包括具有角部的第一金属层区域的基底的制作方法

文档序号:15744918发布日期:2018-10-23 22:58阅读:110来源:国知局

本发明涉及一种基底,该基底包括陶瓷板,并且包括第一金属层区域,第一金属层区域具有角部,所述第一金属层区域被布置在陶瓷板的第一主表面上。



背景技术:

在从现有技术已知的功率半导体模块的情况下,通常诸如功率半导体开关和二极管的功率半导体部件被布置在基底上,并且借助于基底的导体层、接合线和/或膜复合物而彼此导电地连接。在这种情况下,功率半导体开关通常以晶体管的形式或晶闸管的形式存在,其中,晶体管诸如例如为IGBT(绝缘栅双极晶体管)或MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)。

基底通常具有结构化的导电金属层,该导电金属层被布置在陶瓷板的第一主表面上,所述金属层形成金属层区域,该金属层区域由于其结构而布置在彼此相距一定距离处。为了制造基底,通常将均匀厚度的金属片连接至陶瓷本体,然后,由金属片形成金属层区域。在这种情况下,金属片可包括多个不同金属层和/或在连接至陶瓷本体之后设置有至少一个附加金属涂层。这种基底在本领域中常规地也被称为DCB(直接铜接合)基底或AMB(活性金属钎焊)基底。在最简单的情况下,也可能仅是待布置在陶瓷板的第一主表面上的单个金属层区域。

在这种基于陶瓷板的基底的情况下,出现以下问题:由于陶瓷板和相应的金属层区域的不同热膨胀系数,因而在温度变化的情况下出现机械应力,该机械应力能够导致陶瓷板中的应力裂纹。具体地是,陶瓷板的、布置在相应的金属层区域的角部的直接附近的区域对于这种应力裂纹来说至关重要。

为了减少由温度变化引起的机械应力并避免陶瓷的应力裂纹,从JP2015225948A已知,在相应的金属层区域的整个边缘周围,在相应的金属层区域的边缘区域中布置孔。相应的金属层区域的角部具有角部半径。

EP 1 061 783 B1公开了给布置在多片基底(multiple substrate)上的金属层区域的边缘区域提供边缘弱化部,用于避免在为了由多片基底产生多个基底的目的而使多片基底进行定向打断的过程中可能发生的不期望的剥落的目的。



技术实现要素:

本发明的目的是提供耐受温度变化的可靠基底。

该目的借助于包括陶瓷板的基底来实现,该基底包括第一金属层区域,第一金属层区域具有角部,所述第一金属层区域被布置在陶瓷板的第一主表面上,其中,第一金属层区域具有第一角部,该第一角部将第一金属层区域的直的第一金属层区域边缘部分连接至第一金属层区域的直的第二金属层区域边缘部分,所述第二金属层区域边缘部分与第一金属层区域的第一金属层区域边缘部分垂直地延伸,其中,第一金属层区域的第一角部具有50μm至180μm的角部半径。

本发明的有利实施例从以下显而易见。

如果第一金属层区域的所有角部均具有50μm至180μm的角部半径,因为基底这样特别耐受温度变化,则证明是有利的。

此外,如果第一金属层区域的第一边缘区域具有第一边缘弱化部,所述第一边缘区域围绕第一金属层区域的第一角部延伸,其中,第一金属层区域的第一边缘区域从第一金属层区域的边缘前进,第一金属层区域的第一边缘区域具有与第一金属层区域的厚度的4倍对应的宽度,其中,第一边缘弱化部具有第一长度和第二长度,该第一长度是第一金属层区域的厚度的1倍至27倍,所述第一长度沿第一金属层区域的第一金属层区域边缘部分延伸,第二长度是第一金属层区域的厚度的1倍至27倍,所述第二长度沿第二金属层区域边缘部分延伸,其中,第一金属层区域的第一边缘区域沿着第一金属层区域边缘部分和第二金属层区域边缘部分具有与第一边缘弱化部相同的相应的长度,其中,第一边缘弱化部被设计成使得第一金属层区域的第一边缘区域中的第一边缘弱化部将第一金属层区域的第一边缘区域的材料的体积减少10%至90%,则证明是有利的。作为结果,可进一步降低可能导致陶瓷板中的应力裂纹的、受温度变化支配的机械应力。

此外,如果基底具有第二金属层区域,第二金属层区域具有角部,所述第二金属层区域被布置在陶瓷板的第一主表面上,并且被布置在距第一金属层区域一定距离处,其中,第二金属层区域具有第一角部,第一角部将第二金属层区域的直的第一金属层区域边缘部分连接至第二金属层区域的直的第二金属层区域边缘部分,所述第二金属层区域边缘部分与第一金属层区域边缘部分垂直地延伸,其中,第二金属层区域的第一角部具有50μm至180μm的角部半径,则证明是有利的。作为结果,可进一步降低受温度变化支配的机械应力。

此外,如果第二金属层区域的所有角部均具有50μm至180μm的角部半径,因为该基底这样特别耐受温度变化,则证明是有利的。

此外,如果第二金属层区域的第一边缘区域具有第二边缘弱化部,所述第一边缘区域围绕第二金属层区域的第一角部延伸,其中,第二金属层区域的第一边缘区域从第二金属层区域的边缘前进,第二金属层区域的第一边缘区域具有与第二金属层区域的厚度的4倍对应的宽度,其中,第二边缘弱化部具有第三长度和第四长度,所述第三长度是第二金属层区域的厚度的1倍至27倍,所述第三长度沿第二金属层区域的第一金属层区域边缘部分延伸,第四长度是第二金属层区域的厚度的1倍至27倍,所述第四长度沿第二金属层区域的第二金属层区域边缘部分延伸,其中,第二金属层区域的第一边缘区域沿第二金属层区域的第一金属层区域边缘部分和第二金属层区域边缘部分具有与第二边缘弱化部相同的相应的长度,其中,第二边缘弱化部被设计成使得第二金属层区域的第一边缘区域中的第二边缘弱化部将第二金属层区域的第一边缘区域的材料的体积减少10%至90%,则证明是有利的。作为结果,可进一步降低受温度变化支配的机械应力。

此外,如果第一金属层区域的第二金属层区域边缘部分与第二金属层区域的第二金属层区域边缘部分彼此平行地延伸,并且第一金属层区域的第一金属层区域边缘部分与第二金属层区域的第一金属层区域边缘部分在共同的第一线上延伸,则证明是有利的。

此外,如果基底具有第三金属层区域,第三金属层区域具有角部,所述第三金属层区域被布置在陶瓷板的第一主表面上,并且被布置在距第一金属层区域和第二金属层区域一定距离处,其中,第三金属层区域具有直的第一金属层区域边缘部分,所述直的第一金属层区域边缘部分与第一金属层区域的第一金属层区域边缘部分平行地且与第二金属层区域的第一金属层区域边缘部分平行地延伸,其中,在第二金属层区域的第二金属层区域边缘部分与第一金属层区域的第二金属层区域边缘部分之间以及在第二金属层区域的第一金属层区域边缘部分与第三金属层区域的第一金属层区域边缘部分之间存在相同的第一距离,其中,与第一金属层区域的第二金属层区域边缘部分具有共同点的第二线在第一交点处与第三金属层区域的第一金属层区域边缘部分相交,其中,与第二金属层区域的第二金属层区域边缘部分具有共同点的第三线在第二交点处与第三金属层区域的第一金属层区域边缘部相交,其中,第三金属层区域的第一边缘区域具有第三边缘弱化部,所述第一边缘区域沿第三金属层区域的第一金属层区域边缘部分延伸,其中,第三金属层区域的第一边缘区域从第三金属层区域的边缘前进,第三金属层区域的第一边缘区域具有与第三金属层区域的厚度的4倍对应的宽度,其中,第三边缘弱化部具有第五长度,第五长度是第一距离的2倍至15倍,所述第五长度沿第三金属层区域的第一金属层区域边缘部分延伸,其中,第一交点和第二交点被布置在第三金属层区域的第一边缘区域中,其中,第三金属层区域的第一边缘区域沿第三金属层区域的第一金属层区域边缘部分具有与第三边缘弱化部相同的长度,其中,第三边缘弱化部被设计成使得第三金属层区域的第一边缘区域中的第三边缘弱化部将第三金属层区域的第一边缘区域的材料的体积减小10%至90%,则证明是有利的。作为结果,可进一步降低受温度变化支配的机械应力。

在此上下文中,如果第四线与第一金属层区域的第二金属层区域边缘部分平行地延伸,所述第四线处在距第一金属层区域的第二金属层区域边缘部分一半所述第一距离处,所述第四线在第三交点处与第三金属层区域的第一金属层区域边缘部分相交,其中,第三边缘弱化部被布置成使得第三边缘弱化部的被布置在第三交点的两侧上且沿第三金属层区域的第一金属层区域边缘部分延伸的两个部分具有相同的长度,则证明是有利的。作为结果,可特别好地降低受温度变化支配的机械应力。

此外,如果相应的边缘弱化部以被布置在相应的金属层区域的第一边缘区域中的至少一个孔的形式设计,因为孔能够以简单的方式引入到相应的金属层区域中,则证明是有利的。

在此上下文中,如果所述至少一个孔具有圆形横截面,因为能够特别简单地制造出具有圆形横截面的孔,则证明是有利的。

此外,如果孔的中点至少大致地被布置在第五线上,该第五线相对于第一金属层区域的第一金属层区域边缘部分和第二金属层区域边缘部分成45°的角度,并且延伸穿过第一金属层区域的第一角部的角部半径的角部半径起始点,因为这样能够特别好地降低受温度变化支配的机械应力,则证明是有利的。

此外,如果相应的边缘弱化部被设计为使得相应的边缘区域具有区域:该区域具有从相应的金属层区域的边缘前进的倾斜的或阶梯状的进程,因为这样能够特别好地降低受温度变化支配的机械应力,则证明是有利的。

此外,如果基底具有另外金属层区域,该另外金属层区域具有角部,所述另外金属层区域被布置在陶瓷板的第二主表面上,其中,陶瓷板的第二主表面与陶瓷板的第一主表面相反地布置;其中,所述另外金属层区域具有第一角部,该第一角部将所述另外金属层区域的直的第一金属层区域边缘部分连接至所述另外金属层区域的直的第二金属层区域边缘部分,所述第二金属层区域边缘部分与另外金属层区域边缘部分垂直地延伸,其中,所述另外金属层区域的第一角部具有50μm至180μm的角部半径,则证明是有利的。作为结果,可进一步降低受温度变化支配的机械应力。

此外,如果所述另外金属层区域的所有角部均具有50μm至180μm的角部半径,因为基底这样特别耐受温度变化,则证明是有利的。

另外,如果所述另外金属层区域具有另外边缘弱化部,则证明是有利的。作为结果,可进一步降低受温度变化支配的机械应力。

附图说明

下面参照下面附图说明本发明的示例性实施例,在附图中:

图1示出了根据本发明的基底的第一主侧的平面图;

图2示出了图1的区域的详细视图;

图3示出了图2中所示的区域的截面图;

图4示出了根据本发明的基底的第二主侧的平面图,所述第二主侧布置成与根据本发明的基底的第一主侧相反;

图5示出了图2中所示的区域的替代实施例的截面图;并且

图6示出了图2中所示的区域的进一步替代实施例的截面图。

具体实施方式

图1示出了根据本发明的基底1的第一主侧的平面图,图2示出了图1的区域F的详细视图,并且图3示出了穿过图2中所示的区域F的截面G的截面图。图4示出了根据本发明的基底1的第二主侧的平面图,所述第二主侧与根据本发明的基底1的第一主侧相反布置。在附图中,相同的元件设置有相同的附图标记。此外,应注意的是,在图1、图2和图4中,金属层区域5、金属层区域9、金属层区域10和金属层区域18的角部以相对于所示元件的其余部分的尺寸大大放大的角部半径R示出,以便更好地可视化金属层区域5、金属层区域9、金属层区域10和金属层区域18的角部的圆化行程。此外,具体地是,在图3、图5和图6中,金属层区域5、金属层区域9、金属层区域10和金属层区域18的厚度以未真实按比例的方式示出。

根据本发明的基底1通常实施为DCB(直接铜接合)基底或AMB(活性金属钎焊)基底。

根据本发明的基底1包括陶瓷板2以及第一金属层区域5,第一金属层区域5具有角部6,所述第一金属层区域被布置在陶瓷板2的第一主表面2a上。第一金属层区域5在材料上结合到陶瓷板2的第一主表面2a。在这种情况下,第一金属层区域5具有第一角部6,第一角部6将第一金属层区域5的直的第一金属层区域边缘部分5a连接至第一金属层区域5的直的第二金属层区域边缘部分5b,所述第二金属层区域边缘部分与第一金属层区域5的第一金属层区域边缘部分5a垂直地延伸,其中,第一金属层区域5的第一角部6具有50μm至180μm角部半径R,具体是100μm至160μm的角部半径R,具体是150μm的角部半径R。第一角部6以角部半径R围绕角部半径起始点M延伸超过90°的角度。

因此,在本发明的情况下,第一金属层区域5的第一角部6具有非常小的角部半径R,通俗(colloquially)地说,使得第一金属层区域5的第一角部6实施为非常尖。因此,在本发明的情况下,故意使第一角部6的圆化很小。与物体上的尖锐角部导致高机械应力载荷并因此应在物体的实施例中尽可能多地避免物体上的尖锐角部的通常技术中频繁常见观点相反,本发明基于由发明人获得的令人惊讶的洞察,即,在基底的情况下,如果温度变化,由于陶瓷板和相应金属层区域的不同热膨胀系数,因而,与具有相对大的角部半径的角部的技术常规实施例相比,在角部具有非常小的角部半径的情况下,在相应金属层区域的角部的直接附近出现的机械应力显著较低。

优选地是,第一金属层区域5的所有角部6均具有50μm至180μm的角部半径R,具体是100μm至160μm的角部半径R,具体是150μm的角部半径R。第一金属层区域5的相应角部6以角部半径R围绕相应角部半径起始点M延伸超过90°的角度。

优选地是,第一金属层区域5的第一边缘区域11具有第一边缘弱化部13,所述第一边缘区域围绕第一金属层区域5的第一角部6延伸。第一金属层区域5的第一边缘区域11从第一金属层区域5的边缘5'前进,第一金属层区域5的第一边缘区域11具有与第一金属层区域5的厚度da的4倍对应的宽度ba。第一金属层区域5的厚度da优选地是100μm至800μm,具体是200μm至400μm,具体是300μm。第一边缘弱化部13具有第一长度la和第二长度1b,第一长度la为第一金属层区域5的厚度da的1倍至27倍,具体是1倍至10倍,所述第一长度沿第一金属层区域5的第一金属层区域边缘部分5a延伸,第二长度1b为第一金属层区域5的厚度da的1倍至27倍,具体是1倍至10倍,所述第二长度沿第二金属层区域边缘部分5b延伸。第一金属层区域5的第一边缘区域11沿第一金属层区域5的第一金属层区域边缘部分5a具有与第一边缘弱化部13相同的长度。第一金属层区域5的第一边缘区域11沿第一金属层区域5的第二金属层区域边缘部分5b具有与第一边缘弱化部13相同的长度。因而,第一边缘区域11在第一边缘弱化部13的两端E处终止。在这里应注意的是,在沿着第一金属层区域5的边缘5'的第一金属层区域5的第一边缘弱化部13的相应端E之后,优选地在第一金属层区域5的厚度da的至少7倍的相应长度lg上,第一金属层区域5没有边缘弱化部。因此,第一金属层区域5的整个边缘5'不具有边缘弱化部。第一边缘弱化部13被设计成使得第一金属层区域5的第一边缘区域11中的第一边缘弱化部13将第一金属层区域5的第一边缘区域11的材料的体积减少10%至90%,具体是减少20%至80%。因而,第一金属层区域5的第一边缘区域11与第一金属层区域的内部区域11'相比,具有第一金属层区域5的少10%至90%,具体是20%至80%的材料,所述内部区域不被布置在第一金属层区域的边缘5'处,不具有材料弱化部且具有与第一边缘区域11相同的体积。

优选地是,围绕第一金属层区域5的相应角部6延伸的、第一金属层区域5的边缘区域的其余部分具有以与第一边缘弱化部13类似的方式设计的相应边缘弱化部。

此外,基底1可包括第二金属层区域9,第二金属层区域9具有角部7,所述第二金属层区域被布置在陶瓷板2的第一主表面2a上,并且被布置在距第一金属层区域5一定距离处。第二金属层区域9在材料上结合到陶瓷板2的第一主表面2a。在这种情况下,第二金属层区域9具有第一角部7,第一角部7将第二金属层区域9的直的第一金属层区域边缘部分9a连接至第二金属层区域9的直的第二金属层区域边缘部分9b。所述第二金属层区域边缘部分与第二金属层区域9的第一金属层区域边缘部分9a垂直地延伸,其中,第二金属层区域9的第一角部7具有50μm至180μm,具体是100μm至160μm,具体是150μm的角部半径R。第二金属层区域9的第一角部7以角部半径R围绕角部半径起始点M延伸超过90°的角度。

优选地是,第二金属层区域9的所有角部7均具有50μm至180μm的角部半径R,具体是100μm至160μm的角部半径R,具体是150μm的角部半径R。第二金属层区域9的相应角部7以角部半径R围绕相应角部半径起始点M延伸超过90°的角度。

优选地是,第二金属层区域9的第一边缘区域12具有第二边缘弱化部14,所述第一边缘区域围绕第二金属层区域9的第一角部7延伸。第二金属层区域9的第一边缘区域12从第二金属层区域9的边缘9'前进,第二金属层区域9的第一边缘区域12具有与第二金属层区域9的厚度db的4倍对应的宽度bb。第二金属层区域9的厚度db优选地是100μm至800μm,具体是200μm至400μm,具体是300μm。第二边缘弱化部14具有第三长度lc和第四长度ld,第三长度lc为第二金属层区域9的厚度db的1倍至27倍,具体是1倍至10倍,所述第三长度沿第二金属层区域9的第一金属层区域边缘部分9a延伸,第四长度ld为第二金属层区域9的厚度db的1倍至27倍,具体是1倍至10倍,所述第四长度沿第二金属层区域边缘部分9b延伸。第二金属层区域9的第一边缘区域12沿第二金属层区域9的第一金属层区域边缘部分9a具有与第二边缘弱化部14相同的长度。第二金属层区域9的第一边缘区域12沿第二金属层区域9的第二金属层区域边缘部分9b具有与第二边缘弱化部14相同的长度。因而,第一边缘区域12在第二边缘弱化部14的两端E处终止。在这里应注意的是,在沿着第二金属层区域9的边缘9'的第二金属层区域9的第二边缘弱化部14的相应端E之后,优选地在第二金属层区域9的厚度db的至少7倍的相应长度lg上,第二金属层区域9没有边缘弱化部。因此,第二金属层区域9的整个边缘9'不具有边缘弱化部。第二边缘弱化部14被设计成使得第二金属层区域9的第一边缘区域12中的第二边缘弱化部14将第二金属层区域9的第一边缘区域12的材料的体积减少10%至90%,具体是减少20%至80%。因而,第二金属层区域9的第一边缘区域12与第二金属层区域的内部区域12'相比,具有第二金属层区域9的少10%至90%,具体是20%至80%的材料,所述内部区域不被布置在第二金属层区域9的边缘9'处,不具有材料弱化部且具有与第一边缘区域12相同的体积。

优选地是,围绕第二金属层区域9的相应角部7延伸的、第二金属层区域9的边缘区域的其余部分具有以与第二边缘弱化部14类似的方式设计的相应边缘弱化部。

第一金属层区域5的第二金属层区域边缘部分5b与第二金属层区域9的第二金属层区域边缘部分9b彼此平行地延伸,其中,第一金属层区域5的第一金属层区域边缘部分5a与第二金属层区域9的第一金属层区域边缘部分9a在共同的第一线L1上延伸。第二金属层区域9的第二金属层区域边缘部分9b在距第一金属层区域5的第二金属层区域边缘部分5b第一距离g处,所述第一距离优选地是500μm至1100μm,具体是700μm至900μm,并且具体是800μm。第一金属层区域5的第一角部6和第二金属层区域9的第一角部7相对于彼此以镜像反转的方式延伸。

陶瓷板2可包括第三金属层区域10,第三金属层区域10具有角部8,所述第三金属层区域被布置在陶瓷板2的第一主表面2a上,并且被布置在距第一金属层区域5和第二金属层区域9一定距离处。第三金属层区域10在材料上结合至陶瓷板2的第一主表面2a。第三金属层区域10包括直的第一金属层区域边缘部分10a,所述直的第一金属层区域边缘部分10a与第一金属层区域5的第一金属层区域边缘部分5a平行地且与第二金属层区域9的第一金属层区域边缘部分9a平行地延伸。在第二金属层区域9的第二金属层区域边缘部分9b与第一金属层区域5的第二金属层区域边缘部分5b之间以及在第二金属层区域9的第一金属层区域边缘部分9a与第三金属层区域10的第一金属层区域边缘部分10a之间的距离是相同的第一距离g。与第一金属层区域5的第二金属层区域边缘部分5a具有共同点的第二线L2在第一交点S1处与第三金属层区域10的第一金属层区域边缘部分10a相交。与第二金属层区域9的第二金属层区域边缘部分9b具有共同点的第三线L3在第二交点S2处与第三金属层区域10的第一金属层区域边缘部分10a相交。第三金属层区域10的第一边缘区域16具有第三边缘弱化部17,所述第一边缘区域沿第三金属层区域10的第一金属层区域边缘部分10a延伸。第三金属层区域10的第一边缘区域16从第三金属层区域10的边缘10’前进,第三金属层区域10的第一边缘区域16具有与第三金属层区域10的厚度的4倍对应的宽度bc;其中,第三边缘弱化部17具有第五长度le,第五长度le是第一距离g的2倍至15倍,具体是第一距离g的2倍至17倍,所述第五长度沿第三金属层区域10的第一金属层区域边缘部分10a延伸。第一交点S1和第二交点S2被布置在第三金属层区域10的第一边缘区域16中。第三金属层区域10的第一边缘区域16沿第三金属层区域10的第一金属层区域边缘部分10a具有与第三边缘弱化部17相同的长度,即,第三金属层区域10的第一边缘区域16在第三边缘弱化部部17的两端E处终止。应注意的是,在沿着第三金属层区域10的边缘10'的第三金属层区域10的第三边缘弱化部17的相应端E之后,优选地在第三金属层区域10的厚度的至少7倍的相应长度lg上,第三金属层区域10没有边缘弱化部。因此,第三金属层区域10的整个边缘10'不具有边缘弱化部。第三边缘弱化部17被设计成使得第三金属层区域10的第一边缘区域16中的第三边缘弱化部17将第三金属层区域10的第一边缘区域16的材料的体积减少10%至90%,具体是减少20%至80%。因而,第三金属层区域10的第一边缘区域16与第三金属层区域的内部区域相比,具有第三金属层区域10的少10%至90%,具体是20%至80%的材料,所述内部区域不被布置在第三金属层区域10的边缘10'处,不具有材料弱化部且具有与第一边缘区域16相同的体积。

第四线L4与第一金属层区域5的第二金属层区域边缘部分5b平行地延伸,所述第四线处在距第一金属层区域5的第二金属层区域边缘部分5b一半所述第一距离g处,优选地是,在第三交点S3处与第三金属层区域10的第一金属层区域边缘部分10a相交,其中,第三边缘弱化部17被布置成使得第三边缘弱化部17的被布置在第三交点S3的两侧上且沿第三金属层区域10的第一金属层区域边缘部分10a延伸的两个部分10a’和10a”具有相同的长度。

如在图1至图3中通过示例所示出,相应的边缘弱化部13、边缘弱化部14和边缘弱化部17能够以被布置在相应的金属层区域5、金属层区域9和金属层区域10的第一边缘区域11、第一边缘区域12和第一边缘区域16中的至少一个孔13'、14'和17'的形式来实施。关于孔13'和孔14',如在图3中通过示例所示出,所述至少一个孔13'、14'和17'能够以穿过完整的相应的金属层区域5、金属层区域9和金属层区域10的通孔的形式来实施,或以不穿过完整的相应的金属层区域5、金属层区域9和金属层区域10的盲孔(未示出)的形式来实施。通孔不在陶瓷板2中延伸。

所述至少一个孔13'、14'和17'分别优选具有圆形横截面。如在图1中通过示例所示,孔13'的中点优选地至少大致被布置在第五线L5上,第五线L5相对于第一金属层区域5的第一金属层区域边缘部分5a和第二金属层区域边缘部分5b成45°的角度,并且延伸穿过第一金属层区域5的第一角部6的角部半径R的角部半径起始点M。如在图1中通过示例所示,孔14'的中点优选地至少大致被布置在第六线L6上,第六线L6相对于第二金属层区域9的第一金属层区域边缘部分9a和第二金属层区域边缘部分9b成45°的角度,并且延伸穿过第二金属层区域9的第一角部7的角部半径R的角部半径起始点M。

关于边缘弱化部13和边缘弱化部14,如在图5和图6中通过示例所示,相应的边缘弱化部13、边缘弱化部14和边缘弱化部17也能够被设计成使得相应的边缘区域11、边缘区域12和边缘区域16具有一个区域,该区域具有分别从相应的金属层区域5、金属层区域9和金属层区域10的边缘5'、边缘9'和边缘10'前进的倾斜或阶梯状的进程。

关于边缘弱化部13和边缘弱化部14,如在图6中通过示例所示,独立于其设计的具体类型(孔或多个孔、倾斜的进程或阶梯状的进程),相应的边缘弱化部13、边缘弱化部14和边缘弱化部17可分别是相应的较大的边缘主弱化部30和31的一体部分,该较大的边缘主弱化部30和31在相应的金属层区域的中心区域的方向上延伸超过相应的边缘区域11、边缘区域12和边缘区域16。在这种情况下,第一边缘弱化部13、第二边缘弱化部14和第三边缘弱化部17分别终止于分别相关联的边缘区域11、边缘区域12和边缘区域16的边界处。

如在图3至图6中通过示例所示,基底1优选地包括另外金属层区域18,所述另外金属层区域18具有角部19,所述另外金属层区域被布置在陶瓷板2的第二主表面2b上,其中,陶瓷板2的第二主表面2b与陶瓷板2的第一主表面2a相反布置。所述另外金属层区域18在材料上结合到陶瓷板2的第二主表面2b。所述另外金属层区域18具有第一角部19,该第一角部19将所述另外金属层区域18的直的第一金属层区域边缘部分连接至所述另外金属层区域18的直的第二金属层区域边缘部分,所述第二金属层区域边缘部分与所述第一金属层区域边缘部分垂直地延伸,其中,所述另外金属层区域18的第一角部19具有角部半径R,角部半径R是50μm至180μm,具体是100μm至160μm,具体是150μm。

优选地,另外金属层区域18的所有角部19均具有角部半径R,角部半径R是50μm至180μm,具体是100μm至160μm,具体是150μm。所述另外金属层区域18的相应的角部19以角部半径R围绕相应的角部半径起点M延伸超过90°的角度。所述另外金属层区域18的厚度dc优选地是100μm至800μm,具体是200μm至400μm,具体是300μm。

所述另外金属层区域18优选地具有另外边缘弱化部20。所述另外边缘弱化部20优选地以分别与第一边缘弱化部11和第二边缘弱化部12类似的方式来设计(包括有利的实施例)。上文关于第一边缘弱化部11和第二边缘弱化部12以及第一边缘区域13和第二边缘区域14分别描述的特征分别也同样适用于所述另外金属层区域18的另外边缘弱化部20和第一边缘区域和第二边缘区域。

应注意的是,应将相应的金属层区域5、金属层区域9、金属层区域10和金属层区域18的厚度理解为意指相应的金属层区域5、金属层区域9、金属层区域10和金属层区域18在相应的金属层区域5、金属层区域9、金属层区域10和金属层区域18没有材料弱化部的该区域中的均匀厚度。布置在陶瓷板2的第一主表面2a上的第一金属层区域5和第二金属层区域9以及如果存在的第三金属层区域10优选具有相同厚度。

相应的金属层区域5、金属层区域9、金属层区域10和金属层区域18可由单个金属层构成,或包括一个在另一个之上地布置的多个金属层。相应的金属层区域5、金属层区域9、金属层区域10和金属层区域18优选地至少大致由铜构成。

此外,应注意的是,第一金属层区域5的第一角部6的角部半径R与第二金属层区域9的第一角部7的角部半径R优选地相同。此外,第三金属层区域18的第一角部19的角部半径R优选地与第一金属层区域5的第一角部6的角部半径R和第二金属层区域9的第一角部7的角部半径R相同。

当然,在这里应指出,本发明的不同示例性实施例的特征可彼此任意组合,只要这些特征相互不排斥。

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