显示装置的制作方法

本公开涉及一种显示装置。

背景技术：

1、随着信息技术的发展，对显示图像的显示装置的需求已经多样化。例如，显示装置已被应用于各种电子装置，诸如智能手机、数码相机、笔记本计算机、导航系统和/或智能电视。这里，显示装置可以是平板显示装置，诸如液晶显示装置、场致发射显示(fed)装置和/或有机发光显示装置。在这种平板显示装置当中，发光显示装置包括能够通过显示装置的像素发射光的发光元件，因此能够显示图像而不需要用于向显示面板提供光的背光单元。

技术实现思路

1、本公开的各方面涉及一种能够防止或减少可能由在制造工艺期间执行的激光固化工艺中的布线损失引起的电缺陷的显示装置。

2、然而，本公开的各方面不限于本文阐述的那些。通过参考下面给出的本公开的详细描述，本公开的上述和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加明显。

3、根据本公开的实施方式，一种显示装置包括：衬底，包括显示区域和在显示区域的一侧上的焊盘区域；多个导电层，在衬底上并且位于显示区域和焊盘区域中；在多个导电层上的钝化层；以及在钝化层上并且位于显示区域中的多个发光元件，多个发光元件彼此间隔开，其中多个导电层中的至少一个导电层包括第一金属层、在第一金属层上的第二金属层以及在第二金属层上的第三金属层，第一金属层包括钒(v)，第二金属层包括铝(al)或铝合金，并且第三金属层包括v或钛(ti)。

4、第二金属层的厚度可以大于第一金属层的厚度和第三金属层的厚度，并且第一金属层的厚度可以大于第三金属层的厚度。

5、第一金属层的厚度可以为从至第二金属层的厚度的一半。

6、第二金属层的厚度可以为至并且第一金属层的厚度可以为至

7、第三金属层的厚度可以是第二金属层的厚度的1/10。

8、第二金属层的厚度可以为至并且第三金属层的厚度可以为至

9、第二金属层的厚度可以为至第三金属层可以包括ti，并且第三金属层的厚度可以为至

10、多个导电层中的至少一个导电层可以包括由于从至少一个导电层去除第二金属层的部分而在第一金属层和第三金属层之间产生的空隙。

11、空隙的宽度可以为5.0μm至20.0μm。

12、第二金属层可以包括铝(al)-镍(ni)-镧(la)合金，并且al-ni-la合金可以具有基于al-ni-la合金的总原子组成的0.1at％或更小的总ni-la含量。

13、显示装置还可以包括：在衬底上的第一导电层；在第一导电层上的缓冲层；在缓冲层上的半导体层；在半导体层上的栅极绝缘层；在栅极绝缘层上的第二导电层；在第二导电层上的层间绝缘层；以及在层间绝缘层和钝化层之间的第三导电层，其中第一导电层可以包括第一金属层、第二金属层和第三金属层。

14、第二导电层可以包括第一金属层、第二金属层和第三金属层。

15、第三导电层可以包括：包括ti的基础层、在基础层上并且包括al或al合金的中间层以及在中间层上并且包括ti的上层。

16、显示装置还可以包括：在焊盘区域中并且与第一导电层位于相同的层的第一焊盘导线，以及在第一焊盘导线上并且与第二导电层位于相同的层的第二焊盘导线。

17、第一焊盘导线和第二焊盘导线中的至少一个可以包括第一金属层、第二金属层和第三金属层。

18、根据本公开的实施方式，一种显示装置包括：衬底，包括显示区域和在显示区域的一侧上的焊盘区域；第一导电层，在衬底上并且包括在显示区域中的下金属层和在焊盘区域中的第一焊盘导线；在第一导电层上的缓冲层；半导体层，在缓冲层上并且与显示区域中的下金属层重叠；在半导体层和缓冲层上的栅极绝缘层；第二导电层，在栅极绝缘层上并且包括：与半导体层重叠并且在显示区域中的栅电极，以及与第一焊盘导线重叠并且在焊盘区域中的第二焊盘导线；在第二导电层上的第一层间绝缘层；第三导电层，在第一层间绝缘层上并且包括与栅电极重叠并且在显示区域中的电容器电极；在第三导电层上的第二层间绝缘层；第四导电层，在第二层间绝缘层上并且包括连接至半导体层和下金属层并且在显示区域中的第一连接电极；在第四导电层上的钝化层；以及在钝化层上并且彼此间隔开的多个发光元件，其中第一导电层包括：包括钒(v)的第一金属层、在第一金属层上并且包括铝(al)或铝合金的第二金属层以及在第二金属层上并且包括v或钛(ti)的第三金属层。

19、第二金属层的厚度可以大于第一金属层的厚度和第三金属层的厚度，并且第一金属层的厚度可以大于第三金属层的厚度。

20、第一金属层的厚度可以为从至第二金属层的厚度的一半，并且第三金属层的厚度可以为第二金属层的厚度的1/10。

21、第二导电层和第三导电层中的至少一个可以包括第一金属层、第二金属层和第三金属层。

22、第四导电层可以包括：包括ti的基础层、在基础层上并且包括al或al合金的中间层以及在中间层上并且包括ti的上层。

23、根据本公开的上述及其他实施方式，多个导电层中的至少一个或更多个具有其中堆叠有多个金属层的结构，并且多个金属层包括主金属层和基础金属层，在主金属层损失的情况下可以形成电气绕行路径(detour path)。由于基础金属层包括钒(v)，其具有低的或合适的电阻并且不太可能扩散到主金属层中，因此即使在暴露于来自激光固化工艺的高温环境时，也能够最小化或减少导电层中布线缺陷的发生。

24、应注意，本公开的效果不限于上面描述的那些，并且本公开的其他效果将从以下描述中变得明显。

技术特征：

1.一种显示装置，包括：

2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，

3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述第一金属层的所述厚度为从至所述第二金属层的所述厚度的一半。

4.根据权利要求2所述的显示装置，其中，

5.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述第三金属层的所述厚度是所述第二金属层的所述厚度的1/10。

6.根据权利要求2所述的显示装置，其中，

7.根据权利要求2所述的显示装置，其中，

8.根据权利要求1所述的显示装置，其中，

9.根据权利要求8所述的显示装置，其中，所述空隙的宽度为5.0μm至20.0μm。

10.根据权利要求1所述的显示装置，其中，

11.根据权利要求1所述的显示装置，还包括：

12.根据权利要求11所述的显示装置，其中，所述第二导电层包括所述第一金属层、所述第二金属层和所述第三金属层。

13.根据权利要求11所述的显示装置，其中，所述第三导电层包括：包括钛的基础层、在所述基础层上并且包括铝或铝合金的中间层以及在所述中间层上并且包括钛的上层。

14.根据权利要求11所述的显示装置，还包括：

15.根据权利要求14所述的显示装置，其中，所述第一焊盘导线和所述第二焊盘导线中的至少一个包括所述第一金属层、所述第二金属层和所述第三金属层。

16.一种显示装置，包括：

17.根据权利要求16所述的显示装置，其中，

18.根据权利要求17所述的显示装置，其中，

19.根据权利要求16所述的显示装置，其中，所述第二导电层和所述第三导电层中的至少一个包括所述第一金属层、所述第二金属层和所述第三金属层。

20.根据权利要求16所述的显示装置，其中，所述第四导电层包括：包括钛的基础层、在所述基础层上并且包括铝或铝合金的中间层以及在所述中间层上并且包括钛的上层。

技术总结
提供了一种显示装置。该显示装置包括：衬底，包括显示区域和设置在显示区域的一侧上的焊盘区域；多个导电层，在显示区域和焊盘区域中设置在衬底上；钝化层，设置在多个导电层上；以及多个发光元件，设置在显示区域中的钝化层上并且彼此间隔开，其中多个导电层中的至少一个包括第一金属层、设置在第一金属层上的第二金属层、以及设置在第二金属层上的第三金属层，第一金属层包括钒(V)，第二金属层包括铝(Al)或铝合金，并且第三金属层包括V或钛(Ti)。

技术研发人员：申铉亿,金湘甲,朴俊龙,宋都根,杨受京,李东敏
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17