有机EL设备的制造方法与流程

文档序号:17044003发布日期:2019-03-05 19:27阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
有机EL设备(100)的制造方法包含:在基板(1)上形成驱动电路层(2)的工序、在驱动电路层上形成无机保护层(Pa)的工序、在无机保护层上形成有机平坦化层(Pb)的工序、将有机平坦化层加热为200℃以上的温度的工序、以及在加热工序之后于有机平坦化层上形成有机EL元件层(3)的工序,并且,在形成有机平坦化层之后且加热有机平坦化层的工序之前,进而还包含形成将有机平坦化层覆盖的有机高分子膜的工序、以及除去有机高分子膜的工序。

技术研发人员:鸣泷阳三;岸本克彦
受保护的技术使用者:堺显示器制品株式会社
技术研发日:2017.06.27
技术公布日:2019.03.05
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