一种新型管加热套的制作方法

本技术涉及浮阀塔板，特别涉及一种新型管加热套。

背景技术：

1、在半导体集成电路制造中，有许多加工工序在高温的真空室内进行，在这种环境下，产生的副产物升华成气象，经真空管路排放，如果在排放的过程中，温度下降过快，则会导致气体沉聚在管路及各种阀门上，如不及时清除沉积物，会增加镜片质量缺陷，降低真空系统效率。

2、现有的管道加热套在使用中，对于管路内部温度控制处理有限，均为调整设定温度数值，对管路进行相应数值温度的加温，这样的设置对于一般的管路可能影响不大，但是对于一些半导体及集成电路的管路维护，这样的温控处理就略显粗糙，当加热管温度过热时容易出现电路元件短路甚至烧毁的可能，温控效果有限的同时还有可能造成工业事故，且均采用保温层与管路一体套接式安装，在设备出现故障时拆卸更换也变得非常的繁琐。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种新型管加热套，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种新型管加热套，包括加热套和管路，所述加热套包括表层、保温层、加热层和里层，所述表层为最外层结构，所述里层设置于加热套最内部，且与管路紧密贴合包裹，所述保温层与所述加热层设置于加热套内部，且保温层位于所述加热层外部，且层之间通过超声波压合连接。

4、优选的，所述表层材质主要为特氟龙布，所述里层的材质主要由特氟龙涂层的玻璃布构成。

5、优选的，所述管路包括进气管、波纹管、连接管和出气管组成，所述进气管设置于管路最顶端，所述进气管下端法兰连接有波纹管，所述波纹管斜下端连通有连接管，所述连接管尾部接通有出气管，气体流经进气管到达波纹管，在流经连接管最后到达出气管排出，实现管路的气体流通。

6、优选的，所述加热套各层之间对应所述管路各部件有相应套接件，所述表层上部设置有魔术贴，用于将所述加热套固定于所述管道外壁。

7、优选的，所述加热套各层之间贯通设置有电源线孔，用于插入电源线进行供电。

8、优选的，所述电源线孔一侧开设有温控线孔，用于插入温控线对加热层进行温控处理。

9、优选的，所述加热层包括覆盖在表层的电热丝以及位于电热丝线路上的温度传感器，还包括设置于加热层层面上的突跳式温控开关限温器，用于与温度传感器连通实时监测温度，并且在过高温时实现自动断电处理。

10、优选的，所述电热丝为镍钴电热合金丝，且其工作时温度最高可达400℃。

11、优选的，所述表层和里层的表层厚度均为1.7mm。

12、优选的，所述表层边缘处还设置有金属按扣，用于对加热套进行二次固定。

13、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

14、(1)本加热套与管道紧密贴合的设计，向管路均匀传递热能，维持管道温度同时可以有效防止制程产物堆积堵塞现象的发生。

15、(2)本加热套外层采用特氟龙材料，具有很好的绝缘性及阻燃性，内层采用玻璃棉具备耐高温且相同的绝缘阻燃作用，内外均采用环保、无污染、轻质且高纯度的强化材料，保证了加热套良好的保温性。

16、(3)本加热套内置突跳式温控开关限温器，通过与电热丝和温度传感器之间相互配合，使得加热系统性能功能实现智能化，再通过多节的加热套组合设计，可以对管路各部分温度进行相适应控温，用以维持管壁内外温度公差恒定，同时还可以防止过热及过电流烧坏器件，最大化减少热量损失。

17、(4)本加热套通过设置的魔术贴和金属按扣的固定安装方式，易于安装和拆卸加热套，便于设备后期的维护。

技术特征：

1.一种新型管加热套，包括加热套和管路，其特征在于：所述加热套包括表层(1)、保温层(2)、加热层(3)和里层(4)，所述表层(1)为最外层结构，所述里层(4)设置于加热套最内部，且与管路紧密贴合包裹，所述保温层(2)与所述加热层(3)设置于加热套内部，且保温层(2)位于所述加热层(3)外部，且层之间通过超声波压合连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述表层(1)材质主要为特氟龙布，所述里层(4)的材质主要由特氟龙涂层的玻璃布构成。

3.根据权利要求1所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述管路包括进气管(5)、波纹管(6)、连接管(7)和出气管(8)组成，所述进气管(5)设置于管路最顶端，所述进气管(5)下端法兰连接有波纹管(6)，所述波纹管(6)斜下端连通有连接管(7)，所述连接管(7)尾部接通有出气管(8)，气体流经进气管(5)到达波纹管(6)，在流经连接管(7)最后到达出气管(8)排出，实现管路的气体流通。

4.根据权利要求1所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述加热套各层之间对应所述管路各部件有相应套接件，所述表层(1)上部设置有魔术贴(9)，用于将所述加热套固定于所述管路外壁。

5.根据权利要求4所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述加热套各层之间贯通设置有电源线孔(11)，用于插入电源线进行供电。

6.根据权利要求5所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述电源线孔(11)一侧开设有温控线孔，用于插入温控线对加热层(3)进行温控处理。

7.根据权利要求1所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述加热层(3)包括覆盖在表层(1)的电热丝(12)以及位于电热丝(12)线路上的温度传感器(13)，还包括设置于加热层(3)层面上的突跳式温控开关限温器(14)，用于与温度传感器(13)连通实时监测温度，并且在过高温时实现自动断电处理。

8.根据权利要求7所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述电热丝(12)为镍钴电热合金丝，且其工作时温度最高可达400℃。

9.根据权利要求1所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述表层(1)和里层(4)的表层厚度均为1.7mm。

10.根据权利要求9所述的一种新型管加热套，其特征在于：所述表层(1)边缘处还设置有金属按扣(15)，用于对加热套进行二次固定。

技术总结
本技术公开了一种新型管加热套，包括加热套和管路，所述加热套包括表层、保温层、加热层和里层，所述表层为最外层结构，所述里层设置于加热套最内部，且与管路紧密贴合包裹，所述保温层与所述加热层设置于加热套内部，且保温层位于所述加热层外部，且层之间通过超声波压合连接，本加热套与管道紧密贴合的设计，向管路均匀传递热能，维持管道温度同时可以有效防止制程产物堆积堵塞现象的发生，且内外层均采用环保、无污染、轻质且高纯度的强化材料，保证了加热套良好的保温性，内置突跳式温控开关限温器，通过与电热丝和温度传感器之间相互配合，使得加热系统性能功能实现智能化，提升加热效率的同时也有效地保护了设备元器件。

技术研发人员：梁正西,李茜莲,丁建文
受保护的技术使用者：无锡海鼎微电子有限公司
技术研发日：20230110
技术公布日：2024/1/12