显示面板制造方法和设备与流程

本公开涉及显示面板制造方法和设备，并且更具体地涉及包括激光图案化工艺的显示面板制造方法和包括激光模块的显示面板制造设备。

背景技术：

1、显示装置包括多个像素以及用于控制多个像素的驱动电路(例如，扫描驱动电路或数据驱动电路)。多个像素中的每个包括显示元件以及被配置成控制显示元件的像素驱动电路。像素驱动电路可以包括在组织上彼此连接的多个晶体管。

2、像素驱动电路可以通过多个沉积工艺和多个光刻工艺来提供。

技术实现思路

1、本公开提供了可以校正光刻工艺中的误差的显示面板制造方法。

2、本公开还提供了用于显示面板制造方法的显示面板制造设备。

3、本发明构思的实施方式提供了显示面板制造方法，包括：检测底层的加工目标区域；移除布置在底层上的顶层的与加工目标区域重叠的区域；移除布置在底层上的绝缘层的与加工目标区域重叠的区域；向底层的加工目标区域发射激光束，以从加工目标区域形成底部图案；在绝缘层的移除区域中形成绝缘图案；以及在顶层的移除区域中形成补偿图案，其中底层包括半导体材料或导电材料，并且顶层包括导电材料。

4、在实施方式中，底层可以包括半导体材料，底部图案可以包括晶体管的沟道区域，并且补偿图案可以包括晶体管的控制电极。

5、在实施方式中，底部图案可以在平面视图中具有弯曲形状。

6、在实施方式中，绝缘图案可以具有与绝缘层的厚度实质相同的厚度。

7、在实施方式中，绝缘图案可以包括与绝缘层的材料实质相同的材料。

8、在实施方式中，补偿图案可以包括具有比顶层的电导率高的电导率的材料。

9、在实施方式中，补偿图案可以构成扫描线的一部分。

10、在实施方式中，扫描线的线宽可以为大约3μm或更小。

11、在实施方式中，绝缘图案的形成可以包括：向绝缘层的移除区域提供绝缘墨水(ink)；以及固化绝缘墨水。

12、在实施方式中，绝缘墨水可以从电流体动力学(ehd)绝缘墨水喷嘴被提供。

13、在实施方式中，ehd绝缘墨水喷嘴可以与绝缘层间隔开大约5μm或更大。

14、在实施方式中，绝缘墨水可以包括氧化硅、氮化硅或氧氮化硅。

15、在实施方式中，补偿图案的形成可以包括：向顶层的移除区域提供金属墨水；以及固化金属墨水。

16、在实施方式中，金属墨水可以从ehd金属墨水喷嘴来提供。

17、在实施方式中，ehd金属墨水喷嘴可以与顶层间隔开大约5μm或更大。

18、在实施方式中，金属墨水可以包括银。

19、在本发明构思的实施方式中，显示面板制造设备包括：主体部分；结合到主体部分的相机模块；结合到主体部分的激光模块；结合到主体部分的固化模块；被配置成提供绝缘墨水的ehd绝缘墨水喷嘴；以及被配置成提供金属墨水的ehd金属墨水喷嘴，其中ehd绝缘墨水喷嘴结合到主体部分，以便相对于工作衬底以大约30°至大约60°的角度倾斜，并且其中ehd金属墨水喷嘴结合到主体部分，以便相对于工作衬底以大约30°至大约60°的角度倾斜。

20、在实施方式中，相对于工作衬底，ehd绝缘墨水喷嘴的斜率可以与ehd金属墨水喷嘴的斜率实质相同。

21、在实施方式中，当在工作衬底上观察时，固化模块可以被布置在ehd绝缘墨水喷嘴与ehd金属墨水喷嘴之间。

22、在实施方式中，显示面板制造设备还可以包括：在第一方向上可移动的台架(gantry)，其中主体部分结合到台架，以便在与第一方向正交的第二方向上可移动。

技术特征：

1.一种显示面板制造方法，包括：

2.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，

3.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其中，所述底部图案在平面视图中具有弯曲形状。

4.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其中，所述绝缘图案具有与所述绝缘层的厚度相同的厚度。

5.根据权利要求4所述的显示面板制造方法，其中，所述绝缘图案包括与所述绝缘层的材料相同的材料。

6.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其中，所述补偿图案包括具有比所述顶层的电导率高的电导率的材料。

7.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其中，所述补偿图案构成扫描线的一部分。

8.根据权利要求7所述的显示面板制造方法，其中，所述扫描线的线宽为3μm或更小。

9.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其中，所述绝缘图案的所述形成包括：

10.根据权利要求9所述的显示面板制造方法，其中，所述绝缘墨水从电流体动力学绝缘墨水喷嘴来提供。

11.根据权利要求10所述的显示面板制造方法，其中，所述电流体动力学绝缘墨水喷嘴与所述绝缘层间隔开5μm或更大。

12.根据权利要求9所述的显示面板制造方法，其中，所述绝缘墨水包括氧化硅、氮化硅或氧氮化硅。

13.根据权利要求1所述的显示面板制造方法，其中，所述补偿图案的所述形成包括：

14.根据权利要求13所述的显示面板制造方法，其中，所述金属墨水从电流体动力学金属墨水喷嘴来提供。

15.根据权利要求14所述的显示面板制造方法，其中，所述电流体动力学金属墨水喷嘴与所述顶层间隔开5μm或更大。

16.根据权利要求13所述的显示面板制造方法，其中，所述金属墨水包括银。

17.一种显示面板制造设备，包括：

18.根据权利要求17所述的显示面板制造设备，其中，相对于所述工作衬底，所述电流体动力学绝缘墨水喷嘴的斜率与所述电流体动力学金属墨水喷嘴的斜率相同。

19.根据权利要求17所述的显示面板制造设备，其中，当在所述工作衬底上观察时，所述固化模块被布置在所述电流体动力学绝缘墨水喷嘴与所述电流体动力学金属墨水喷嘴之间。

20.根据权利要求17所述的显示面板制造设备，还包括：

技术总结
提供了显示面板制造方法和设备。显示面板制造方法包括：检测底层的加工目标区域，移除顶层的与加工目标区域重叠的区域，向底层的加工目标区域发射激光束以从加工目标区域提供底部图案，以及在顶层的移除区域中提供补偿图案。

技术研发人员：金性俊,权愚赫,都在冕,薛捧浩,李乘老,金谦旭,金英培,尹永俊,李京哲,许景锡,黄建雅,黄敏皓
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17