声波装置及其制造方法与流程

文档序号:12181977阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种声波装置,包括:

声波发生器,与支撑组件分开,并且被配置在基板上;

保护构件,被结合到所述支撑组件,并且与所述声波发生器分开预定的距离;以及

密封组件,密封所述保护构件。

2.根据权利要求1所述的声波装置,其中,沿所述声波发生器的外周设置所述支撑组件。

3.根据权利要求1所述的声波装置,其中,所述保护构件呈平板状,并且覆盖所述声波发生器的上部。

4.根据权利要求1所述的声波装置,其中,所述保护构件接触所述支撑组件的上表面的一部分,从而在所述保护构件的外部和所述支撑组件之间形成台阶部。

5.根据权利要求1所述的声波装置,其中,在所述保护构件的底表面上设置气密层组件。

6.根据权利要求1所述的声波装置,其中,所述密封组件是包含从由氮化硅、二氧化硅、氮氧化硅以及碳化硅组成的组中选择的至少一种成分的薄膜。

7.根据权利要求1所述的声波装置,其中,在所述基板的配置有所述声波发生器的一个表面上设置电连接到所述声波发生器的连接端子。

8.根据权利要求7所述的声波装置,其中,所述连接端子被配置在所述密封组件的外侧。

9.根据权利要求8所述的声波装置,其中,从所述基板的一个表面到所述连接端子的上部的竖直距离大于从所述基板的所述一个表面到所述密封组件的竖直长度。

10.根据权利要求1所述的声波装置,其中,在所述基板的与所述基板的配置有所述声波发生器的一个表面相对的另一表面上设置连接端子,所述连接端子通过穿透所述基板的导电通路而电连接到所述声波发生器。

11.根据权利要求1所述的声波装置,所述声波装置还包括天线,所述天线以布线图案形式被形成在所述基板上。

12.根据权利要求11所述的声波装置,其中,所述天线被配置在所述密封组件之内或在所述密封组件之外。

13.根据权利要求11所述的声波装置,其中,所述天线被插设在所述基板和所述支撑组件之间。

14.一种制造声波装置的方法,所述方法包括:

准备基板;

在所述基板的一个表面上形成声波发生器;

沿所述声波发生器的外周在所述基板的所述一个表面上形成支撑组件,并且将保护构件结合到所述支撑组件上使得所述保护构件与所述声波发生器分开预定的距离;以及

形成密封组件,以密封所述保护构件和所述支撑组件。

15.根据权利要求14所述的方法,所述方法还包括:在所述基板的配置有所述声波发生器的一个表面和所述基板的与所述一个表面相对的另一表面中的至少一个上形成连接端子,所述连接端子与所述密封组件的外部分开,并且电连接到所述声波发生器。

16.根据权利要求14所述的方法,其中,所述密封组件是薄膜。

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