专利名称：静磁波装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及静磁波装置，特别是涉及例如滤波器等用的静磁波装置。
图7是表示现有静磁波装置的一个例子。静磁波装置1包括介质基板2。如图8所示，在介质基板2的两面上，形成接地电极3和带状线电极4。由接地电极3和带状线电极4共同构成作为换能器的微型带状线。带状线电极4的一端，通过价质基板2的端面与接地电极3相连接。并且，两个带状线电极4的另一端分别作为输入端和输出端使用。另外，在带状线电极4上设置铁氧体磁性基体5。铁氧体磁性基体5是在GGG(钆镓柘榴石)基板6上形成YIG(钇铁柘榴石)薄膜7而制成的。然后，把铁氧体磁性基体5装在带状线电极4上，使YIG薄膜7位于带状线电极4一侧。
在使用这种静磁波装置的情况下，磁场加在铁氧体磁性基体5上，信号则加在输入端的带状线电极4上。由该输入信号激励出静磁波，该静磁波在YIG薄膜7中传播。然后，通过接传输过来的静磁波，可从输出端的带状线电极4获得输出从信号。利用该静磁波装置1可获得例如图9所示的带通特性。
但是，以往的静磁波装置体积大，不能适应最近的小型化的要求。并且，由于静磁波装置体积大，所以，铁氧体磁性基体等的材料用量较多，使制造成本提高。
因此，本发明的主要目的是为了提供体积小、制造成本低的静磁波装置。
该发明是一种静磁波装置，包含铁氧体磁性(铁磁性)基体和在铁氧体磁性基体的主面上形成的互相间有间隔的两个换能器外侧的铁氧体磁性基体部分被缩短。
使铁氧体磁性基体的端部相对于换能器呈倾斜状态，或者在转换器外侧的铁氧体磁性基体部分上涂敷静磁波吸收材料，这样可以衰减在铁氧体磁性基体端部反射的静磁波。现已确认，如采用这种结构，即便铁氧体磁体基体在转换器外侧的部分比以往结构的外侧部分短，也不会使性能变差。
按照本发明，由于可以缩短铁氧体磁性基体转换器外侧的部分，所以，可以减小静磁波装置的体积。并且，由于可以减小静磁波装置体积，所以，可以减小铁氧体磁性基体等材料的使用量，可以达到降低成本的目的。
对本发明的上述目的以及其他目的、特征、结构布局和优点，通过参照附图对以下实施例的详细说明可以进一步更清楚地了解。
图1是表示该发明的一个实施例的平面图。
图2是图1所示的静磁波装置的侧面图。
图3是表示图1所示静磁波装置带通特性的曲线图。
图4是表示本发明的另一实施例的平面图。
图5是图4所示静磁波装置的侧面图。
图6是为了说明本发明静磁波装置所用铁氧体磁性基体长度的图解图。
图7是表示以往静磁皮装置的一例的平面图。
图8是图7所示的以往静磁波装置的侧面图。
图9是表示图7所示以往静磁波装置的带通特性的曲线图。
图1是表示本发明的一个实施例的平面图，图2是其侧面图。静磁波装置10包含介质基板12。介质基板12利用例如电介质陶瓷等制成矩形板状。在介质基板12的一个主面的整个面上形成接地电极14。然后，在介质基板12的另一个主面上形成2个带状线电极16、18。带状线16、18从介质基板12的相对的两端部向中央方向延伸，然后分别向同一方向折弯，再引伸到介质基板12的同一端部。之后，带状线电极16、18从该端部通过介质基板12的端面与接地电极14相连接。利用上述带状线电极16、18和接地电极14形成作为换能器的微型带状线。
在带状线电极16、18上安装铁氧体磁性基板20。铁氧体磁性基板20包含GGG(钆镓柘榴石)基板22。在该GGG基板22上形成YIG(钆铁柘榴石)薄膜24。而且，将YIG薄膜24一侧配置于带状线电极16、18一侧。铁氧体磁性基体20的较长方向的两端分别形成倾斜状态。铁氧体磁性基体20在带状线电极16一侧形成从带状线电极16部分的外侧端部向外侧倾斜的状态。同样，在带状线电极18一侧，铁氧体磁性基体20形成从带状线电极18部分的外侧端部向外侧倾斜的状态。
再者，例如，在铁氧体磁性基体20的横向上加直流磁场。该直流磁场的施加方法是，把永久磁铁放置在铁氧体磁性基体20的横向两侧。在这种状态下，当信号输入到带状线电极16上时，在带状线电极16的周围就产生高频磁场。在该高频磁场的作用上产生静磁波，该静磁波作为表面的静磁波在YIG薄膜24中传播。带状线电极18在接收到上述传播的表面静磁波之后，就获得输出信号。
在该静磁波装置10中，由于铁氧体磁性基体20的端部呈倾斜状态，所以，在铁氧体磁性基体20的端部进行反射的静磁波被衰减。因此，可以防止反射波劣化静磁波装置10的特性。在该静磁波装置10内，铁氧体磁性基体20从带状线电极16、18部分开始向外倾。但即使与在带状线电极外侧留有很大余量的以往的静磁波装置相比，也可看出，对特性的劣化程度是很小的。图1所示的静磁波装置10的带通特性示于图3。对图3和图9加以对比，也可看出二者的带通特性几乎是一样的。
再者，如图4和图5所示，也可以不使铁氧体磁性基体20的端部倾斜，而在带状线电极16、18的外侧部分的铁氧体磁性基体20的下面涂敷静磁波吸收材料26。在这样的静磁波装置10中，也可以使在铁氧体磁性基体20的端部反射的静磁波得到衰减，可以获得良好的频率特性。另外，带状线电极16、18的外侧的铁氧体磁性基体20部分可以比以往的静磁波装置短。并且，铁氧体磁性基体20的长度如图6所示，等于带状线电极16、18的外侧间的距离L和防止反射波部分的长度K的合计值。已知，长度K最小必须达到1mm。所以，铁氧体磁性基体20的最小长度为L+2(mm)。
这样，根据本发明，把铁氧体磁性基体20的长度设计成必需的最小尺寸，所以可减小静磁波装置10的体积。另外，由于可减小静磁波装置10的体积，所以，可使铁氧体磁性基体20等的材料使用量减少到最低限度，可达到降低成本的目的。
以上对本发明进行了详细的说明和图解，但这只是单纯的图解和一个示例。显然，不能将其理解为本发明的限定范围。本发明的精神和范围只能由权利要求来限定。
权利要求
1.静磁波装置，其特征为包含铁氧体磁性基体、以及在上述铁氧体磁性基体的主面上形成的互相隔离的2个换能器，上述换能器外侧的上述铁氧体磁性基体部分被缩短。
2.如权利要求1的静磁波装置，其特征为位于上述换能器的外侧的上述铁氧体磁性基体的两端形成倾斜部分。
3.如权利要求1的静磁波装置，其特征为还包括位于上换能器外的上述铁氧体磁性基体下面涂敷的静磁波吸收材料。
4.如权利要求1的静磁波装置，其特征为上述铁氧本磁性基本由GGG(钆镓柘榴石)基板和在上述GGG基板上形成的YIG(钇铁柘榴石)薄膜构成。
5.如权利要求1的静磁波装置，其特征为上述换能器由介质基板一个面上形成的接地电极和上述是质基板的另一上面上形成的2个带状线电极构成。
6.如权利要求1的静磁波装置，其特征为上述换能器外侧的上述铁氧体磁性基体部分的长度为1mm。
7.如权利要求2的静磁波装置，其特征为上述换能器外侧的上述铁氧体磁性基体部分的长度为1mm。
8.如权利要求3的静磁波装置，其特征为上述换能器外侧的上述铁氧体磁性基体部分的长度为1mm。
9.如权利要求4的静磁波装置，其特征为上述换能器外侧的上述铁氧体磁性基体部分的长度为1mm。
10.如权利要求5的静磁波装置，其特征为上述换能器外侧的上述铁氧体磁性基体部分的长度为1mm。
全文摘要
静磁波装置10包含介质基板12。在介质基板12的两面上形成接地电极和带状线电极16、18，以此构成作为换能器的微型带状线。在带状线电极16、18上安装其GGG基板上形成了YIG薄膜的铁氧体磁性基体20。铁氧体磁性基体20从带状线电极16、18部分开始呈向外侧倾斜状态。设定该铁氧体磁性基体20以做到长度最小。
文档编号H03H2/00GK1110009SQ9411931
公开日1995年10月11日 申请日期1994年12月13日 优先权日1993年12月14日
发明者冈田刚和, 新村悟, 金谷文夫, 市口真一郎 申请人:株式会社村田制作所