发电元件、发电模块、发电装置以及发电系统的制作方法

本发明的实施方式涉及发电元件、发电模块、发电装置以及发电系统。

背景技术

例如，存在具有发射极电极和集电极电极的发电元件，该发射极电极被施加来自热源的热，该集电极电极捕获来自发射极电极的热电子。在发电元件中，期望效率的提高。

技术实现要素：

本发明的实施方式提供一种能够提高效率的发电元件、发电模块、发电装置以及发电系统。

根据本发明的实施方式，发电元件包括第一导电层、第二导电层、第一部件以及第二部件。所述第一部件设置于所述第一导电层与所述第二导电层之间。所述第一部件包含具有纤锌矿构造的第一结晶。所述第二部件设置于所述第一部件与所述第二导电层之间。所述第二部件与所述第一部件相离。所述第一结晶的<000-1>方向具有从所述第一部件向所述第二部件的分量。

根据本发明的其他实施方式，提供一种具备多个上述发电元件的发电模块。

根据本发明的其他实施方式，提供一种具备多个上述发电模块的发电装置。

根据本发明的其他实施方式，提供一种发电系统，该发电系统具备：上述发电装置；以及驱动装置，所述驱动装置使所述发电装置追随太阳的移动。

附图说明

图1是例示第一实施方式的发电元件的示意立体图。

图2的(a)～图2的(e)是例示发电元件的示意剖面图。

图3的(a)～图3的(d)是例示发电元件的特性的示意图。

图4的(a)～图4的(c)是例示发电元件的特性的示意图。

图5是例示发电元件的特性的曲线图。

图6的(a)以及图6的(b)是例示发电元件的特性的曲线图。

图7的(a)～图7的(e)是例示第二实施方式的发电元件的制造方法的示意剖面图。

图8的(a)以及图8的(b)是示出实施方式的发电模块以及发电装置的示意剖面图。

图9的(a)以及图9的(b)是示出实施方式的发电装置以及发电系统的示意图。

(符号说明)

11：第一部件；11f：第一膜；11a：第一面；11b：面；12：第二部件；12a：第二面；12b：面；20：空隙；30：负载；50s：基体；51：电子；61：太阳；62：定日镜；63：聚光镜；65：电线；66：驱动装置；70：容器；71、72：第一端子、第二端子；χ：电子亲和力；110：发电元件；120：基板；210：发电模块；220：基板；310：发电装置；410：发电系统；cb1～cb5：导带能级；cf1～cf5：第一结构～第五结构；e0：导电层；e1：第一导电层；e2：第二导电层；ef：发电效率；eg：能量；fl1～fl5：费米能级；jc：电流密度；t1、t2：第一温度、第二温度；pz：位置；t1、t2：厚度；t3：距离。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的各实施方式。

此外，附图是示意性的或者概念性的，各部分的厚度和宽度的关系、部分之间的大小的比例等未必与实际相同。另外，即使在表示相同部分的情况下，有时也会根据附图而使相互的尺寸、比例不同而表示。

此外，在本申请说明书和各附图中，针对关于已经示出的附图而与在先描述过的要素相同的要素，附加同一符号而适当省略详细的说明。

(第一实施方式)

图1是例示第一实施方式的发电元件的示意立体图。

如图1所示，第一实施方式的发电元件110包括第一导电层e1、第二导电层e2、第一部件11以及第二部件12。

第一部件11设置于第一导电层e1与第二导电层e2之间。第一部件11例如包含具有纤锌矿构造的第一结晶。第二部件12设置于第一部件11与第二导电层e2之间。第二部件12与第一部件11相离。例如，第二部件12包含具有纤锌矿构造的第二结晶。第一结晶以及第二结晶例如为aln。

在第一部件11与第二部件12之间设置有空隙20。空隙20为减压状态。例如，设置有容器70。例如，在容器70的内部，设置有第一部件11以及第二部件12。容器70的内部为减压状态。由此，空隙20为减压状态。

例如，第一部件11与第一导电层e1电连接。第二部件12与第二导电层e2电连接。设置有第一端子71以及第二端子72。第一端子71与第一导电层e1电连接。第二端子72与第二导电层e2电连接。在第一端子71与第二端子72之间，能够电连接负载30。

例如，将第一导电层e1(以及第一部件11)的温度设为第一温度t1。将第二导电层e2(以及第二部件12)的温度设为第二温度t2。例如，第一部件11的温度(第一温度t1)比第二部件12的温度(第二温度t2)高。例如，对热源等连接第一导电层e1(以及第一部件11)。由此，第一温度t1比第二温度t2高。由此，从第一部件11释放电子51。电子51例如为热电子。电子51向第二部件12行进。电子51到达第二部件12。

到达第二部件12的电子51经由第二导电层e2以及第二端子72流入到负载30。电子51的流动与电流对应。

这样，在发电元件110中，能够将第一导电层e1(以及第一部件11)与第二导电层e2(以及第二部件12)之间的温度之差变换为电流。

第一导电层e1(以及第一部件11)例如为发射极。第二导电层e2(以及第二部件12)例如为集电极。

将从第一部件11向第二部件12的方向设为z轴方向。z轴方向与从第一导电层e1向第二导电层e2的方向对应。将相对z轴方向垂直的一个方向设为x轴方向。将相对z轴方向以及x轴方向垂直的方向设为y轴方向。

在该例子中，第一部件11以及第二部件12为沿x-y平面扩展的膜状。在实施方式中，第一部件11以及第二部件12的形状是任意的。

第一结晶以及第二结晶中的至少任意一个结晶例如包含从由b、al、in以及ga构成的群中选择出的至少一个和氮。第一结晶以及第二结晶中的至少任意一个结晶也可以包含从由zno以及znmgo构成的群中选择出的至少一个。

在第一部件11是半导体的情况下，第一部件11的厚度t1例如为100nm以上且1000nm以下。在第一部件11为绝缘性的情况下，第一部件11的厚度t1例如为5nm以下。在第一部件11为绝缘性的情况下，厚度t1优选为1nm以上且2nm以下。

在第二部件12是半导体的情况下，第二部件12的厚度t2例如为100nm以上且1000nm以下。在第二部件12为绝缘性的情况下，第二部件12的厚度t2例如为5nm以下。在第二部件12为绝缘性的情况下，厚度t2优选为1nm以上且2nm以下。厚度t1以及厚度t2是沿z轴方向的长度。

第一部件11与第二部件12之间的距离t3为0.1μm以上且50μm以下。距离t3更优选为10μm以下。距离t3是沿z轴方向的长度。距离t3与空隙20的距离对应。

在实施方式中，第一部件11的第一结晶的<000-1>方向具有从第一部件11向第二部件12的分量。例如，第一部件11具有第一面11a。第一面11a与第二部件12对置。第一面11a例如为(000-1)面。第一面11a也可以是半极性面。

在实施方式中，例如第二部件12的第二结晶的<000-1>方向具有从第二部件12向第一部件11的分量。例如，第二部件12具有第二面12a。第二面12a与第一部件11对置。第二面12a例如为(000-1)面。第二面12a也可以是半极性面。

可知通过第一部件11(以及第二部件12)具有如上所述的极性，能够得到高的发电效率。

以下，说明发电元件的特性的模拟结果的例子。

图2的(a)～图2的(e)是例示发电元件的示意剖面图。

这些图示出了在模拟中使用的结构。在模拟中，第一导电层e1以及第二导电层e2为mo层。第一部件11以及第二部件12为aln。aln的厚度为2000nm。空隙20的距离(即沿z轴方向的长度、距离t3)为1μm。

在图2的(a)所示的第一结构cf1中，第一部件11以及第二部件12不具有极化(自发极化)。第一结构cf1例如对应于第一部件11以及第二部件12为非晶(amorphous)的情况。

在图2的(b)所示的第二结构cf2中，第一部件11具有极化。第一部件11具有第二部件12一侧的第一面11a和第一导电层e1一侧的面11b。在第一面11a中，极化为正(+σ)。在面11b中，极化为负(-σ)。第一面11a是-c面((000-1)面)。面11b是+c面((0001)面)。在第二结构cf2中，第二部件12不具有极化。

在图2的(c)所示的第三结构cf3中，第二部件12具有极化。第二部件12具有第一部件11一侧的第二面12a和第二导电层e2一侧的面12b。在第二面12a中，极化为正(+σ)。在面12b中，极化为负(-σ)。第二面12a是-c面((000-1)面)。面12b是+c面((0001)面)。在第三结构cf3中，第一部件11不具有极化。

在图2的(d)所示的第四结构cf4中，第一部件11以及第二部件12具有极化。极化的方向相互相反。在第一面11a中，极化为正(+σ)。第一面11a是-c面((000-1)面)。在第二面12a中，极化为正(+σ)。第二面12a是-c面((000-1)面)。

在图2的(e)所示的第五结构cf5中也是第一部件11以及第二部件12具有极化。第五结构cf5中的极化的方向与第四结构cf4中的极化的方向相反。

图3的(a)～图3的(d)是例示发电元件的特性的示意图。

这些图是第一结构cf1～第五结构cf5中的能带图。其中，第一温度t1以及第二温度t2为300k(开尔文)。这些图的横轴为沿z轴方向的位置pz(μm)。纵轴为能量eg(电子伏特：ev)。

在图3的(a)中，示出了第一结构cf1中的费米能级fl1、第一结构cf1中的导带能级cb1、第二结构cf2中的费米能级fl2以及第二结构cf2中的导带能级cb2。从图3的(a)可知，在第二结构cf2中，与第一结构cf1相比，在第一部件11的表面(第一部件11与空隙20之间的面)中能量eg不同。

在图3的(b)中，除了示出了第一结构cf1中的费米能级fl1以及第一结构cf1中的导带能级cb1以外，还示出了第三结构cf3中的费米能级fl3以及第三结构cf3中的导带能级cb3。从图3的(b)可知，在第三结构cf3中，第二部件12的表面(第二部件12与空隙20之间的面)中的能量eg与第一结构cf1中的能量eg不同。

在图3的(c)中，除了示出了第一结构cf1中的费米能级fl1以及第一结构cf1中的导带能级cb1以外，还示出了第四结构cf4中的费米能级fl4以及第四结构cf4中的导带能级cb4。从图3的(c)可知，在第四结构cf4中，第一部件11的表面以及第二部件12的表面处的能量eg与第一结构cf1中的能量eg不同。

在图3的(d)中，除了示出了第一结构cf1中的费米能级fl1以及第一结构cf1中的导带能级cb1以外，还示出了第五结构cf5中的费米能级fl5以及第五结构cf5中的导带能级cb5。从图3的(d)可知，与第一结构cf1～第四结构cf4相比，在第五结构cf5中能量eg显著变大。

从图3的(a)～图3的(c)可知，在第一部件11或者第二部件12的表面是-c面((000-1)面)的情况下，在这些表面中导带能级的能量eg变低。

另一方面，如图3的(d)所示，在第一部件11以及第二部件12的表面是+c面((0001)面)的情况下，导带能级的能量eg显著变高。因此，可以认为在第五结构cf5中不易释放热电子(电子51)。

接下来，说明在使第一温度t1高于第二温度t2时的特性的例子。

图4的(a)～图4的(c)是例示发电元件的特性的示意图。

这些图是第一结构cf1～第四结构cf4中的能带图。其中，第一温度t1是800k，第二温度t2是300k。尽管也试着模拟了第五结构cf5的特性，但计算值不收敛而得不到第五结构cf5的特性。这些图的横轴为位置pz。纵轴为能量eg。

如图4的(a)所示，第二结构cf2中的导带能级cb2在第一部件11的表面(第一部件11与空隙20之间的面)中低于第一结构cf1中的导带能级cb1。

如图4的(b)所示，第三结构cf3的导带能级cb3在第二部件12的表面(第二部件12与空隙20之间的面)中低于第一结构cf1中的导带能级cb1。

如图4的(c)所示，第四结构cf4的导带能级cb4在第一部件11的表面以及第二部件12的表面中低于第一结构cf1中的导带能级cb1。

这样，通过第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件具有上述极性的极化，表面的能量eg变低。

图5是例示发电元件的特性的曲线图。

图5示出第一结构cf1～第四结构cf4中的发电特性的模拟结果。图5的横轴为第一温度t1(k：开尔文)。纵轴为电流密度jc(任意单位)。在该例子中，第二温度t2是300k。

如图5所示，第三结构cf3中的电流密度jc比第一结构cf1中的电流密度jc高。另外，第二结构cf2中的电流密度jc比第三结构cf3中的电流密度jc高。第四结构cf4中的电流密度jc比第二结构cf2中的电流密度jc高。

这样，通过第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件具有上述极性的极化，能够得到高的电流密度jc。特别地，通过温度相对高的第一部件11具有上述极性的极化，能够得到特别高的电流密度jc(第二结构cf2以及第四结构cf4)。例如，通过第一部件11以及第二部件12这两方具有上述极性的极化，能够得到特别高的电流密度jc(第四结构cf4)。高的电流密度jc对应于高的效率。通过第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件具有上述极性的极化，能够得到高的效率。

这样的高的电流密度jc被认为例如起因于关于图4的(a)～图4的(c)所说明的导带的特性。导带的特性是第一部件11以及第二部件12各自的表面处的势垒高度的特性。势垒高度被认为与电子亲和力有关。

可以认为在发电元件中第一部件11以及第二部件12的材料自身的电子亲和力与发电效率相关。以下，关于第一结构cf1以及第四结构cf4，说明在变更了电子亲和力时的发电效率的例子。

图6的(a)以及图6的(b)是例示发电元件的特性的曲线图。

图6的(a)与第一结构cf1的特性对应。图6的(b)与第四结构cf4的特性对应。这些图的横轴为第一温度t1。纵轴为发电效率ef(任意单位)。在这些图的模拟中，第二温度t2是300k。在模拟中，第一部件11以及第二部件12的电子亲和力χ被变更为0.3、0.45或者0.6。

如图6的(a)以及图6的(b)所示，不论在电子亲和力χ是0.3、0.45或者0.6中的哪一个时，在相同的第一温度t1处，第四结构cf4中的发电效率ef都高于第一结构cf1中的发电效率ef。特别地，在电子亲和力χ高时，基于第四结构cf4的发电效率ef的提高效果变大。

如以上已经说明的那样，在本实施方式中，第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件包含具有纤锌矿构造的结晶。第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件例如包含氮化物半导体。或者，第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件包含从由zno以及znmgo构成的群中选择出的至少一个。

在本实施方式中，第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件也可以包含绝缘性的材料。例如，第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件也可以包含从由batio3、pbtio3、pb(zrx，ti1-x)o3、knbo3、linbo3、litao3、naxwo3、zn2o3、ba2nanb5o5、pb2knb5o15以及li2b4o7构成的群中选择出的至少一个。pb(zrx，ti1-x)o3是pzt(leadzirconatetitanate，锆钛酸铅)。

在该情况下，例如，第一部件11的极化的从负向正的方向为从第一部件11向第二部件12。例如，第二部件12的极化的从负向正的方向为从第二部件12向第一部件11。在该情况下，也能够得到高的效率。

在第一部件11以及第二部件12包含绝缘性的材料的情况下，第一部件11以及第二部件12各自的厚度是薄的。由此，电流易于流动。例如，第一部件11的厚度t1(沿从第一部件11向第二部件12的方向的长度)为5nm以下。厚度t1也可以为1nm以上且2nm以下。例如，第二部件12的厚度t2(沿从第二部件12向第一部件11的方向的长度)为5nm以下。厚度t2也可以为1nm以上且2nm以下。第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件也可以为岛状或者网眼状。

如以上已经说明的那样，在实施方式中，第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件也可以包含半导体结晶。半导体结晶例如包含从由b、al、in以及ga构成的群中选择出的至少一个和氮。或者，第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件包含从由zno以及znmgo构成的群中选择出的至少一个。在这样的情况下，第一部件11的极化的从负向正的方向也为从第一部件11向第二部件12。例如，第二部件12的极化的从负向正的方向为从第二部件12向第一部件11。能够得到高的效率。

(第二实施方式)

第二实施方式涉及发电元件的制造方法。例如能够通过本制造方法制造第一实施方式的发电元件110。

图7的(a)～图7的(e)是例示第二实施方式的发电元件的制造方法的示意剖面图。

如图7的(a)所示，在基体50s上形成第一膜11f。第一膜11f为第一部件11以及第二部件12中的至少任意一个部件。作为基体50s，例如使用si基板、al2o3基板或者sic基板等。第一膜11f例如通过有机金属气相法(mocvd)等而结晶生长。第一膜11f也可以通过基于分子射线外延法(mbe：molecularbeamepitaxy，分子束外延)等的结晶生长而形成。第一膜11f例如为氮化物半导体的结晶。第一膜11f的表面(上表面)为+c面。第一膜11f的下表面(基体50s侧的面)为-c面。

如图7的(b)所示，在第一膜11f上形成导电层e0。导电层e0为第一导电层e1以及第二导电层e2中的至少任意一个。导电层e0例如包含从由mo以及w构成的群中选择出的至少任意一个。导电层e0例如通过蒸镀而形成。例如，导电层e0也可以为晶片状的mo或者w。在该情况下，导电层e0例如与第一膜11f接合。

如图7的(c)所示，去除基体50s。

如图7的(d)所示，第一膜11f的表面为-c面。准备这样的包括导电层e0以及第一膜11f的多个结构体。在多个结构体中的一个结构体中，导电层e0为第一导电层e1，第一膜11f为第一部件11。在多个结构体中的另一个结构体中，导电层e0为第二导电层e2，第一膜11f为第二部件12。

如图7的(e)所示，以第一部件11和第二部件12相互对置的方式将第一部件11以及第二部件12相互组合。由此，制作实施方式的发电元件110。

图8的(a)以及图8的(b)是示出实施方式的发电模块以及发电装置的示意剖面图。

如图8的(a)所示，在实施方式的发电模块210中，包括第一实施方式的发电元件110。在该例子中，在基板120上排列有多个发电元件110。

如图8的(b)所示，实施方式的发电装置310包括上述发电模块210。也可以设置有多个发电模块210。在该例子中，在基板220上排列有多个发电模块210。

图9的(a)以及图9的(b)是示出实施方式的发电装置以及发电系统的示意图。

如图9的(a)以及图9的(b)所示，实施方式的发电装置310(即第一实施方式的发电元件110或者发电模块210)能够应用于太阳能热发电。

如图9的(a)所示，例如来自太阳61的光被定日镜62反射而入射到发电装置310(发电元件110或者发电模块210)。光使第一导电层e1以及第一部件11的第一温度t1上升。第一温度t1变得高于第二温度t2。热被转化成电流。由电线65等对电流进行输送。

如图9的(b)所示，例如来自太阳61的光被聚光镜63聚光而入射到发电装置310(发电元件110或者发电模块210)。基于光的热被转化成电流。由电线65等对电流进行输送。

例如，发电系统410包括发电装置310。在该例子中，设置有多个发电装置310。在该例子中，发电系统410包括发电装置310和驱动装置66。驱动装置66使发电装置310追随太阳61的移动。能够通过追随来实施高效的发电。

通过使用实施方式的发电元件110，能够实施高效的发电。

实施方式也可以包括以下的技术方案(结构)。

(技术方案1)

一种发电元件，具备：

第一导电层；

第二导电层；

第一部件，设置于所述第一导电层与所述第二导电层之间，包含具有纤锌矿构造的第一结晶；以及

第二部件，设置于所述第一部件与所述第二导电层之间，与所述第一部件相离，

所述第一结晶的<000-1>方向具有从所述第一部件向所述第二部件的分量。

(技术方案2)

根据技术方案1记载的发电元件，其中，

所述第一部件具有与所述第二部件对置的第一面，

所述第一面是(000-1)面。

(技术方案3)

根据技术方案1或者2记载的发电元件，其中，

所述第二部件包含具有纤锌矿构造的第二结晶，

所述第二结晶的<000-1>方向具有从所述第二部件向所述第一部件的分量。

(技术方案4)

根据技术方案3记载的发电元件，其中，

所述第二部件具有与所述第一部件对置的第二面，

所述第二面是(000-1)面。

(技术方案5)

根据技术方案3或者4记载的发电元件，其中，

所述第二结晶包含从由b、al、in以及ga构成的群中选择出的至少一个和氮。

(技术方案6)

根据技术方案3或者4记载的发电元件，其中，

所述第二结晶包含从由zno以及znmgo构成的群中选择出的至少一个。

(技术方案7)

根据技术方案1～6中的任意一个技术方案记载的发电元件，其中，

所述第一结晶包含从由b、al、in以及ga构成的群中选择出的至少一个和氮。

(技术方案8)

根据技术方案1～6中的任意一个技术方案记载的发电元件，其中，

所述第一结晶包含从由zno以及znmgo构成的群中选择出的至少一个。

(技术方案9)

一种发电元件，具备：

第一导电层；

第二导电层；

第一部件，设置于所述第一导电层与所述第二导电层之间；以及

第二部件，设置于所述第一部件与所述第二导电层之间，与所述第一部件相离，

所述第一部件的极化的从负向正的方向为从所述第一部件向所述第二部件。

(技术方案10)

根据技术方案9记载的发电元件，其中，

所述第二部件的极化的从负向正的方向为从所述第二部件向所述第一部件。

(技术方案11)

根据技术方案10记载的发电元件，其中，

所述第二部件包含从由batio3、pbtio3、pb(zrx，ti1-x)o3、knbo3、linbo3、litao3、naxwo3、zn2o3、ba2nanb5o5、pb2knb5o15以及li2b4o7构成的群中选择出的至少一个。

(技术方案12)

根据技术方案11记载的发电元件，其中，

沿从所述第二部件向所述第一部件的方向的所述第二部件的厚度为5nm以下。

(技术方案13)

根据技术方案11记载的发电元件，其中，

所述第二部件为岛状或者网眼状。

(技术方案14)

根据技术方案10记载的发电元件，其中，

所述第二部件包含第二结晶，

所述第二结晶包含从由b、al、in以及ga构成的群中选择出的至少一个和氮。

(技术方案15)

根据技术方案9～14中的任意一个技术方案记载的发电元件，其中，

所述第一部件包含从由batio3、pbtio3、pb(zrx，ti1-x)o3、knbo3、linbo3、litao3、naxwo3、zn2o3、ba2nanb5o5、pb2knb5o15以及li2b4o7构成的群中选择出的至少一个。

(技术方案16)

根据技术方案15记载的发电元件，其中，

沿从所述第一部件向所述第二部件的方向的所述第一部件的厚度为5nm以下。

(技术方案17)

根据技术方案15记载的发电元件，其中，

所述第一部件为岛状或者网眼状。

(技术方案18)

根据技术方案9记载的发电元件，其中，

所述第一部件包含第一结晶，

所述第一结晶包含从由b、al、in以及ga构成的群中选择出的至少一个和氮。

(技术方案19)

根据技术方案1～18中的任意一个技术方案记载的发电元件，其中该发电元件还具备：

第一端子，与所述第一导电层电连接；以及

第二端子，与所述第二导电层电连接，

负载能够电连接于所述第一端子与所述第二端子之间。

(技术方案20)

根据技术方案1～19中的任意一个技术方案记载的发电元件，其中，

在所述第一部件的温度比第二部件的温度高时，

从所述第一部件释放电子，

所述电子到达所述第二部件。

(技术方案21)

一种发电模块，该发电模块具备技术方案1～20中的任意一个技术方案记载的多个所述发电元件。

(技术方案22)

一种发电装置，该发电装置具备技术方案21记载的多个所述发电模块。

(技术方案23)

一种发电系统，具备：

技术方案22记载的发电装置；以及

驱动装置，

所述驱动装置使所述发电装置追随太阳的移动。

根据实施方式，能够提供一种能够提高效率的发电元件、发电模块、发电装置以及发电系统。

此外，在本说明书中，“氮化物半导体”设为包含在bxinyalzga1-x-y-zn(0≤x≤1，0≤y≤1，0≤z≤1，x+y+z≤1)的化学式中使组成比x、y以及z在各自的范围内变化的所有组成的半导体。另外，进而将在上述化学式中还包含除了n(氮)以外的v族元素的情况、还包含为了控制导电型等各种物性而添加的各种元素的情况、以及还包含偶然包含的各种元素的情况设为也包含于“氮化物半导体”的情况。

以上，参照具体例，说明了本发明的实施方式。但是，本发明不限定于这些具体例。例如，关于发电元件所包含的导电层、部件以及端子等各要素的具体的技术方案，只要本领域技术人员能够通过从公知的范围中适当选择而同样地实施本发明并得到同样的效果，就包含于本发明的范围内。

另外，在技术上可能的范围内对各具体例的任意两个以上的要素进行组合而成的发明只要包含本发明的要旨，则也包含于本发明的范围内。

另外，关于本领域技术人员在以上作为本发明的实施方式而描述的发电元件、发电模块、发电装置以及发电系统的基础上进行适当设计变更而实施得到的所有发电元件、发电模块、发电装置以及发电系统，只要包含本发明的要旨，则也属于本发明的范围内。

另外，在本发明的思想的范围内，只要是本领域技术人员，就能够想到各种变更例以及修正例，这些变更例以及修正例也被理解为属于本发明的范围内。

虽然说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式是作为示例而提出的，不意图限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式实施，能够在不脱离发明的要旨的范围内进行各种省略、置换、变更。这些实施方式、其变形包含于发明的范围、要旨内，并且包含于权利要求书记载的发明和其均等的范围内。