技术特征：
技术总结
本发明提供一种真空用直线电动机的动子，其是即使不增大罐的板厚也能够利用简单的结构抑制变形、能够尽可能地减小动子与定子之间的间隙、且能够在与大气环境相同的系统中使用的划时代的真空用直线电动机的动子。一种由排列设置磁铁(1)而成的定子(2)、和在所述磁铁(1)的排列设置方向上移动的动子(3)构成的真空用直线电动机的所述动子(3)，由收纳线圈并具有开口部的箱状的收纳部(4)、和封闭该收纳部(4)的所述开口部的盖部(5)构成，在所述收纳部(4)的与封闭所述开口部的所述盖部(5)面对的底面或所述盖部(5)上设置有加强肋(6)，借助紧固部件将该加强肋(6)与所述盖部(5)或所述收纳部(4)紧固起来。
技术研发人员：中村谕;高桥悌二;寺岛弘二
受保护的技术使用者：佳能特机株式会社;日机电装株式会社
技术研发日：2017.03.27
技术公布日：2017.10.10