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声波谐振器及其制造方法与流程
文档序号:12739044
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来源:国知局
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声波谐振器及其制造方法与流程
技术总结
提供了一种声波谐振器及其制造方法。所述声波谐振器包括:谐振部,包括第一电极、第二电极以及设置在第一电极与第二电极之间的压电层;多个种子层,设置在谐振部的一侧上。
技术研发人员:
申兰姬;李泰京;韩成;康崙盛;金成善;孙晋淑;梁正承;李华善;朴殷台
受保护的技术使用者:
三星电机株式会社
文档号码:
201610256399
技术研发日:
2016.04.22
技术公布日:
2017.06.27
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