匹配器及等离子体处理装置的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明提供一种能够实现高速匹配动作的匹配器。一实施方式的匹配器具备串联部、并联部及一个以上的可变直流电源。串联部包含具有可变电容的第1二极管，且设置于高频输入端与高频输出端之间。并联部包含具有可变电容的第2二极管，且设置于输入端与输出端之间的节点及地之间。一个以上的可变直流电源以对第1二极管及第2二极管施加可变反向偏置电压的方式而设置。

技术研发人员：鸟井夏实
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.05.17
技术公布日：2019.01.11