技术特征：
1.一种感应线圈组件驱动系统，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：旋转驱动器(110)；升降组件(130)，所述旋转驱动器(110)与所述升降组件(130)驱动连接，所述升降组件(130)用于与感应线圈组件传动连接，以驱动所述感应线圈组件升降；以及，控制器(150)，用于基于在预设时长内，所述感应线圈组件的目标升降速度，确定所述旋转驱动器(110)的理论转速，其中，所述理论转速为所述旋转驱动器(110)在所述预设时长内匀速运行的转速；确定所述旋转驱动器(110)的所述理论转速是否小于或等于预设转速，其中，所述预设转速为所述旋转驱动器(110)产生振动的临界转速；在所述旋转驱动器(110)的所述理论转速小于或等于所述预设转速的情况下，控制所述旋转驱动器(110)在所述预设时长内，交替停止运行和以目标转速运行，以使所述旋转驱动器(110)在所述预设时长内的平均转速等于所述理论转速，其中，所述目标转速大于所述预设转速。2.根据权利要求1所述的感应线圈组件驱动系统，其特征在于，在所述旋转驱动器(110)的所述理论转速小于或等于所述预设转速的情况下，在所述预设时长内，所述旋转驱动器(110)切换至停止运行的状态的次数为多次，所述旋转驱动器(110)每次在所述停止运行的状态保持第一时长；所述旋转驱动器(110)切换至以目标转速运行的状态的次数与所述旋转驱动器(110)切换至停止运行的状态的次数相等，所述旋转驱动器(110)每次在所述以目标转速运行的状态保持第二时长；所述旋转驱动器(110)处于所述停止运行的状态的累计时长与处于所述以目标转速运行的状态的累计时长之和等于所述预设时长。3.根据权利要求1所述的感应线圈组件驱动系统，其特征在于，所述控制器(150)还用于在所述理论转速大于所述预设转速的情况下，控制所述旋转驱动器(110)在所述预设时长内，以所述理论转速运行，以驱动所述感应线圈组件升降。4.根据权利要求1所述的感应线圈组件驱动系统，其特征在于，所述升降组件(130)包括螺杆(131)和滑块(132)，所述滑块(132)与所述螺杆(131)螺纹连接，以利用转动的螺杆(131)驱动所述滑块(132)移动；所述旋转驱动器(110)与所述螺杆(131)驱动连接，所述旋转驱动器(110)用于驱动所述螺杆(131)转动；所述滑块(132)用于与所述感应线圈组件连接。5.根据权利要求4所述的感应线圈组件驱动系统，其特征在于，所述感应线圈组件驱动系统还包括：旋转编码器(160)，所述旋转编码器(160)与所述螺杆(131)连接，所述旋转编码器(160)还与所述控制器(150)电连接。6.根据权利要求4所述的感应线圈组件驱动系统，其特征在于，所述感应线圈组件驱动系统还包括减速器(120)，所述旋转驱动器(110)通过所述减速器(120)与所述螺杆(131)驱动连接。7.根据权利要求6所述的感应线圈组件驱动系统，其特征在于，所述减速器(120)包括第一子减速器(121)和第二子减速器(122)，其中，所述第二子减速器(122)为换向减速器，所述第二子减速器(122)设置有第二动力输出轴；
所述旋转驱动器(110)与所述第一子减速器(121)驱动连接，所述第一子减速器(121)与所述第二子减速器(122)驱动连接，所述第二动力输出轴沿所述感应线圈组件驱动系统的高度方向设置，所述螺杆(131)与所述第二动力输出轴同轴连接。8.根据权利要求7所述的感应线圈组件驱动系统，其特征在于，所述第一子减速器(121)设置有第一动力输出轴，所述感应线圈组件驱动系统还包括电磁抱闸器(140)，所述电磁抱闸器(140)包括磁性固定部件(141)和磁吸部件(142)，所述磁吸部件(142)与所述第一动力输出轴周向限位连接；在所述电磁抱闸器(140)处于断电状态的情况下，所述磁吸部件(142)与所述磁性固定部件(141)由分离状态切换至吸合状态。9.一种感应线圈组件驱动系统的控制方法，其特征在于，所述感应线圈组件驱动系统为权利要求1至8中任意一项所述的感应线圈组件驱动系统；所述感应线圈组件驱动系统的控制方法包括：利用所述控制器(150)基于在预设时长内，所述感应线圈组件的目标升降速度，确定所述旋转驱动器(110)的理论转速，其中，所述理论转速为所述旋转驱动器(110)在所述预设时长内匀速运行的转速；利用所述控制器(150)确定所述旋转驱动器(110)的所述理论转速是否小于或等于预设转速，其中，所述预设转速为所述旋转驱动器(110)产生振动的临界转速；在所述旋转驱动器(110)的所述理论转速小于或等于所述预设转速的情况下，利用所述控制器(150)控制所述旋转驱动器(110)在所述预设时长内，交替停止运行和以目标转速运行，以使所述旋转驱动器(110)在所述预设时长内的平均转速等于所述理论转速，其中，所述目标转速大于所述预设转速。10.根据权利要求9所述的感应线圈组件驱动系统的控制方法，其特征在于，所述感应线圈组件驱动系统的控制方法还包括：在所述理论转速大于所述预设转速的情况下，利用所述控制器(150)控制所述旋转驱动器(110)在所述预设时长内，以所述理论转速运行，以驱动所述感应线圈组件升降。
技术总结
本申请实施例提供了一种感应线圈组件驱动系统及其控制方法，其中，所述感应线圈组件驱动系统包括：旋转驱动器；升降组件，旋转驱动器通过升降组件与感应线圈组件驱动连接，以驱动感应线圈组件升降；控制器，用于基于在预设时长内，感应线圈组件的目标升降速度，确定旋转驱动器的理论转速，理论转速为旋转驱动器在预设时长内匀速运行的转速；确定旋转驱动器的理论转速是否小于或等于预设转速，预设转速为旋转驱动器产生振动的临界转速；在旋转驱动器的理论转速小于或等于预设转速的情况下，控制旋转驱动器在预设时长内，交替停止运行和以目标转速运行，以使旋转驱动器在预设时长内的平均转速等于理论转速，目标转速大于预设转速。目标转速大于预设转速。目标转速大于预设转速。
技术研发人员：王建
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2022.11.30
技术公布日：2023/3/3