1.一种滤波器,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的滤波器,其特征在于,所述第一导电片组包括多个第一导电片,所述第二导电片组包括多个第二导电片;每个所述第一导电片均与一个所述第二导电片电连接。
3.根据权利要求2所述的滤波器,其特征在于,所述压电衬底上设置有通孔,所述通孔的数量与所述第一导电片的数量相同,所述通孔的两端分别设置有所述第一导电片和所述第二导电片,所述第一导电片和所述第二导电片通过所述通孔中的导电体电连接。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的滤波器,其特征在于,所述压电衬底包括依次层叠设置的第一压电层、钝化层和第二压电层,所述第一压电层的声阻抗与所述钝化层的声阻抗不同,所述第二压电层的声阻抗与所述钝化层的声阻抗不同;
5.根据权利要求4所述的滤波器,其特征在于,所述钝化层的声阻抗低于所述第一压电层的声阻抗,所述第一压电衬底的温漂系数小于所述第一压电层的温漂系数;
6.根据权利要求1至3任意一项所述的滤波器,其特征在于,所述压电衬底包括依次层叠设置的第一压电层、第一钝化层、基底层、第二钝化层和第二压电层,相邻两层之间的声阻抗不同;
7.根据权利要求6所述的滤波器,其特征在于,所述第一钝化层的声阻抗低于所述第一压电层的声阻抗,所述基底层的声阻抗高于所述第一钝化层的声阻抗;
8.根据权利要求4至7任意一项所述的滤波器,其特征在于,所述第一压电层和所述第二压电层的材料为钽酸锂或者铌酸锂。
9.根据权利要求6或7所述的滤波器,其特征在于,所述第一钝化层和所述第二钝化层的材料为二氧化硅。
10.根据权利要求6或7所述的滤波器,其特征在于,所述基底层的材料为硅、三氧化二铝或者碳化硅中的一种。
11.一种滤波器的制造工艺,其特征在于,所述滤波器包括基底层,所述制造工艺包括:
12.根据权利要求11所述的制造工艺,其特征在于,在所述基底层上生成压电衬底,包括:
13.根据权利要求11或12所述的制造工艺,其特征在于,在所述压电衬底上开设通孔,包括:
14.根据权利要求11或12所述的制造工艺,其特征在于,在所述第二压电层上设置有掩膜层,所述掩膜层上设置有开口,所述开口的大小与所述通孔的大小相同;
15.根据权利要求11至14任意一项所述的制造工艺,其特征在于,在所述通孔内设置导电体,包括:
16.一种滤波器的制造工艺,其特征在于,所述滤波器包括第一压电衬底,所述第一压电衬底包括依次设置的第一压电层、第一钝化层和基底层,所述制造工艺包括:
17.一种电子设备,其特征在于,包括一个或者多个射频模组,以及权利要求1至10任意一项所述的滤波器,所述滤波器设置于所述射频模组中。