13.56MHz产生电感耦合等离子体的制作方法

13.56mhz产生电感耦合等离子体
技术领域
1.本实用新型涉及检测技术领域，尤其涉及13.56mhz产生电感耦合等离子体。


背景技术：

2.随着检测行业发展,icp(电感耦合等离子体)已经应用到很多检测行业中，市场上大部分的icp频率大都是27.12mhz，但是随着频率的升高会导致等离子体功率吸收的增强，从而会导致离子密度增大和电子温度下降，在某些特殊领域无法适用。
3.而目前的13.56mhz的射频电源在icp的生产和实验中存在以下技术难题：
4.(1)使用标准的icp电感线圈和石英矩管无法产生稳定的等离子体；
5.(2)随着射频功率的增加，负载线圈的匝间很容易产生放电拉弧，匹配器内部也会因为高压而产生对空气放电的现象；
6.(3)功率的增加会导致石英矩管发热严重，甚至会损坏石英矩管。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的13.56mhz产生电感耦合等离子体。
8.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
9.13.56mhz产生电感耦合等离子体，包括负载线圈、匹配器，所述负载线圈位于所述匹配器的内部，其中，所述匹配器的射频信号输入接口rf in连接有电容c1，所述电容c1的一端与接地端gnd连接，所述电容c1的另一端连接有电容c2，所述电容c2的一端连接在所述匹配器的射频信号输出端口rf out上。
10.作为优选，所述电容c1、电容c2均为可调电容。
11.作为优选，所述负载线圈的两端均连接有连接杆，所述连接杆的端部固定连接在所述匹配器的内壁上。
12.作为优选，所述负载线圈的匝数为15圈。
13.本实用新型的有益效果是：通过增加负载线圈的匝数，去除匹配器内部的电感，从而减少了匹配器在使用时的损耗，增加了匹配器输出时的射频电流，使其在负载端产生稳定的等离子体焰矩，从而经过重新设计的负载线圈与匹配器，从而满足了辉光要求，通过调整可调电容c1与电容c2容量的大小，达到了匹配电感线圈的效果，从而可以实现电路的共振。
附图说明
14.图1为本实用新型提出的13.56mhz产生电感耦合等离子体的负载线圈与连接杆连接结构示意图；
15.图2为本实用新型提出的13.56mhz产生电感耦合等离子体的负载线圈结构示意图；
16.图3为本实用新型提出的13.56mhz产生电感耦合等离子体的匹配器内部原理示意图。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
18.本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
19.本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
20.实施例一：参照图1-3，13.56mhz产生电感耦合等离子体，包括负载线圈、匹配器，负载线圈位于匹配器的内部，其中，匹配器的射频信号输入接口rf in连接有电容c1，电容c1的一端与接地端gnd连接，电容c1的另一端连接有电容c2，电容c2的一端连接在匹配器的射频信号输出端口rf out上，电容c1、电容c2均为可调电容，负载线圈的两端均连接有连接杆，连接杆的端部固定连接在匹配器的内壁上，负载线圈的匝数为15圈。
21.本实施方案中，通过增加了负载线圈的匝数，去除匹配器内部的电感，从而减少了匹配器在使用时的损耗，增加了匹配器输出时的射频电流，使其在负载端产生稳定的等离子体焰矩，从而经过重新设计的负载线圈与匹配器，从而满足了辉光要求，通过可调电容c1、c2，可以调整电容c1与电容c2容量的大小，通过改变其容量的大小，达到了匹配电感线圈的效果，从而可以实现电路的共振。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
24.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.13.56mhz产生电感耦合等离子体，包括负载线圈、匹配器，其特征在于，所述负载线圈位于所述匹配器的内部，其中，所述匹配器的射频信号输入接口rf in连接有电容c1，所述电容c1的一端与接地端gnd连接，所述电容c1的另一端连接有电容c2，所述电容c2的一端连接在所述匹配器的射频信号输出端口rf out上。2.根据权利要求1所述的13.56mhz产生电感耦合等离子体，其特征在于，所述电容c1、电容c2均为可调电容。3.根据权利要求1所述的13.56mhz产生电感耦合等离子体，其特征在于，所述负载线圈的两端均连接有连接杆，所述连接杆的端部固定连接在所述匹配器的内壁上。4.根据权利要求1所述的13.56mhz产生电感耦合等离子体，其特征在于，所述负载线圈的匝数为15圈。

技术总结
本实用新型涉及检测技术领域，尤其涉及13.56MHz产生电感耦合等离子体，包括负载线圈、匹配器，所述负载线圈位于所述匹配器的内部，其中，所述匹配器的射频信号输入接口RF IN连接有电容C1，所述电容C1的一端与接地端GND连接，所述电容C1的另一端连接有电容C2，所述电容C2的一端连接在所述匹配器的射频信号输出端口RF OUT上。通过增加负载线圈的匝数，去除匹配器内部的电感，从而减少了匹配器在使用时的损耗，增加了匹配器输出时的射频电流，使其在负载端产生稳定的等离子体焰矩，从而经过重新设计的负载线圈与匹配器，从而满足了辉光要求，通过调整可调电容C1与电容C2容量的大小，达到了匹配电感线圈的效果，从而可以实现电路的共振。电路的共振。电路的共振。


技术研发人员：陈敏 项亮
受保护的技术使用者：常州瑞思杰尔电子科技有限公司
技术研发日：2022.10.08
技术公布日：2023/3/30