效果与实施方式3的效果。在图15中，示出对将位于两端的两个齿55、56的前端部的外侧的阶梯式歪斜角以及内侧的齿24的前端部的阶梯式歪斜角设为15度、并将位于两端的两个齿55、56的前端部的内侧的阶梯式歪斜角设为30度时的总的齿槽推力FCT、与没有应用阶梯式歪斜时的齿槽推力FCO分别进行次数分解而得到的结果。如图15所示，仅使位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的内侧的阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角与其它阶梯式歪斜不同的结构，与没有设置阶梯式歪斜的结构相比，可以使齿槽推力的8次分量以及12次分量大致成为零。本实施方式成为将在实施方式1中把阶梯式歪斜角设为15°的结构以及实施方式3的结构进行了合并那样的结构，但齿槽推力的12次分量以及8次分量分别被消除，可以同时得到实施方式1以及实施方式3这两个效果。实施方式5图16是示出本发明的实施方式5的线性马达的剖面图。本实施方式的线性马达60与实施方式2的不同点在于，仅有位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的内侧的阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角与其它阶梯式歪斜不同。在图16中，在电枢芯62中设置有齿24、65、66，在齿24、65、66的前端部形成有向转子61的滑动方向伸出的伸出部。并且，齿24、65、66的前端部相对A方向(层叠方向)分别被分成多个区域即两个芯块，其中A方向是与转子61的滑动方向垂直并且与永久磁铁13的磁极面平行的方向。将一方设为第1芯块24a、65a、66a，将另一方设为第2芯块24b、65b、66b(未图示)。在电枢芯62的滑动方向的两端设置的两个齿65、66以外的内侧的齿24的前端部，与实施方式1所示的部分同样地，在两侧的伸出部设置有阶梯式歪斜。但是，在位于滑动方向的两端的两个齿65、66的前端部的外侧(旁边没有齿的一侧)，与实施方式2所示的部分同样地，在伸出部没有设置阶梯式歪斜。另一方面，两端的齿65、66的前端部的滑动方向的内侧(旁边具有齿的一侧)的伸出部相对于在两端以外设置的齿24的前端部中的伸出部，在多个区域即两个芯块65a、65b(66a、66b)中的至少一个芯块中使伸出部的伸出量不同。即，在位于滑动方向的两端的两个齿65、66的前端部中，在滑动方向的内侧的伸出部的A方向上相邻的芯块间设为不同的形状，但是与其它齿的前端部相比，使伸出量不同。即，位于滑动方向的两端的两个齿65、66的前端部各自的内侧的阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角与内侧的齿24的前端部的阶梯式歪斜不同。在图17中，示出对将内侧的齿24的前端部的阶梯式歪斜角设为15度并将位于两端的两个齿65、66的前端部的内侧的阶梯式歪斜角设为30度时的总的齿槽推力FCT、与没有应用阶梯式歪斜时的齿槽推力FCO分别进行次数分解而得到的结果。如图17所示，与没有设置阶梯式歪斜的结构相比，在如下结构中，除了齿槽推力的8次分量以及12次分量以外还可以使2次分量也大致成为零，其中，所述结构为仅使位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的内侧的阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角与其它阶梯式歪斜不同，并在两个齿的前端部各自的外侧没有阶梯式歪斜。实施方式6图18是本发明的实施方式6的电枢芯的立体图。本实施方式与实施方式1的不同点在于，芯块被分成三个。在图18中，在电枢芯72中设置有齿74，在齿74的前端部形成有向转子的滑动方向伸出的伸出部。并且，齿74的前端部相对A方向(层叠方向)被分成三个芯块即第1芯块74a、第2芯块74c、第3芯块74e而构成，其中A方向是与转子的滑动方向垂直并且与磁极面平行的方向。此处，从与磁极面垂直的方向观察，调节各芯块74a、74c、74e的滑动方向的宽度以使相对于如下中心线(A方向中心线)成为线对称，其中，该中心线是通过齿74的前端部在A方向的两端的中心的、沿着滑动方向的线。另外，在本实施方式中，以使第1芯块74a的A方向的长度L1、第2芯块74c的A方向的长度L2、以及第3芯块74e的A方向的长度L3的关系成为L1∶L2∶L3＝1∶2∶1的方式决定各个长度，但也可以是除此以外的关系。此处，说明在将齿74的前端部分成三个芯块的情况下得到的效果。如图19所示，当如实施方式1～5那样电枢芯在A方向上分成两个芯块的情况下，从第1芯块24a、第2芯块24b分别对永久磁铁在A方向上作用磁吸引力。此时，第1芯块24a与第2芯块24b在滑动方向上相对偏移地配置。因此，如果从第1芯块24a与第2芯块24b的边界中心观察，则由于第1芯块24a与永久磁铁13之间的磁吸引力、和第2芯块24b与永久磁铁13之间的磁吸引力，而产生旋转力。如果该旋转力传递到支撑转子21的线性导轨，则成为转子21的振动和噪音的原因，有时会使线性导轨的寿命变差。但是，如本实施方式那样，通过向滑动方向交替偏移地配置三个芯块，从而如果从三个芯块全体的中心观察，则三个芯块的每一个与永久磁铁之间的各个磁吸引力相互抵消，所以不会对线性导轨施加旋转力，不会产生上述那样的问题。实施方式7图20是本发明的实施方式7的电枢芯的立体图。本实施方式与实施方式6的不同点在于，芯块被分成五个。在图20中，在电枢芯82中设置有齿84，在齿84的前端部形成有向转子的滑动方向伸出的伸出部。并且，齿84的前端部相对A方向(层叠方向)被分成五个芯块84a～84e而构成，其中A方向是与转子的滑动方向垂直并且与磁极面平行的方向。此处，从与磁极面垂直的方向观察，调节芯块84a～84e的滑动方向的宽度以使相对于如下中心线(A方向中心线)成为线对称，其中，该中心线是通过齿84的前端部在A方向的两端的中心的、沿着滑动方向的线。此处，对作为追加区域的芯块84b的伸出量的设定进行说明。将芯块84b的滑动方向的一个伸出部的伸出量设为与相邻的芯块84a、84c的滑动方向的一个伸出部的伸出量中的短的伸出量(例如芯块84c的伸出量)大致相同。将芯块84b的滑动方向的另一个伸出部的伸出量设为与相邻的芯块84a、84c的滑动方向的另一个伸出部的伸出量中的短的伸出量(例如芯块84a的伸出量)大致相同。作为追加区域的芯块84d的伸出量也同样地设定。即，构成为将如下芯块作为第2芯块84b、第4芯块84d而插入，其中所述芯块在两端具备第1芯块84a、第3芯块84c、第5芯块84e的齿的前端部的伸出部中的短的伸出部。在实施方式6中示出的将齿的前端部分成三个的结构中，如图18所示，齿74的前端部的芯块74c的伸出部与旁边的齿的前端部的芯块74a的伸出部接近。同样地，齿74的前端部的芯块74c的伸出部、与旁边的齿的前端部的芯块74e的伸出部接近。由此，磁通在由邻接齿间的伸出部所形成的接近部位被泄漏而使线性马达的效率变差。与此相对，如本实施方式那样，通过插入第2芯块84b、第4芯块84d，例如可以使齿841的前端部的芯块84c的伸出部与旁边的齿842的前端部的芯块84a的伸出部的距离变长，所以可以降低泄漏磁通，可以提高线性马达的效率。优选如下那样设置各芯块84a～84e。如图20所示，将第一齿841的在滑动方向上相邻的齿设为第二齿842，将第一齿841的前端部中的夹着作为追加区域的芯块84d而相邻的两个芯块84c、84e的伸出部中的向第二齿842侧突出的芯块84c的伸出部设为第一伸出部。将夹着与第一齿841的芯块84d对应的第二齿842的芯块84d而相邻的两个芯块84c、84e的伸出部中的向第一齿841突出的芯块84e的伸出部设为第二伸出部。并且，在将相向的第一伸出部与第二伸出部的最短距离设为T1，将第一齿与第二齿之间的滑动方向狭缝开口宽度设为T2的情况下，以满足T1≥T2的关系的方式设置各芯块84a～84e。通过这样的结构，可以减少邻接的齿间的泄漏磁通，可以得到高效的线性马达。实施方式8图21是本发明的实施方式8的电枢芯的立体图。本实施方式与实施方式1的不同点在于，芯块被分成三个，与实施方式6的不同点在于，各块的伸出部的伸出量沿着与转子的滑动方向垂直并且与磁极面平行的方向即A方向(层叠方向)单调地变长或变短。另外，图22是从与磁极面垂直的方向观察的齿的前端部的外观图。在图21中，在电枢芯202中设置有齿204，在齿204的前端部形成有向转子的滑动方向伸出的伸出部。并且，齿204的前端部是相对于A方向分别分成多个区域即三个芯块的3阶梯式歪斜结构，分别设为第1芯块204a、第2芯块204b、第3芯块204c。此处，第1芯块204a是多个区域中的层叠方向的一端的区域，第3芯块204c是多个区域中的层叠方向的另一端的区域。在相邻的区域间、即第1芯块204a与第2芯块204b之间、第2芯块204b与第3芯块204c之间，滑动方向的两方的伸出部的伸出量各不相同。即，将齿204的前端部的伸出部根据芯块204a、204b、204c而设为不同的形状。另外，在本实施方式中，以使第1芯块204a的A方向的长度L1、第2芯块204b的A方向的长度L2、以及第3芯块204c的A方向的长度L3的关系成为L1∶L2∶L3＝1∶1∶1的方式决定各个长度，但也可以是除此以外的关系。如图22所示，在第1芯块204a中，将齿204的前端部中的滑动方向的一侧的伸出量设为A，将另一侧的伸出量设为B。在第2芯块204b中，将齿204的前端部中的滑动方向的一侧的伸出量设为E，将另一侧的伸出量设为F。在第3芯块204c中，将齿204的前端部中的滑动方向的一侧的伸出量设为C，将另一侧的伸出量设为D。在图22中，将一侧的伸出量的关系设为A＞E＞C，将另一侧的伸出量的关系设为B＜F＜D，但也可以将一侧的伸出量的关系设为A＜E＜C，将另一侧的伸出量的关系设为B＞F＞D。此处，将通过实施方式1中示出的式(1)、式(2)把伸出量的差分换算为电角度而得到的角度设为阶梯式歪斜角θ1以及θ2。通过将阶梯式歪斜角θ1以及θ2设定为适当的角度，可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。在本实施方式中，在构成电枢芯202的多个齿204的所有前端部设置有相同的阶梯式歪斜角。另外，在本实施方式中，将第2芯块204b的伸出量分别设定为E＝(A+C)/2、F＝(B+D)/2，以使各芯块204a～204c间的伸出量的差分变得均等。图23是针对每个阶梯式歪斜角计算阶梯式歪斜的理论效果的结果，示出了在将没有构成阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角0°时(即A＝E＝C、B＝F＝D时)的分量设为1时齿槽的各次数的分量的比例。在图23的表中，附加了负的符号的地方表示齿槽波形的位相进行反转的情形。通过构成阶梯式歪斜角，可以根据阶梯式歪斜角按照图23的表中示出的比例来降低齿槽的各次数的分量。根据图23的表可知，通过将齿204的前端部设为3阶梯式歪斜结构，从而与实施方式1的结构相比，特别是在阶梯式歪斜角30°附近使齿槽的6次～16次分量的降低效果变大。另外，在决定阶梯式歪斜角时，优选将第1芯块204a中的滑动方向的一个伸出部的伸出量A与第3芯块204c中的滑动方向的另一个伸出部的伸出量D设为相同，而且，将第1芯块204a中的滑动方向的另一个伸出部的伸出量B与第3芯块204c中的滑动方向的一个伸出部的伸出量C设为相同。即，优选以满足A＝D并且B＝C的关系的方式设定伸出量A、B、C、D。通过这样的结构，如果反转第1芯块204a，则第1芯块204a与第3芯块204c的形状成为相同的形状，所以可以将部件进行共用化，因此可以减少部件个数。如上所述，通过设为将齿204的前端部分成三个芯块204a、204b、204c、并使各个齿204的前端部的伸出部的长度不同这样的形状，将阶梯式歪斜角设定为期望的值，由此可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。另外，即使在仅在单侧具备一个定子的相向型线性马达中，也可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。实施方式9图24是本发明的实施方式9的电枢芯的立体图。本实施方式与实施方式8的不同点在于，芯块被分成四个。另外，图25是从与磁极面垂直的方向观察的齿的前端部的外观图。在图24中，在电枢芯212中设置有齿214，在齿214的前端部形成有向转子的滑动方向伸出的伸出部。并且，齿214的前端部是相对于与转子的滑动方向垂直并且与磁极面平行的方向即A方向(层叠方向)分别被分成多个区域即四个芯块的4阶梯式歪斜结构，分别设为第1芯块214a、第2芯块214b、第3芯块214c、第4芯块214d。此处，第1芯块214a是多个区域中的层叠方向的一端的区域，第4芯块214d是多个区域中的层叠方向的另一端的区域。在相邻的区域间、即第1芯块214a与第2芯块214b之间、第2芯块214b与第3芯块214c之间、第3芯块214c与第4芯块214d之间，滑动方向的双方的伸出部的伸出量各不相同。即，将齿214的前端部的伸出部根据芯块214a、214b、214c、214d而设为不同的形状。另外，在本实施方式中，以使第1芯块214a的A方向的长度L1、第2芯块214b的A方向的长度L2、第3芯块214c的A方向的长度L3、以及第4芯块214d的A方向的长度L4的关系成为L1∶L2∶L3∶L4＝1∶1∶1∶1的方式决定各个长度，但也可以是除此以外的关系。如图25所示，在第1芯块214a中，将齿214的前端部中的滑动方向的一侧的伸出量设为A，将另一侧的伸出量设为B。在第2芯块214b中，将齿214的前端部中的滑动方向的一侧的伸出量设为E，将另一侧的伸出量设为F。在第3芯块214c中，将齿214的前端部中的滑动方向的一侧的伸出量设为G，将另一侧的伸出量设为H。在第4芯块214d中，将齿214的前端部中的滑动方向的一侧的伸出量设为C，将另一侧的伸出量设为D。在图25中，将一侧的伸出量的关系设为A＞E＞G＞C，将另一侧的伸出量的关系设为B＜F＜H＜D，但也可以将一侧的伸出量的关系设为A＜E＜G＜C，将另一侧的伸出量的关系设为B＞F＞H＞D。此处，将通过实施方式1中示出的式(1)、式(2)把伸出量的差分换算为电角度而得到的角度设为阶梯式歪斜角θ1以及θ2。通过将阶梯式歪斜角θ1以及θ2设定为适当的角度，可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。在本实施方式中，在构成电枢芯212的多个齿214的所有前端部设置有相同的阶梯式歪斜角。另外，在本实施方式中，将第2以及第3芯块214b、214c的伸出量分别设定为E＝(2×A+C)/3、G＝(A+2×C)/3、F＝(2×B+D)/3、H＝(B+2×D)/3，以使各芯块214a～214d间的伸出量的差分变得均等。图26是针对每个阶梯式歪斜角计算阶梯式歪斜的理论效果的结果，示出了在将没有构成阶梯式歪斜的阶梯式歪斜角0°时(即A＝E＝G＝C、B＝F＝H＝D时)的分量设为1时齿槽的各次数的分量的比例。在图26的表中，附加了负的符号的地方表示齿槽波形的位相进行反转的情形。通过构成阶梯式歪斜角，可以根据阶梯式歪斜角按照图26的表中示出的比例来降低齿槽的各次数的分量。如从图26的表可知，通过将齿214的前端部设为4阶梯式歪斜结构，从而与实施方式1的结构相比，特别是在阶梯式歪斜角30°～45°的区域中使齿槽的6次～16次分量的降低效果变大。另外，在决定阶梯式歪斜角时，优选将第1芯块214a中的滑动方向的一个伸出部的伸出量A与第4芯块214d中的滑动方向的另一个伸出部的伸出量D设为相同，而且，将第1芯块214a中的滑动方向的另一个伸出部的伸出量B与第4芯块214d中的滑动方向的一个伸出部的伸出量C设为相同。同样地，优选将第2芯块214b的伸出量E与第3芯块214c的伸出量H设为相同，而且，将第2芯块214b的伸出量F与第3芯块214c的伸出量G设为相同。即，优选以满足A＝D、B＝C、E＝H、F＝G的关系的方式设定伸出量A～H。通过这样的结构，如果反转第1芯块214a，则第1芯块214a与第4芯块214d的形状成为相同的形状，如果反转第2芯块214b，则第2芯块214b与第3芯块214c的形状成为同一形状，所以可以将部件进行共用化，因此可以减少部件个数。如上所述，通过设为将齿214的前端部分成四个芯块214a、214b、214c、214d、并使各个齿214的前端部的伸出部的长度不同的形状，将阶梯式歪斜角设定为期望的值，由此可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。另外，即使在仅在单侧具备一个定子的相向型线性马达中，也可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。实施方式10图27是本发明的实施方式10的电枢芯的立体图。本实施方式与实施方式1的不同点在于，是如下的倾斜歪斜结构各齿的前端部通过多个芯块被分割，以相对于与转子的滑动方向垂直并且与磁极面的平行的方向即A方向(层叠方向)倾斜的方式形成各齿的前端部的转子方向的两侧部。在图27中，在电枢芯222中设置有齿224。齿224的前端部分别被分成多个区域即多个芯块，并形成有向转子的滑动方向伸出的伸出部。由于在多个芯块的相邻的芯块彼此之间，伸出部的伸出量不同，所以齿224的前端部的伸出部的轮廓线相对于A方向大致倾斜。即，齿224的前端部的滑动方向的端部成为相对于A方向倾斜的倾斜歪斜结构。另外，在利用层叠钢板来制作电枢芯的情况下，通过使与芯块相当的1个～几个钢板的伸出量逐个少量地发生变化并进行层叠，可以得到具有倾斜歪斜结构的电枢芯。如图27所示，将齿224的前端部中的滑动方向的一侧的A方向的一端的伸出量设为A，将A方向的另一端的伸出量设为C，将齿224的前端部中的滑动方向的另一侧的A方向的一端的伸出量设为B，将A方向的另一端的伸出量设为D。此处，将通过式(3)、式(4)把伸出量的差分换算为电角度而得到的角度设为倾斜歪斜角θ1’以及θ2’。θ1’＝(A-C)×180°/τ......(3)θ2’＝(D-B)×180°/τ......(4)通过将倾斜歪斜角θ1’以及θ2’设定为适当的角度，可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。在本实施方式中，在构成电枢芯222的多个齿224的所有前端部设置有相同的倾斜歪斜角。图28是针对每个倾斜歪斜角计算倾斜歪斜的理论效果的结果，示出了在将没有构成倾斜歪斜的倾斜歪斜角0°时(即A＝C、B＝D时)的分量设为1时齿槽的各次数的分量的比例。在图28的表中，附加了负的符号的地方表示齿槽波形的位相进行反转的情形。通过构成倾斜歪斜角，可以根据倾斜歪斜角按照图28的表中示出的比例来降低齿槽的各次数的分量。如从图28的表可知，通过将齿224的前端部设为倾斜歪斜结构，从而与实施方式1的结构相比，特别是在倾斜歪斜角30°～45°的区域中使齿槽的6次～16次分量的降低效果变大。如上所述，利用多个芯块将齿224的前端部设为倾斜歪斜结构，从而通过将倾斜歪斜角设定为期望的值，可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。另外，即使在仅在单侧具备一个定子的相向型线性马达中，也可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。实施方式11图29是本发明的实施方式11的电枢芯的立体图。本实施方式的电枢芯与实施方式8的不同点在于，仅在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的外侧没有设置阶梯式歪斜。在图29中，在电枢芯232中设置有齿204、235、236，在各个齿204、235、236的前端部形成有向转子的滑动方向伸出的伸出部。并且，齿204、235、236的前端部是相对于A方向(层叠方向)分别被分成多个区域即三个芯块的3阶梯式歪斜结构，其中所述A方向是与转子的滑动方向垂直并且与永久磁铁的磁极面平行的方向。将各个芯块设为第1芯块204a、235a、236a、第2芯块204b、235b、236b、第3芯块204c、235c、236c。另外，在电枢芯232的滑动方向的两端设置的两个齿235、236以外的内侧的齿204的前端部，与实施方式8示出的部分同样地，在滑动方向的两侧设置有伸出部，成为3阶梯式歪斜结构。此处，在两端的齿235、236的前端部的内侧(旁边具有齿的一侧)，与实施方式8示出的部分同样地，设置有伸出部，但在A方向上相邻的区域即芯块间，将两端的齿235、236的前端部的外侧(旁边没有齿的一侧)中的伸出部的形状设为同一形状。即，在相邻的区域间、即第1芯块235a(236a)与第2芯块235b(236b)之间、以及第2芯块235b(236b)与第3芯块235c(236c)之间，滑动方向的至少一个伸出部的伸出量不同。因此，在位于滑动方向的两端的两个齿235、236的前端部各自的外侧(旁边没有齿的一侧)没有设置伸出部，没有成为阶梯式歪斜结构。这样，通过设为仅在位于滑动方向的两端的两个齿235、236的前端部各自的外侧没有设置阶梯式歪斜的结构，从而与在所有齿的前端部同样地设置阶梯式歪斜的结构相比，齿槽推力降低，特别是可以降低齿槽推力的2次分量。另外，通过将齿204、235、236的前端部设为3阶梯式歪斜结构，从而与实施方式2的结构相比，特别是在阶梯式歪斜角30°附近使齿槽的6次～16次分量的降低效果变大。另外，在本实施方式中，将齿的前端部设为3阶梯式歪斜结构，但也可以作为实施方式9示出的4阶梯式歪斜结构、实施方式10示出的倾斜歪斜结构，将齿的前端部设为在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的外侧(旁边没有齿的一侧)没有设置歪斜结构的结构。通过这样的结构，得到在阶梯式歪斜角30°～45°的区域中齿槽的6次～16次分量的降低进一步变大这样的效果。实施方式12图30是本发明的实施方式12的电枢芯的立体图。本实施方式的电枢芯与实施方式10的不同点在于，仅在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的外侧不设置歪斜，并且将伸出部的形状设为负的突出部即切削了的形状。在图30中，在电枢芯242中设置有齿224、245、246。各个齿224、245、246的前端部分别被分成多个区域即多个芯块，并形成有向转子的滑动方向伸出的伸出部。由于在多个芯块的相邻的芯块彼此之间，伸出部的伸出量不同，所以齿224、245、246的前端部的伸出部的轮廓线相对A方向大致倾斜。即，齿224、245、246(齿245、246仅为内侧)的前端部相对A方向(层叠方向)成为倾斜歪斜结构，其中A方向是与转子的滑动方向垂直并且与磁极面平行的方向。另外，在利用层叠钢板来制作电枢芯的情况下，通过使与芯块相当的1个～几个钢板的伸出量逐个少量地发生变化并进行层叠，从而可以得到具有倾斜歪斜结构的电枢芯。此处，在两端的齿245、246的前端部的内侧(旁边具有齿的一侧)，与实施方式10示出的部分同样地，伸出部成为倾斜歪斜结构，但在两端的齿245、246的前端部的外侧(旁边没有齿的一侧)没有设置伸出部，相反地设为将角部切削一定量的形状。这样，通过仅在位于滑动方向的两端的两个齿245、246的前端部各自的外侧不设置歪斜结构，并且设为将伸出部进行了切削的形状，从而与在所有齿的前端部同样地设置阶梯式歪斜的结构相比，齿槽推力降低，特别是可以降低齿槽推力的2次分量。而且，能够得到在倾斜歪斜角30°～45°的区域中使齿槽的6次～16次分量的降低变大这样的效果。另外，在本实施方式中，将齿的前端部设为倾斜歪斜结构，但也可以是将齿的前端部设为实施方式8示出的3阶梯式歪斜结构、将齿的前端部设为实施方式9示出的4阶梯式歪斜结构，在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的外侧(旁边没有齿的一侧)不设置歪斜结构，并且将伸出部进行了切削的形状。实施方式13图31是本发明的实施方式13的电枢芯的立体图。本实施方式与实施方式6的不同点在于，芯块被分成六个。在图31中，在电枢芯252中设置有齿254，在齿254的前端部形成有向转子的滑动方向伸出的伸出部。而且，齿254的前端部相对于A方向(层叠方向)被分成六个芯块即第1芯块254a、第2芯块254b、第3芯块254c、第4芯块254d、第5芯块254e、第6芯块254f而构成，其中A方向是与转子的滑动方向垂直并且与磁极面平行的方向。此处，从与磁极面垂直的方向观察，以相对于如下中心线(A方向的中心线)成为线对称的方式配置了各芯块254a～254f，其中所述中心线是通过齿254的前端部在A方向的两端的中心的、沿着滑动方向的线。即，第1芯块254a与第6芯块254f、第2芯块254b与第5芯块254e、第3芯块254c与第4芯块254d分别被配置为相对于A方向的中心线成为线对称。通过以相对于A方向的中心线成为线对称的方式将齿254的前端部分成六个芯块而进行配置，从而如实施方式6中所说明的那样，如果从六个芯块整体的中心观察，则邻接的齿254中的六个芯块的每一个与定子的永久磁铁之间的各自的磁吸引力相互抵消，所以不会对线性导轨施加旋转力，因此可以降低转子的振动和噪音。而且，与实施方式6相比，增加了阶梯式歪斜的阶梯数，所以特别是在阶梯式歪斜角30°附近使齿槽的6次～16次分量降低，可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。另外，在本实施方式中，将齿的前端部设为6阶梯式歪斜结构，但如果使齿的前端部相对于A方向的中心线成为线对称，则也可以设为更多阶梯的歪斜结构。另外，也可以如图32所示，以使电枢芯262的各齿264的前端部相对于A方向的中心线成为线对称的方式设为倾斜歪斜结构。在图32中，齿264的前端部的伸出部的轮廓线相对于A方向大致倾斜，并且相对于A方向的中心线是线对称。通过这样的结构，得到在阶梯式歪斜角30°～45°的区域中使齿槽的6次～16次分量的降低进一步变大这样的效果。另外，在本实施方式中，将所有齿的前端部设为相同而构成了电枢芯，但也可以构成为如实施方式11所说明那样的仅在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的外侧没有设置阶梯式歪斜。图33示出了电枢芯272的立体图，该电枢芯272为6阶梯式歪斜结构，且仅在位于滑动方向的两端的两个齿275、276的前端部各自的外侧没有设置阶梯式歪斜。通过这样的结构，与在所有齿的前端部同样地设置歪斜的结构相比，齿槽推力进一步降低，特别是可以降低齿槽推力的2次分量。另外，也可以如实施方式12中所说明的那样的仅在位于滑动方向的两端的两个齿的前端部各自的外侧没有设置歪斜结构，并且将伸出部的形状设为负的突出部即进行了切削的形状。图34示出了电枢芯282的立体图，该电枢芯282为倾斜歪斜结构，且仅在位于滑动方向的两端的两个齿285、286的前端部各自的外侧对伸出部的形状进行了切削。通过这样的结构，与在所有齿的前端部同样地设置歪斜的结构相比，齿槽推力进一步降低，特别是可以降低齿槽推力的2次分量。另外，在各实施方式1～11中，将齿的前端部的伸出部的形状设为正的突出部而进行了例示，但即使如图35所示将齿94的前端部的伸出部的形状设为负的突出部即进行了切削的形状95，也可以得到同样的效果。例如，也可以设为将电枢芯的滑动方向的两端设置的齿的前端部中的滑动方向的外侧的一部分进行了切削的结构，并设为与将相邻的芯块间进行了切削的形状相同。另外，在任意一个实施方式中，都按照4极6齿的组合进行了例示，但不论是何种极数和齿数的组合，都可以应用本发明。而且，虽然例示出在一个平面上形成永久磁铁的磁极面的相向型线性马达，但还可以将本发明应用于图36所示那样的在转子121的两侧具备定子111，且在两个平面上形成了磁极面的类型的抵消型线性马达100中。权利要求1.一种线性马达，具备定子，以交替成为不同极的方式直线状地排列多个励磁磁极而构成；以及转子，由设置有与上述励磁磁极的磁极面隔开规定的间隙而相向的多个齿的电枢芯、以及卷绕于上述齿的线圈构成，所述线性马达滑动自如地支撑上述定子与上述转子，所述线性马达的特征在于，将与上述转子的滑动方向垂直并且与上述磁极面平行的方向设为层叠方向，上述齿的前端部具有向上述滑动方向伸出的伸出部，至少上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部相对于上述层叠方向被分成多个区域，在相邻的上述区域间使上述滑动方向的至少一个伸出部的伸出量不同。2.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，在上述电枢芯的上述滑动方向的两端以外设置的齿的前端部相对于上述层叠方向被分成多个区域，在相邻的上述区域间使上述滑动方向的至少一个伸出部的伸出量不同。3.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，在相邻的上述区域间使上述滑动方向的双方的伸出部的伸出量不同。4.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，将上述多个区域中的上述层叠方向的一端的区域中的上述滑动方向的一个伸出部的伸出量、与上述多个区域中的上述层叠方向的另一端的区域中的上述滑动方向的另一个伸出部的伸出量设为相同，将上述多个区域中的上述层叠方向的一端的区域中的上述滑动方向的另一个伸出部的伸出量、与上述多个区域中的上述层叠方向的另一端的区域中的上述滑动方向的一个伸出部的伸出量设为相同。5.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，关于上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部中的上述滑动方向的外侧的伸出部，在相邻的上述区域间将伸出量设为相同。6.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部中的上述滑动方向的内侧的伸出部，相对于在上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部中的上述滑动方向的外侧的伸出部、以及在上述电枢芯的上述滑动方向的两端以外设置的齿的前端部中的伸出部，在上述多个区域中的至少一个区域中使伸出部的伸出量不同。7.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部中的上述滑动方向的内侧的伸出部，相对于在上述电枢芯的上述滑动方向的两端以外设置的齿的前端部中的伸出部，在上述多个区域中的至少一个区域中使伸出部的伸出量不同，关于上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部中的上述滑动方向的外侧的伸出部，将相邻的上述区域间的伸出量设为相同。8.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部中的上述滑动方向的内侧的伸出部，相对于在上述电枢芯的上述滑动方向的两端以外设置的齿的前端部中的伸出部，在上述多个区域中的至少一个区域中使伸出部的伸出量不同，将上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部中的上述滑动方向的外侧，设为将上述外侧的一部分进行了切削的形状，在相邻的上述区域间将上述进行了切削的形状设为相同。9.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，关于上述电枢芯的上述滑动方向的两端设置的齿的前端部，在相邻的上述区域间使上述滑动方向的内侧的伸出部的伸出量不同。10.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，上述齿的前端部的伸出部的轮廓线相对于上述层叠方向大致倾斜。11.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，上述齿的前端部被分成三个以上的上述多个区域，从与上述磁极面垂直的方向观察构成为相对于中心线成为对称，其中，该中心线是通过上述前端部的上述层叠方向的两端的中心的、沿着上述滑动方向的线。12.根据权利要求11所述的线性马达，其特征在于，在相邻的上述区域间设置追加区域，将上述追加区域的上述滑动方向的一个伸出部的伸出量设为与相邻的上述区域的上述滑动方向的一个伸出部的伸出量中的短的伸出量大致相同，将上述追加区域的上述滑动方向的另一个伸出部的伸出量设为与相邻的上述区域的上述滑动方向的另一个伸出部的伸出量中的短的伸出量大致相同。13.根据权利要求12所述的线性马达，其特征在于，将上述多个齿中的一个设为第一齿，将上述第一齿的在滑动方向上相邻的齿设为第二齿，将上述第一齿的前端部中的夹着上述追加区域而相邻的两个上述区域的伸出部中的向上述第二齿侧突出的伸出部设为第一伸出部，将上述第二齿的前端部中的夹着与上述第一齿的上述追加区域对应的追加区域而相邻的两个上述区域的伸出部中的向上述第一齿侧突出的伸出部设为第二伸出部，上述第一伸出部与第二伸出部的最短距离等于或大于上述第一齿与上述第二齿之间的狭缝开口宽度。14.根据权利要求11所述的线性马达，其特征在于，上述齿的前端部的伸出部的轮廓线相对于上述层叠方向大致倾斜，从与上述磁极面垂直的方向观察相对于中心线对称，其中，该中心线是通过上述前端部的上述层叠方向的两端的中心的、沿着上述滑动方向的线。全文摘要提供一种线性马达，不用增大装置尺寸就可以同时降低狭缝齿槽推力和由于转子的末端效应而产生的齿槽推力。线性马达(1)具备定子(11)与转子(21)，其中，设置于转子(21)的齿(24)的前端部具有向转子(21)的滑动方向伸出的伸出部，并且相对于与转子(21)的滑动方向垂直且与定子(11)的永久磁铁(13)的磁极面平行的方向被分成多个区域，在相邻的区域间使滑动方向的至少一个伸出部的伸出量不同。文档编号H02K41/03GK101816118SQ200880109858公开日2010年8月25日申请日期2008年9月30日优先权日2007年10月4日发明者中山美佐,山口信一,仲兴起,伊藤一将,田中敏则申请人:三菱电机株式会社