专利名称：多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及精密加工领域，特别涉及一种多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置。应用于超精密加工机床、精密超精密微细加工与测量技术、材料试件纳米力学性能检测、微机电系统(MEMS)、精密光学、半导体制造、现代医学与生物遗传工程、航空航天、机器人、军事技术等高尖端的科学技术领域。
背景技术：
伴随着科学技术的迅猛发展，对产品加工精度的要求越来越高，尤其是在精密超精密微细加工与测量技术、微机电系统(MEMS)、纳米科技、半导体制造、现代医学与生物遗传工程、航空航天科技、军事技术等高尖端的科学技术领域中显得格外重要。要想实现产品零件的精密超精密加工，就必须提供一种合适的高精度的驱动装置。传统的驱动装置，如普通电机、丝杠螺母、涡轮蜗杆等宏观大尺寸驱动装置已不能满足其精度要求。因此，各国的科研人员倾力于研究性能更优越的新型高精度驱动装置。所谓新式驱动装置，是指采用新型材料作为电能一机械能转换元件，再通过传动机构，使目标机构产生一定动作的装置。通过各国科研人员的不断探索，相当多的新型驱动装置已经被研制出来了，其中的一些已经在实际中得到了相关的应用。按照驱动元件的不同，新型驱动装置大体可分为以下几类相变材料驱动装置、热变形驱动装置、形状记忆合金驱动装置、电磁驱动装置、静电驱动装置、磁致伸缩驱动装置、电流变驱动装置、电致伸缩驱动装置、压电驱动装置等。其中能达到纳米级精度的目前只有电致伸缩驱动装置和压电驱动装置。相比于电致伸缩驱动装置，压电驱动装置因为体积小重量轻、响应快(微秒级)、 控制特性好、能量密度大、能耗低、不受磁场影响等特点而得到了更广泛的应用。以往的驱动装置往往存在结构尺寸偏大、步进精度低、往返重复定位精度低、难于加工等缺点；尽管其中也有一些驱动器输出稳定、精度高，但行程小，只有几十微米，严重限制了其应用的范围；同时，若要达到多自由度运动的输出的目的，往往需要有多个单自由运动模块组合、装配来实现，导致整个装置相当复杂，影响整体刚度。因此有必要设计一种定位精度和重复定位精度均较高，同时适用于旋转和直线运动输出的微小型精密驱动器。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，解决了现有技术存在的上述问题。其具有箝位稳定、载荷输出较大的特点，并能实现大行程运动、直线和旋转运动输出并举等功能。本实用新型采用旋转运动模块和直线运动模块的方法来实现绕转子轴线的旋转运动和沿该轴线的直线运动；为了提高步进运动的稳定性，箝位装置采用一种特殊的柔性铰链结构，且每次箝位都有三个箝位柔性铰链同时动作，具有良好的对中性，并使钳位、驱动方式交替进行，从而实现钳位的稳定性和轴向旋转的准确性。其旋转驱动部分设计成三爪自定心柔性铰链，使结构紧凑并且响应迅速。低频下的旋转运动为推力起作用，本实用新型采用九组压电叠堆共同作用实现钳紧和推动，且钳紧和驱动按相应时序交替进行。转子部分无绕线结构，可使转子实现任意角度的旋转。直线步进运动由三组压电叠堆驱动，配合定子上三层的九组压电箝位机构的时序交替箝位作用， 使转子实现沿直线方向的步进运动。本实用新型的上述目的通过以下技术方案实现多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，包括转子1及定子2，所述转子1为一转轴，轴的输出端开有螺纹孔与定子2中部的轴孔过渡配合；所述定子2包括分别嵌有压电叠堆箝位柔性铰链的定子一、二、三层和嵌有竖直压电叠堆的定子底部；其中定子一层靠近轴孔部分通过三个箝位柔性铰链与转子1箝位， 三个箝位柔性铰链分别通过嵌入定子一层的A型压电叠堆I、II、III 3、11、19实现箝位驱动；螺纹紧固A型楔形块I、B型楔形块I 6、7预紧该A型压电叠堆I 3，螺纹紧固A型楔形块II、B型楔形块II 14、13预紧A型压电叠堆II 11，螺纹紧固A型楔形块III、B型楔形块 III 21,20预紧A型压电叠堆III 19,三个箝位柔性铰链组成了定子一层的三爪式自定心压电箝位结构；定子二、三层分别与上述定子一层的箝位、预紧结构相同，定子一、二层间通过三处薄壁柔性铰链相连接，定子二层的箝位、预紧结构与第一层完全相同，通过调节预紧螺钉 IV、V、VI观、29、44来调节A型楔形块ΥΠ、B型楔形块IV、B型楔形块VILA型楔形块VILB型楔形块IX、A型楔形块IX48、49、52、53、58、59的压紧程度，从而控制A型压电叠堆V、VI、 VDI 50、51、57来实现柔性铰链的预紧和箝位；定子三层的箝位、预紧结构与前两层相同，通过调节预紧螺钉VD、VILIX 27、30、42来调节B型楔形块X、A型楔形块X、A型楔形块XI、B 型楔形块XI、A型楔形块ΧΠ、B型楔形块ΧΠ 46、47、M、55、60、61的压紧程度，从而控制A型压电叠堆乂、/1、通50、51、57实现柔性铰链的预紧和箝位，第三层和第二层之间有三处薄壁柔性铰链相连，用以实现直线步进运动；定子底部为直线驱动部分，其内部嵌有B型压电叠堆IV、V、VI31、35、40，螺纹紧固A型楔形块IV、B型楔形块V 33、32预紧该B型压电叠堆IV 31，螺纹紧固A型楔形块V、 B型楔形块VI 37、36预紧B型压电叠堆V 35，螺纹紧固A型楔形块VI、B型楔形块ΥΠ 38、39 预紧B型压电叠堆VI40，该B型压电叠堆IV、V、VI31、35、40分别穿过定子三层中预留的圆孔，顶在定子二层的下表面，定子一、二层的外围嵌有三个旋转驱动结构，具体是驱动缩进 I > IKIII 8,16,24嵌在字子二层中过盈配合，B型压电叠堆I ,IIJII 5,15,23 一端分别固定在驱动缩进I、II、III8、16、24的上层，另一端顶在定子一层；所述的转子1为无绕线结构。所述的转子1为可变式接口转轴。所述的转子1通过A型压电叠堆I ΙΧ3、11、19、45、50、51、56、57、62实现不同频
率下的转动或移动。所述的定子2的定子二层通过固定螺钉I、n、III、IV、V、VI4、9、12、17、22、25与
外部壳体固定。本实用新型的有益效果有于可大大提高普通驱动器的驱动精度，降低结构的复杂性及尺寸，且具有成本低、投资少、见效快、效益高等优点。可以应用于精密加工机床、微机电系统以及机器人领域，目的在于提高系统微动精度、降低结构尺寸。本实用新型对于我国精密超精密加工领域的发展有着极其重要的意义，其在精密加工、半导体制造、航空航天、军事科技等众多领域必定有广阔的应用前景。具有箝位稳定、载荷输出较大的特点，并能实现大行程运动、直线和旋转运动输出并举等功能。本实用新型所涉及的一种多自由度超高精度驱动装置，总体尺寸为80X49mm，整体结构较小，可方便放置于各种器械中，用于实现对不同物件的绕固定轴的旋转驱动和沿固定方向的直线步进运动驱动。本实用新型的主要功能为实现超高精度的步进式旋转运动和步进式直线运动，其输出具有大行程、大扭矩的特点。转子单步转过的最大角位移为102yrad数量级；转子单步的最大直线位移为 10 μ m数量级，相对于以往的驱动装置，其精度有极大的提高。
图1是本实用新型的整体结构示意图。图2是本实用新型的主视示意图。图3是本实用新型的仰视示意图。图4是本实用新型的俯视示意图。图5是图2的A-A剖视示意图。图6是图2的B-B剖视示意图。图中1.转子； 2.定子； 3. A型压电叠堆I ； 4.固定螺钉I ；5. B型压电叠堆I ； 6. A型楔形块I ； 7. B型楔形块I ； 8.驱动缩进I ；9.固定螺钉II ； 10.预紧螺钉I ； 11. A型压电叠堆II ； 12.固定螺钉III ；13. B型楔形块II; 14. A型楔形块II; 15. B型压电叠堆II ； 16.驱动缩进II ；17.固定螺钉IV; 18.预紧螺钉II ； 19. A型压电叠堆III ； 20. B型楔形块III ；21. A型楔形块III; 22.固定螺钉V ； 23. B型压电叠堆III ； 24.驱动缩进III ；25.固定螺钉VI ； 26.预紧螺钉III ； 27.预紧螺钉ΥΠ ； 28.预紧螺钉IV ；29.预紧螺钉V ； 30.预紧螺钉VDI ； 31. B型压电叠堆IV ； 32. B型楔形块V ；33. A型楔形块IV ； 34.预紧螺钉X ； 35. B型压电叠堆V; 36. B型楔形块VI ；37. A型楔形块V; 38. A型楔形块VI; 39. B型楔形块ΥΠ ； 40. B型压电叠堆VI;41.预紧螺钉XI ； 42.预紧螺钉IX ； 43.预紧螺钉ΧΠ ； 44.预紧螺钉VI ；45. A型压电叠堆IV;46. B型楔形块X ； 47. A型楔形块X ； 48. A型楔形块ΥΠ ；49. B型楔形块IV; 50. A型压电叠堆V ； 51 A型压电叠堆VI ； 52. B型楔形块VDI ；53. A型楔形块VDI ； 54. A型楔形块XI ； 55. B型楔形块XI ； 56. A型压电叠堆ΥΠ ；57. A型压电叠堆VDI ； 58. B型楔形块IX ； 59. A型楔形块IX; 60. A型楔形块ΧΠ ；61. B型楔形块ΧΠ; 62. A型压电叠堆IX。
具体实施方式
以下结合附图进一步说明本实用新型的详细内容及其具体实施方式
。参见图1至图6，本实用新型的多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，包括转子1及定子2，所述转子1为一转轴，轴的输出端开有螺纹孔与定子2中部的轴孔过渡配合； 通过改变转子连接口，可用于不同种类部件的旋转和直线输出。由于采用压电叠堆驱动，使得输出载荷比较大，可以驱动相对较大的部件；并且采用尺蠖步进式驱动方式，理论转角和直线运动距离无限大。[0040]所述定子2包括分别嵌有压电叠堆箝位柔性铰链的定子一、二、三层，和嵌有竖直压电叠堆的定子底部；其中定子一层靠近轴孔部分通过三个柔性铰链与转子1箝位，三个柔性铰链分别通过嵌入定子一层的A型压电叠堆I、II JII 3、11、19实现箝位驱动；螺纹紧固A型楔形块I、B型楔形块I 6、7预紧该A型压电叠堆I 3，并通过预紧螺钉I 10调节 A型楔形块I、B型楔形块I 6、7的压紧程度来实现箝位预紧的调节；螺纹紧固A型楔形块 II、B型楔形块II 14、13预紧A型压电叠堆II 11，并通过预紧螺钉II 18调节A型楔形块II、 B型楔形块II 14、13的压紧程度来实现箝位预紧的调节；螺纹紧固A型楔形块III、B型楔形块III 21,20预紧A型压电叠堆III 19，并通过预紧螺钉III 26调节A型楔形块III、B型楔形块 III 21,20的压紧程度来实现箝位预紧的调节；三个柔性铰链组成了定子一层的三爪式自定心压电箝位结构，该型箝位结构具有自定心和箝位精确的优点；定子二、三层分别与上述定子一层的箝位、预紧结构相同，定子一、二层间通过三处柔性铰链相连接，用以实现圆周旋转运动，定子二、三层间通过三处柔性铰链相连接，用以实现直线步进运动；定子二层的箝位、预紧结构与第一层完全相同，通过调节预紧螺钉 IV, V,VI 28,29,44来调节楔形块A型楔形块ΥΠ、B型楔形块IV、B型楔形块VDI、A型楔形块通、B型楔形块IX、A型楔形块ΙΧ48、49、52、53、58、59的压紧程度，从而控制A型压电叠堆乂、/1、通50、51、57来实现柔性铰链的预紧和箝位；第三层的箝位、预紧结构与前两层相同，通过调节预紧螺钉ΥΠ、VILIX 27、30、42来调节B型楔形块X、A型楔形块X、A型楔形块 XI、B型楔形块XI、A型楔形块ΧΠ、B型楔形块ΧΠ 46、47、Μ、55、60、61的压紧程度，从而控制八型压电叠堆乂、/1、通50、51、57实现柔性铰链的预紧和箝位，第三层和第二层之间有三处柔性铰链相连，用以实现直线步进运动；定子底部为直线驱动部分，其内部嵌有B型压电叠堆IV、V、VI31、35、40，螺纹紧固A型楔形块IV、B型楔形块V 33、32预紧该B型压电叠堆IV 31，并通过预紧螺钉X 34调节A型楔形块IV、B型楔形块V 33、32的压紧程度来实现箝位预紧的调节，螺纹紧固A型楔形块V、B型楔形块VI 37、36预紧B型压电叠堆V 35，并通过预紧螺钉XI 41调节A型楔形块V、B型楔形块VI 37、36的压紧程度来实现箝位预紧的调节，螺纹紧固A型楔形块VI、B型楔形块ΥΠ 38、39预紧B型压电叠堆VI 40,并通过预紧螺钉ΧΠ 43调节A型楔形块VI、B型楔形块ΥΠ 38、39的压紧程度来实现箝位预紧的调节；该B型压电叠堆IV、V、VI 31、35、40分别穿过定子三层中预留的圆孔，顶在定子二层的下表面，以实现直线运动；定子一、二层的外围嵌有三个旋转驱动结构，具体是驱动缩进I、II、III8、16、M嵌在字子二层中过盈配合，B 型压电叠堆I、ΙΙ、ΠΙ 5、15、23 一端分别固定在驱动缩进I > IKIII 8,16,24的上层，另一端顶在定子一层，用以驱动第一层做步进式圆周运动；所述的转子1为无绕线结构。所述的转子1为可变式接口转轴。所述的转子1通过A型压电叠堆I ΙΧ3、11、19、45、50、51、56、57、62实现不同频
率下的转动或移动。所述的定子2的定子二层通过固定螺钉I、II、III、IV、V、VI4、9、12、17、22、25与
外部壳体固定。本实用新型的可动部件全部采用形体可控面型的压电叠堆，其运动是通过对A型压电叠堆I IX3、11、19、45、50、51、56、57、62控制电压的时序控制来实现的。转子1的运动和停止均由柔性铰链的箝位作用实现。箝位机构A型压电叠堆I、B型楔形块I、A型压电叠堆II、A型楔形块I、B型楔形块II、A型楔形块II、A型压电叠堆III、B型楔形块III、A型楔形块III、A型压电叠堆IX、A型楔形块X、A型楔形块ΥΠ、B型楔形块IV、A型压电叠堆V、 A型压电叠堆VI、B型楔形块通、A型楔形块通、A型楔形块XI、B型楔形块XI、A型压电叠堆 ΥΠ、Α型压电叠堆VILB型楔形块ΙΧ、Α型楔形块ΙΧ、Α型楔形块ΧΠ、Β型楔形块ΧΠ、Β型楔形块 X 3、6、7、11、13、14、19、20、21、46、47、48、49、50、51、52、53、54、56、57、58、59、60、61、62 经 A 型压电叠堆I IX 3、11、19、45、50、51、56、57、62的作用，可沿转子1径向伸缩变形。转子 1除绕轴转动之外，还能通过位于定子2底部的B型压电叠堆IV、V、VI 31、35、40和定子2 中封装的箝位机构A型压电叠堆I、B型楔形块I、A型压电叠堆II、A型楔形块I、B型楔形块II、A型楔形块II、A型压电叠堆III、B型楔形块III、A型楔形块III、A型压电叠堆IX、A型楔形块X、A型楔形块ΥΠ、B型楔形块IV、A型压电叠堆V、A型压电叠堆VI、B型楔形块通、 A型楔形块通、A型楔形块XI、B型楔形块XI、A型压电叠堆ΥΠ、A型压电叠堆通、B型楔形块 IX、A型楔形块IX、A型楔形块ΧΠ、B型楔形块ΧΠ、B型楔形块X 3、6、7、11、13、14、19、20、21、 46、47、48、49、50、51、52、53、54、56、57、58、59、60、61、62 的时序控制，使转子沿轴向移动和转动。转子1可以通过A型压电叠堆I ΙΧ3、11、19、45、50、51、56、57、62实现不同频率下的转动。参见图1、2、3、4、5、6，本实用新型的具体工作过程如下转子步进式旋转运动的实现，初始状态:Α型压电叠堆I、II、III、B型压电叠堆 I VI、A 型压电叠堆IV ΙΧ3、11、19、5、15、23、31、35、40、45、50、51、56、57、62 均不带电，系统处于自由状态，此时转子1亦处于游动状态；当转子实现旋转运动时封装于定子第一层中的A型压电叠堆I、ΙΙ、ΠΙ3、11、19通电，由于逆压电效应，A型压电叠堆I、II、ΙΙΙ 3、11、 19伸长，使得定子第一层的三个箝位柔性铰链箝紧，从而将转子与定子第一层箝固；嵌在定子第一层和第二层外围的驱动缩进机构上的B型压电叠堆I、II JII 5、15、23通电伸长， 驱动缩进I、ΙΙ、ΠΙ8、16、24的下部与定子第二层过盈配合，定子第二层用固定螺钉I、II、 III、IV、V、VI4、9、12、17、22、25固定在外壳上，而B型压电叠堆I、II、III 5、15、23的一端固定在驱动缩进上，另一端顶在定子第一层的凹槽侧面上，所以当B型压电叠堆I、11、1115、 15、23通电伸长时，将会推动定子第一层相对于定子第二层做旋转运动，又因为转子通过定子第一层的柔性铰链与定子第一层箝固在一起，从而使得转子1相对于定子第二层做旋转运动，转角为IO2 μ rad数量级；封装于定子第二层的A型压电叠堆VILA型压电叠堆VI、A型压电叠堆V 50、51、57通电伸长，通过定子第二层的柔性铰链将转子1与定子第二层箝固； 封装于定子第一层的A型压电叠堆I、IIJII 3、11、19失电，定子第一层的柔性铰链与转子松开；B型压电叠堆I、II、III5、15、23失电，由于定子第一层和第二层之间薄壁柔性铰链的作用，定子第一层相对于第二层回到了初始状态；封装于定子第一层的A型压电叠堆I、 Π、ΙΙΙ3、11、19通电伸长，第一层的柔性铰链与转子箝紧；封装于定子第二层的A型压电叠堆VILA型压电叠堆VI、A型压电叠堆V 50、51、57失电。这样就完成了转子的旋转运动的一步，重复以上运动可以使得转子实现步进式的旋转运动，且其理论转角为无限大。转子步进式直线运动的实现，初始状态:A型压电叠堆I、II、III、B型压电叠堆 I VI、A 型压电叠堆IV IX 3、11、19、5、15、23、31、35、40、45、50、51、56、57、62 均不带电， 系统处于自由状态，此时转子1亦处于游动状态；封装于定子底部的B型压电叠堆VI、B型压电叠堆V、B型压电叠堆IV 31,35,40通电伸长，由于定子第二层与外壳固定，定子第二层和第三层之间靠薄壁柔性铰链连接，而B型压电叠堆VI、B型压电叠堆V、B型压电叠堆 IV 31、35、40的一端通过B型楔形块V、A型楔形块IV、B型楔形块VI、A型楔形块V、A型楔形块VI、B型楔形块ΥΠ 32、33、36、37、38、39与定子底部连接，另一端则通过定子第三层中预留的圆孔，顶在定子第二层的下表面，所以当B型压电叠堆VI、B型压电叠堆V、B型压电叠堆IV 31、35、40通电伸长后，将使得定子第三层及定子底部相对于定子第二层向下做直线运动；封装于定子第三层的A型压电叠堆 ν、ΙΧ、ΥΠ 45、56、62通电伸长，通过定子第三层的柔性铰链将转子与定子第三层箝紧；封装于定子底部的B型压电叠堆VI、B型压电叠堆V、B 型压电叠堆IV 31,35,40失电，使得定子第三层和定子底部在柔性铰链的作用下，相对于定子第二层向上运动回到初始状态，又因为转子和定子第三层通过柔性铰链箝紧，所以转子相对于定子第二层做向上的直线运动封装于定子第一层和第二层的A型压电叠堆I、II、 III、VDI、VI、V 3、11、19、50、51、57通电，使得转子和定子第一层和第二层都箝紧；封装于定子第三层的A型压电叠堆 ν、ΙΧ、ΥΠ 45、56、62失电。这样就完成了转子步进式直线运动的一步，重复以上操作可以使得转子沿固定方向做步进式直线运动。 转子1用于完成动力、载荷输出，可将外输出部件通过相应连接方式连接在转子 1上。整个多自由度驱动器的运动具有严格的时序逻辑。转子单步转过的最大角位移为 IO2Prad数量级；转子单步的最大直线位移为IOym数量级，精度极高。由于采用了压电叠堆驱动，其输出载荷相对较大。
权利要求1.一种多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，包括转子(1)及定子(2)，其特征在于所述转子(1)为一转轴，轴的输出端开有螺纹孔与定子(2)中部的轴孔过渡配合；所述定子(2)包括分别嵌有压电叠堆箝位柔性铰链的定子一、二、三层和嵌有竖直压电叠堆的定子底部；其中定子一层靠近轴孔部分通过三个箝位柔性铰链与转子(1)箝位， 三个箝位柔性铰链分别通过嵌入定子一层的A型压电叠堆I、II、III(3、11、19)实现箝位驱动；螺纹紧固A型楔形块I、Β型楔形块I (6、7)预紧该A型压电叠堆I (3)，螺纹紧固A型楔形块II、Β型楔形块II (14、13)预紧A型压电叠堆II (11 )，螺纹紧固A型楔形块ΙΙΙ、Β型楔形块III (21、20)预紧A型压电叠堆III (19),三个柔性铰链组成了定子一层的三爪式自定心压电箝位结构；定子二、三层分别与上述定子一层的箝位、预紧结构相同，定子一、二层间通过三处薄壁柔性铰链相连接，定子二、三层间通过三处薄壁柔性铰链相连接；定子底部为直线驱动部分，其内部嵌有B型压电叠堆IV、V、VI(31、35、40)，螺纹紧固A型楔形块IV、B型楔形块乂(33、32)预紧该8型压电叠堆1￥(31)，螺纹紧固々型楔形块乂、8型楔形块/1(37、 36)预紧B型压电叠堆V (35)，螺纹紧固A型楔形块VI、B型楔形块ΥΠ (38、39)预紧B型压电叠堆/1(40)，该8型压电叠堆^、乂、/1(31、35、40)分别穿过定子三层中预留的圆孔，顶在定子二层的下表面；定子一、二层的外围嵌有三个旋转驱动结构，具体是驱动缩进I、11、 ΙΙΙ(8、16、24)嵌在定子二层中过盈配合，B型压电叠堆I、Π、ΙΙΙ(5、15、23) —端分别固定在驱动缩进I、ΙΙ、ΠΙ(8、16、Μ)的上层，另一端顶在定子一层的凹槽侧面上。
2.根据权利要求1所述的多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，其特征在于所述的转子(1)为无绕线结构。
3.根据权利要求1或2所述的多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，其特征在于 所述的转子(1)为可变式接口转轴。
4.根据权利要求1所述的多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，其特征在于所述的转子(1)通过A型压电叠堆I ΙΧ(3、11、19、45、50、51、56、57、62)实现不同频率下的转动或移动。
5.根据权利要求1所述的多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，其特征在于所述的定子(2)的定子二层通过固定螺钉I、n、III、IV、V、VI(4、9、12、17、22、25)与外部壳体固定。
专利摘要本实用新型涉及一种多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置，属于精密加工领域。可进行绕确定方向的超精密步进式旋转运动和沿确定方向的直线步进式移动。本实用新型以高精度的压电驱动器驱动柔性铰链结构进行相关箝位，通过控制定子一、二层的压电箝位机构的箝位时间顺序实现绕确定转轴的步进式超精密旋转运动；同时通过控制定子底部竖直压电叠堆的伸缩量和定子一、二、三层柔性铰链的箝位来控制沿确定方向的直线步进式位移。主要由定子和转子组成。其中定子里封装有三层三爪式自定心压电箝位机构、低频旋转驱动机构和直线步进驱动机构；转子为可变式接口转轴。具有成本低、投资少、见效快、效益高等优点。
文档编号H02N2/00GK202135077SQ20112026001
公开日2012年2月1日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日
发明者任露泉, 傅璐, 刘长胜, 史成利, 曲涵, 李建平, 胡晓利, 赵宏伟, 赵波, 黄虎 申请人:吉林大学