一种滤波器、滤波器的制造工艺及电子设备的制作方法

文档序号:37365674发布日期:2024-03-22 10:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种滤波器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的滤波器,其特征在于,所述第一导电片组包括多个第一导电片,所述第二导电片组包括多个第二导电片;每个所述第一导电片均与一个所述第二导电片电连接。

3.根据权利要求2所述的滤波器,其特征在于,所述压电衬底上设置有通孔,所述通孔的数量与所述第一导电片的数量相同,所述通孔的两端分别设置有所述第一导电片和所述第二导电片,所述第一导电片和所述第二导电片通过所述通孔中的导电体电连接。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的滤波器,其特征在于,所述压电衬底包括依次层叠设置的第一压电层、钝化层和第二压电层,所述第一压电层的声阻抗与所述钝化层的声阻抗不同,所述第二压电层的声阻抗与所述钝化层的声阻抗不同;

5.根据权利要求4所述的滤波器,其特征在于,所述钝化层的声阻抗低于所述第一压电层的声阻抗,所述第一压电衬底的温漂系数小于所述第一压电层的温漂系数;

6.根据权利要求1至3任意一项所述的滤波器,其特征在于,所述压电衬底包括依次层叠设置的第一压电层、第一钝化层、基底层、第二钝化层和第二压电层,相邻两层之间的声阻抗不同;

7.根据权利要求6所述的滤波器,其特征在于,所述第一钝化层的声阻抗低于所述第一压电层的声阻抗,所述基底层的声阻抗高于所述第一钝化层的声阻抗;

8.根据权利要求4至7任意一项所述的滤波器,其特征在于,所述第一压电层和所述第二压电层的材料为钽酸锂或者铌酸锂。

9.根据权利要求6或7所述的滤波器,其特征在于,所述第一钝化层和所述第二钝化层的材料为二氧化硅。

10.根据权利要求6或7所述的滤波器,其特征在于,所述基底层的材料为硅、三氧化二铝或者碳化硅中的一种。

11.一种滤波器的制造工艺,其特征在于,所述滤波器包括基底层,所述制造工艺包括:

12.根据权利要求11所述的制造工艺,其特征在于,在所述基底层上生成压电衬底,包括:

13.根据权利要求11或12所述的制造工艺,其特征在于,在所述压电衬底上开设通孔,包括:

14.根据权利要求11或12所述的制造工艺,其特征在于,在所述第二压电层上设置有掩膜层,所述掩膜层上设置有开口,所述开口的大小与所述通孔的大小相同;

15.根据权利要求11至14任意一项所述的制造工艺,其特征在于,在所述通孔内设置导电体,包括:

16.一种滤波器的制造工艺,其特征在于,所述滤波器包括第一压电衬底,所述第一压电衬底包括依次设置的第一压电层、第一钝化层和基底层,所述制造工艺包括:

17.一种电子设备,其特征在于,包括一个或者多个射频模组,以及权利要求1至10任意一项所述的滤波器,所述滤波器设置于所述射频模组中。


技术总结
本申请公开一种滤波器、滤波器的制造工艺及电子设备,涉及集成电路技术领域。该滤波器,包括具有相对的第一表面和第二表面的压电衬底,压电衬底包括依次层叠设置的压电层、二氧化硅层、基底层、二氧化硅层和压电层。第一表面上设置有第一叉指电极和第一导电片组,第二表面上设置有第二叉指电极和第二导电片组,第一导电片组与第二导电片组电连接。第一表面上还设置有第一盖体,第一盖体和压电衬底之间形成第一空腔,第一电极和第一导电片组位于第一空腔内。第二表面上还设置有第二盖体,第二盖体和压电衬底之间形成第二空腔,第二电极和第二导电片组位于第二空腔内。

技术研发人员:刘大力,陈胤伯,孙江涛
受保护的技术使用者:荣耀终端有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/21
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