弹性波元件、分波器以及通信模块的制作方法
【专利摘要】SAW元件(51)具备：基板(53)；具备位于基板(53)的上表面(53a)的第1梳齿电极(59A)以及第2梳齿电极(59B)的IDT(55)；以及位于基板(53)的上表面(53a)的电容元件(69)。电容元件(69)具备：与第1梳齿电极(59A)连接的第1对置电极(71A)；以及与第2梳齿电极(59B)连接、且隔着第3间隙(73)与第1对置电极(71A)对置的第2对置电极(71B)。从第1对置电极(71A)经由第3间隙(73)朝向第2对置电极(71B)的方向与从第1梳齿电极(59A)经由间隙(67)朝向第2梳齿电极(59B)的方向是相反方向。在将间隙(67)的间隔设为di、将宽度设为wi、将第3间隙(73)的间隔设为Dj、并将宽度设为Wj时，0＜∑(Wj/Dj2)＜2∑(wi/di2)成立。
【专利说明】弹性波元件、分波器以及通信模块
【技术领域】
[0001]本发明涉及弹性表面波(SAW:Surface Acoustic Wave)元件等的弹性波元件、分波器以及通信模块。
【背景技术】
[0002]已知具有压电基板以及设于压电基板的主面上的IDT (InterDigitalTransducer，叉指换能器)的弹性波元件。将这样的弹性波元件例如利用在分波器的发送滤波器、接收滤波器等中。
[0003]在弹性波元件中，由于因元件的非线性而产生的电气失真波，有时会导致电气特性下降。例如，在使用弹性波元件的分波器中，发送频带以及接收频带的频带外的干扰波、以及发送波被混合在一起，从而产生包含在接收频带内的失真波。将该失真波称作互调失真(IMD:1nter-Modulat1n Distort1n),这是使无线装置的通信质量(SN比)降低的原因之一。此外，还可能产生具有发送波的整数倍的频率的谐波失真，由此发生干扰其它无线装置的通信这样的问题。
[0004]为此，为了抑制因失真波引起的SN比的降低，不改变静电电容地将构成分波器的梯型滤波器的串联谐振器或并联谐振器进行分割的方法是已知的(例如专利文献I)。通过分割串联谐振器或并联谐振器来使施加给该谐振器的电压分散，从而抑制失真波。
[0005]另外，虽然不是与抑制失真波的技术相关的文献，但在专利文献2中公开了设置于压电基板的主面上且与IDT并联连接的电容元件。
[0006]但是，若不改变静电电容地分割谐振器，则与分割前相比，谐振器大型化，进而导致弹性波元件大型化。
[0007]先行技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献I JP特开2007-074698号公报
[0010]专利文献2 JP特开平5-167384号公报
[0011]因此，期望提供能更合适地抑制失真波的影响的弹性波元件、分波器以及通信模块。
【发明内容】
[0012]发明的概要
[0013]本发明的I个方式所涉及的弹性波元件具备:压电基板；具备位于该压电基板的上表面的第I梳齿电极以及第2梳齿电极的IDT ;以及位于所述压电基板的上表面的与所述IDT电连接的I个电容元件，所述第I梳齿电极具备--第I母线；以及从该第I母线延伸的多个第I电极指，所述第2梳齿电极具备:第2母线；以及从该第2母线延伸的多个第2电极指，所述第I梳齿电极以及所述第2梳齿电极中，所述多个第I电极指与所述多个第2电极指相互啮合，所述第I电极指在其延伸的方向上前端隔着第I间隙与第2梳齿电极对置，所述第2电极指在其延伸的方向上前端隔着第2间隙与第I梳齿电极对置，所述电容元件具备:与所述第I梳齿电极连接的第I对置电极；与所述第2梳齿电极连接、且隔着第3间隙与所述第I对置电极对置的第2对置电极，从所述第I对置电极经由第3间隙朝向所述第2对置电极的方向与从所述第I梳齿电极经由所述第I间隙朝向所述第2梳齿电极的方向以及从所述第I梳齿电极经由所述第2间隙朝向所述第2梳齿电极的方向是相反方向，在将所述第I间隙以及所述第2间隙的合计数设为n(n ^ 2)、将所述第I间隙以及所述第2间隙当中从所述IDT的一端起依次数的第i个的第I间隙以及第2间隙的长度以及宽度分别设为C^wi(KiSn)时，所述第3间隙的长度D以及宽度L满足下述的㈧式。
[0014][数式 I]
【权利要求】
1.一种弹性波元件，具备: 压电基板； 叉指换能器IDT，其具备位于该压电基板的上表面的第I梳齿电极以及第2梳齿电极；和 I个电容元件，其位于所述压电基板的上表面，并与所述IDT电连接， 所述第I梳齿电极具备: 第I母线；和 从该第I母线延伸的多个第I电极指， 所述第2梳齿电极具备: 第2母线；和 从该第2母线延伸的多个第2电极指， 所述第I梳齿电极以及所述第2梳齿电极中，所述多个第I电极指与所述多个第2电极指相互啮合， 所述第I电极指在其延伸的方向上前端隔着第I间隙与第2梳齿电极对置， 所述第2电极指在其延伸的方向上前端隔着第2间隙与第I梳齿电极对置， 所述电容元件具备: 第I对置电极，其与所述第I梳齿电极连接；和 第2对置电极，其与所述第2梳齿电极连接，并隔着第3间隙与所述第I对置电极对置，从所述第I对置电极经由第3间隙朝向所述第2对置电极的方向与从所述第I梳齿电极经由所述第I间隙朝向所述第2梳齿电极的方向以及从所述第I梳齿电极经由所述第2间隙朝向所述第2梳齿电极的方向是相反方向， 在将所述第I间隙以及所述第2间隙的合计数设为n，其中η > 2，并将所述第I间隙以及所述第2间隙当中从所述IDT的一端起依次数的第i个的第I间隙以及第2间隙的长度以及宽度分别设为屯、Wi，其中I≤i≤η时，所述第3间隙的长度D以及宽度L满足下述的㈧式，
2.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中， 所述第3间隙的长度D以及宽度L满足下述的(B)式，
3.根据权利要求2所述的弹性波元件，其中， 所述第3间隙的长度D以及宽度L满足下述的(C)式，
4.根据权利要求1~3中任一项所述的弹性波元件，其中，所述第I梳齿电极还具备:在所述多个第I电极指间从所述第I母线向所述第2母线侧延伸、其前端隔着所述第2间隙与所述多个第2电极指的前端对置的多个第I虚设电极指， 所述第2梳齿电极还具备:在所述多个第2电极指间从所述第2母线向所述第I母线侧延伸、其前端隔着所述第I间隙与所述多个第I电极指的前端对置的多个第2虚设电极指。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的弹性波元件，其中， 所述第I母线与所述第I对置电极一体化。
6.一种弹性波元件，具备: 压电基板； 叉指换能器IDT，其具备位于该压电基板的上表面的第I梳齿电极以及第2梳齿电极；和 2个以上的电容元件，其位于所述压电基板的上表面，并与所述IDT电连接， 所述第I梳齿电极具备: 第I母线；和 从该第I母线延伸的多个第I电极指， 所述第2梳齿电极具备: 第2母线；和 从该第2母线延伸的多个第2电极指， 所述第I梳齿电极以及所述第2梳齿电极中，所述多个第I电极指与所述多个第2电极指相互啮合， 所述第I电极指在其延伸的方向上前端隔着第I间隙与第2梳齿电极对置， 所述第2电极指在其延伸的方向上前端隔着第2间隙与第I梳齿电极对置， 所述电容元件具备: 与所述第I梳齿电极连接的2个以上的第I对置电极；和 2个以上的第2对置电极，其与所述第2梳齿电极连接，并隔着第3间隙与所述第I对置电极对置， 从所述第I对置电极经由第3间隙朝向所述第2对置电极的方向与从所述第I梳齿电极经由所述第I间隙朝向所述第2梳齿电极的方向以及从所述第I梳齿电极经由所述第2间隙朝向所述第2梳齿电极的方向是相反方向， 在将所述第I间隙以及所述第2间隙的合计数设为n，其中n ^ 2，将所述第I间隙以及所述第2间隙当中从所述IDT的一端起依次数的第i个的第I间隙以及第2间隙的长度以及宽度分别设为屯、Wi，其中n，将所述第3间隙的合计值设为m，其中m > 2，并将第j个所述第3间隙的长度以及宽度分别设为Dp Wp其中I m时， 所述电容元件满足下述的(D)式，
7.一种弹性波元件，具备:压电基板； 叉指换能器IDT，其具备位于该压电基板的上表面的第I梳齿电极以及第2梳齿电极；和 一对反射器，其按照夹着所述IDT的方式位于所述压电基板的上表面， 所述第I梳齿电极具备: 第I母线；和 从该第I母线延伸的多个第I电极指， 所述第2梳齿电极具备: 第2母线；和 从该第2母线延伸的多个第2 电极指， 所述第I梳齿电极以及所述第2梳齿电极中，所述多个第I电极指与所述多个第2电极指相互啮合， 所述第I电极指在其延伸的方向上前端隔着第I间隙与第2梳齿电极对置， 所述第2电极指在其延伸的方向上前端隔着第2间隙与第I梳齿电极对置， 所述反射器具备: 第I对置电极，其与所述第I梳齿电极连接；和 第2对置电极，其与所述第2梳齿电极连接，并与所述第I对置电极对置， 所述第I对置电极以及所述第2对置电极的一者的电极具备:朝向所述第I对置电极以及所述第2对置电极的另一者的电极延伸、且在其延伸的方向上前端隔着第3间隙与所述另一者的电极对置的多个第3电极指， 从所述第I对置电极经由所述第3间隙朝向所述第2对置电极的方向与从所述第I梳齿电极经由所述第I间隙朝向所述第2梳齿电极的方向以及从所述第I梳齿电极经由所述第2间隙朝向所述第2梳齿电极的方向是相反方向。
8.根据权利要求7所述的弹性波元件，其中， 在将所述第I间隙以及所述第2间隙的合计数设为n，其中n ^ 2，将所述第I间隙以及所述第2间隙当中的从所述IDT的一端起依次数的第i个的第I间隙以及第2间隙的长度以及宽度分别设为屯、Wi，其中n，将所述第3间隙的合计值设为m，其中m > 2，并将第j个所述第3间隙的长度以及宽度分别设为Dp Wp其中I≤j≤m时， 所述反射器满足下述的(D)式，
9.根据权利要求7或8所述的弹性波元件，其中， 所述第3间隙位于与延长区域相偏离的区域，该延长区域是使所述第I电极指与所述第2电极指的交叉区域沿弹性波的传播方向延长而得到的。
10.一种分波器，具备: 天线端子； 发送滤波器，其对发送信号进行滤波并输出给所述天线；和 接收滤波器，其对来自所述天线的接收信号进行滤波，所述发送滤波器具备权利要求1?9中任一项所述的弹性波元件。
11.一种通信模块，具备:天线；权利要求10所述的分波器，其与所述天线电连接；和射频集成电路RF-1C，其与所述分波器电连接。
【文档编号】H03H9/145GK104205630SQ201380019145
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2013年4月24日 优先权日:2012年4月25日
【发明者】岸野哲也, 仲井刚 申请人:京瓷株式会社