一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法与流程

文档序号:24889527发布日期:2021-04-30 13:14阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置,其特征在于,所述基于向量乱流法的化学蚀刻装置包括:蚀刻液喷嘴、喷管、导流板及目标线路板;所述蚀刻液喷嘴安装于所述喷管下方,所述导流板安装于蚀刻机上方,所述目标线路板通过向量蚀刻区时是由上下传动轴控制其前进速度,其中所述蚀刻液喷嘴用于固定释放预设流量和预设粒径的蚀刻液。

2.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置,其特征在于所述导流板包括导流板第一部分、导流板第二部分、导流板第三部分及导流板第四部分;其中:

所述导流板第一部分,用于包裹所述喷管的上半部分;

所述导流板第二部分a区,是以45度连接所述导流板第一部分及所述导流板第三部分,并控制蚀刻液产生方向性乱流,和移动中目标线路板成45度向量,所述45度向量可分析成水平和向下两个分向量,水平分向量将使蚀刻液向前流动,向下分向量则对乱流施以向下的压力,有助于乱流进入微孔和细线路;

所述导流板第三部分b区与所述目标线路板平行1.5~2公分距离,因容积减小,蚀刻液流速因而增加并产生乱流;

所述导流板第四部分即钛墙与所述导流板第三部分垂直接合c/d/e区,蚀刻液的上半部分在此受到阻挡产生空泡和乱流,并以预设的角度向一侧排放,所述角度决定于喷嘴与喷管设置的角度,实例中为25度;蚀刻液的下半部分通过钛墙下方的空栅d区进入e区,通过旋转中传动轴底部时受到强大的压力,促使乱流进入微孔和细线路进行蚀刻。

3.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置,其特征在于,目标线路板面上左右都有一个传动轴,目标线路板下面则有2-4个传动轴以承载行进中目标线路板的重量和蚀刻液压力,实例中使用三个轴;上面两个轴除了辅助传动和稳定前进中的目标线路板外,它重要的功能是产生乱流和增加下压向量。

4.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置,其特征在于,所述蚀刻液喷嘴,用于喷出扇形蚀刻液,并控制蚀刻液以预设角度冲击目标线路板;每一支喷嘴覆盖的扇形范围决定于喷嘴至目标线路板之间距离,喷液宽度1-5公分,和扇形角度90-110度,每一个1.25米×1.25米蚀刻机可安置2-3个向量蚀刻单元。

5.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置,其特征在于,以所述喷管为中线,导流板分左右两个对称的蚀刻区,每个区的导流板分第一至第四部分。

6.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置,其特征在于,所述喷嘴为扇形喷嘴,以所述扇形喷嘴的中心为基点,扇形喷液分左右两个半扇形,实例扇形喷液的全幅度为110度,由左右两个55度半扇形组成;左半扇形喷液流向左侧蚀刻区导流板,并以喷嘴预设角度前进,右半扇形喷液则以反方向流向右侧蚀刻区导流板,并以喷嘴预设角度前进。

7.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置,其特征在于,未被携带至轴底部的蚀刻液因流动被传动轴阻挡而产生乱流,并向一侧以预设角度流动,所述预设角度即扇形喷嘴在喷管上设定之角度10-45度,实例为25度。

8.如权利要求1所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置,其特征在于,所述喷嘴为扇形喷嘴,所述扇形喷嘴有两个预设角度:第一个是90-110垂直角度,喷嘴由上向下行进中的线路板喷液,实例为110度;第二个是10-45水平角度,即喷嘴和喷管间的交角,实例为25度,喷液冲击行进中的目标线路板后,变成水平方向并以和传动轴25度交角前进。

9.一种蚀刻机,所述蚀刻机包括根据权利要求1至8中任一项所述的基于向量乱流法的化学蚀刻装置。


技术总结
本发明涉及一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法,本发明通过增加导流板,控制蚀刻液在蚀刻区产生方向性向量乱流,包括涡流、空泡、动能层流和动能微流体;乱流最大的特性是具有流体扩散性和能量传导,在向量压力下可以深入微孔及细线路,解决现有技术中由于蚀刻深沟效应而无法蚀刻微孔和细线路中金属的问题,大幅度提升了蚀刻精度;本发明同时解决了水池效应和大面积线路板蚀刻不均的问题,因此增加良品率,降低了生产成本。

技术研发人员:凤培国
受保护的技术使用者:武汉宏乔科技有限公司
技术研发日:2021.04.01
技术公布日:2021.04.30
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