基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器的制作方法

技术特征：

1.一种基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器，其特征在于，包括：MEMS宽频带相位检测器、直流自动增益控制AGC放大器、第一压控振荡器VCO1和第二压控振荡器VCO2、第一可变电阻R1和第二可变电阻R2、除法器；电源VE通过第一可变电阻R1加载到第一压控振荡器VCO1上，同时通过第二可变电阻R2加载到直流自动增益控制AGC放大器上；第一压控振荡器VCO1产生参考信号，通过调节第一可变电阻R1的大小改变第一压控振荡器VCO1的控制电压VC1；参考信号和反馈信号分别加载到MEMS宽频带相位检测器的地线(2)和CPW信号线(3)组成的两个对称的输入端口，得到与相位差有关的直流电压V，直流电压V输入直流自动增益控制AGC放大器，放大后的信号为第二压控振荡器VCO2的控制电压VC2，第二压控振荡器VCO2的输出信号通过除法器后，频率变为原来的1/N，作为倍频器的反馈信号输入MEMS宽频带相位检测器；调节第二可变电阻R2的大小控制直流自动增益控制AGC放大器的增益，调节第二压控振荡器VCO2的控制电压，控制反馈信号的频率；同步调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2，使第二压控振荡器VCO2的输出频率为第一压控振荡器VCO1的输出频率的N倍，完成对不同频率的参考信号的倍频，实现在宽频带范围内工作的倍频器。

2.如权利要求1所述的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器，其特征在于，参考信号和反馈信号通过输入端口输入MEMS宽频带相位检测器后，首先通过功合器进行矢量合成，合成信号通过热电式功率传感器转化为与相位差有关的直流电压V，经直流输出电极(11)输出；此直流电压V表示为：其中K为与输入信号幅度有关的系数，ωref为参考信号角频率，ωback为反馈信号角频率，为固有相位差；MEMS宽频带相位检测器输出的直流电压V通过第一端口(12)输入至直流自动增益控制AGC放大器进行放大，放大后的直流电压VC2表示为：其中A为直流自动增益控制AGC放大器的增益系数，放大后的直流电压VC2为第二压控振荡器VCO2的控制电压，通过第二端口(13)控制第二压控振荡器VCO2的输出频率，VCO2输出频率ωo通过下式表达：通过调节第二可变电阻R2，改变直流自动增益控制AGC放大器的直流偏置电源VC实现对增益系数A的调节，从而改变第二压控振荡器VCO2的控制电压及其相应的输出信号的频率，第二压控振荡器VCO2的输出信号通过第三端口(14)输入除法器；经过除法器后，频率变为原来的1/N，也就是：此信号为倍频器的反馈信号，通过第四端口(15)重新输入MEMS宽频带相位检测器；通过同步控制第一可变电阻R1和第二可变电阻R2，可使反馈信号和参考信号的频率相等，即第二压控振荡器VCO2的输出频率是第一压控振荡器VCO1输出频率的N倍，实现倍频。

3.如权利要求1所述的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器，其特征在于，MEMS宽频带相位检测器在不同频率下的输出直流电压V存在波动的情况下，通过调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2来实现倍频，倍频后的信号通过第五端口(16)输出。

4.如权利要求1所述的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器，其特征在于，MEMS宽频带相位检测器以GaAs(1)为衬底，包括功合器和热电式功率传感器，功合器包括地线(2)、CPW信号线(3)、第一ACPS传输线(4)、第二ACPS传输线(5)、第三ACPS传输线(6)和隔离电阻(7)，热电式功率传感器包括终端电阻(8)、热电堆半导体臂(9)、热电堆金属臂(10)、直流输出电极(11)；MEMS宽频带相位检测器以GaAs为衬底，地线(2)与CPW信号线(3)构成功合器的输入和输出端口，第一ACPS传输线(4)、第二ACPS传输线(5)和第三ACPS传输线(6)相级联，隔离电阻(7)分别设置在第一ACPS传输线(4)、第二ACPS传输线(5)和第三ACPS传输线(6)的末端，终端电阻(8)设置在CPW信号线(3)的输出端口处，热电堆半导体臂(9)与热电堆金属臂(10)依次连接，构成热电堆，直流输出电极(11)连接在热电堆两端。

5.如权利要求4所述的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器，其特征在于，第一ACPS传输线(4)的特征阻抗为Z1，第二ACPS传输线(5)的特征阻抗为Z2，第三ACPS传输线(6)的特征阻抗为Z3。