一种液密封高压馈入真空系统的制作方法

本技术属于高压馈入，具体涉及一种液密封高压馈入真空系统。

背景技术：

1、在电真空技术领域中，常常需要将几十千伏的高压馈入到真空系统中。比如在加速器中子源系统中就需要将接近一百千伏的高压馈入到加速器中子源系统中来对离子束进行牵引。由于同轴高压电缆馈入的接触面暴露在大气环境中，当空气较潮湿时，同轴高压电缆的馈入点会出现电爬弧、甚至打火现象，对系统的稳定性造成了极大的干扰。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于解决上述背景技术中所提出的同轴高压电缆馈入点暴露的大气环境导致爬电、打火的问题，设计出一种液密封高压馈入真空系统。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种液密封高压馈入真空系统，所述液密封高压馈入真空系统包括绝缘馈入支柱，所述绝缘馈入支柱置于空气的一端设置有绝缘馈入支柱端盖，所述绝缘馈入支柱端盖通过所述绝缘馈入支柱上设有的螺纹与该绝缘馈入支柱旋紧；

4、所述绝缘馈入支柱端盖上设置有用于注入氟化液的注入口，氟化液端盖通过所述氟化液注入口上设有的螺纹旋紧于该氟化液注入口上，所述绝缘馈入支柱端盖外侧设有凸起结构，该凸起结构上设有螺纹，高压线端盖通过该凸起结构上的螺纹与所述绝缘馈入支柱端盖连接，所述绝缘馈入支柱端盖中间开有圆孔；

5、所述绝缘馈入支柱置于真空腔体内的一端设置有高压馈入端盖，所述高压馈入端盖上设置有高压馈入球，位于所述高压馈入球下方的第一螺纹支柱上套设一个固定螺母，所述第一螺纹支柱旋入所述高压馈入端盖内；所述高压馈入球形的设计避免了在真空腔体内存在尖端而导致的打火现象；所述固定螺母用于接线端子接出高压到靶上。

6、所述绝缘馈入支柱内设置有高压馈入连接件，高压馈入连接件一端设有第二螺纹支柱，所述第二螺纹支柱一端旋出所述绝缘馈入支柱端部外侧，并与所述第一螺纹支柱接触；所述绝缘馈入支柱外侧中部设有螺纹，该螺纹通过与一固定螺母连接将所述绝缘馈入支柱固定于所述真空腔体上。

7、进一步的，所述绝缘馈入支柱内部通过所述氟化液注入口注入有绝缘介质氟化液。氟化液是一种无色、透明、低粘度、不可燃、安全性高的液体，具有良好的化学惰性、电气绝缘性、热传导性和独特的低表面张力。所述氟化液介质的使用能完全的隔绝同轴高压电缆与空气的接触，避免了空气湿度造成的打火现象。

8、进一步的，所述绝缘馈入支柱置于空气的一端的直径大于置于真空腔体内的一端的直径。由此，通过绝缘馈入支柱两端的直径差将绝缘馈入支柱卡在真空腔体上。

9、进一步的，所述高压馈入端盖、所述氟化液端盖、所述高压线端盖和所述绝缘馈入支柱端盖均设有内置橡胶密封圈；所述绝缘馈入支柱与所述真空腔体采用螺纹连接与放置橡胶密封圈联用的方式实现固定。由此，所述高压馈入端盖、所述氟化液端盖、所述高压线端盖、所述绝缘馈入支柱端盖以及所述绝缘馈入支柱固定于真空腔体上都采用螺纹旋入与放置橡胶密封圈的方式，使装置有良好密封性的同时，又能更加便利的对装置进行拆装和检修。

10、进一步的，所述高压线端盖内置的橡胶密封圈为梯形端盖密封圈，所述高压线端盖固定于所述凸起结构上时，该梯形端盖密封圈位于所述凸起结构内部。

11、本实用新型具有如下有益效果：

12、该液密封高压馈入真空系统，在绝缘馈入支柱内部注入氟化液来隔绝同轴高压电缆与周围空气的接触，避免了在几十千伏甚至上百千伏的高压馈入条件下，周围空气的湿度造成的同轴高压电缆的打火以及电爬弧现象；并且，该系统中各部件间连接采用螺纹和橡胶垫圈的方式，不仅能起到良好的密封作用，也使安装更加便捷。

技术特征：

1.一种液密封高压馈入真空系统，其特征在于，所述液密封高压馈入真空系统包括绝缘馈入支柱，所述绝缘馈入支柱置于空气的一端设置有绝缘馈入支柱端盖，所述绝缘馈入支柱端盖通过所述绝缘馈入支柱上设有的螺纹与该绝缘馈入支柱旋紧；

2.根据权利要求1所述的一种液密封高压馈入真空系统，其特征在于，所述绝缘馈入支柱内部通过所述氟化液注入口注入有绝缘介质氟化液。

3.根据权利要求1所述的一种液密封高压馈入真空系统，其特征在于，所述绝缘馈入支柱置于空气的一端的直径大于置于真空腔体内的一端的直径。

4.根据权利要求1所述的一种液密封高压馈入真空系统，其特征在于，所述高压馈入端盖、所述氟化液端盖、所述高压线端盖和所述绝缘馈入支柱端盖均内置有橡胶密封圈；

5.根据权利要求4所述的一种液密封高压馈入真空系统，其特征在于，所述高压线端盖内置的橡胶密封圈为梯形端盖密封圈，所述高压线端盖固定于所述凸起结构上时，该梯形端盖密封圈位于所述凸起结构内部。

技术总结
本技术公开了一种液密封高压馈入真空系统，包括绝缘馈入支柱，所述绝缘馈入支柱置于空气的一端设置有绝缘馈入支柱端盖；所述绝缘馈入支柱端盖上设置有氟化液注入口。所述绝缘馈入支柱置于真空腔体内的一端设置有高压馈入端盖，所述高压馈入端盖上设置有高压馈入球；所述绝缘馈入支柱内设置有高压馈入连接件；所述绝缘馈入支柱中间部分车有螺纹，所述绝缘馈入支柱置于空气的一端通过橡胶密封圈和固定螺母固定于真空腔体上。本技术使用绝缘介质氟化液来隔绝高压同轴电缆与空气的接触，避免了由于空气湿度造成的打火以及电爬弧等现象的发生。同时，各部件间连接采用螺纹和橡胶垫圈的方式，不仅能起到良好的密封作用，也使安装更加便捷。

技术研发人员：钱玉忠,陶鑫,梁立振,吴亮亮,王宾,胡纯栋
受保护的技术使用者：合肥综合性国家科学中心能源研究院（安徽省能源实验室）
技术研发日：20230512
技术公布日：2024/1/14