他齿轮旋转的马达(未图示)。通过使马达旋转而使超导加速腔30绕中心轴A旋转。
[0089]阳极部230的线缆连接部231成为一边与导轨部310卡合一边进行旋转的旋转构件。另外，线缆连接部231经由具有导电性的导轨部310而与连接于导轨部310的外周面的电源250的正极电连接。
[0090]因而，通过使超导加速腔30旋转，在腔主体10的内表面整体上遍布电解液，从而对内表面均匀地电解研磨。
[0091]接下来，使用图3对本实施方式的电解研磨方法进行说明。图3是表示本实施方式的超导加速腔30的电解研磨方法的流程图。本实施方式的电解研磨方法是在向图1所示的超导加速器100组装有超导加速腔30而作为超导加速器100进行动作之后，在怀疑向超导加速腔30的内部混入有异物的测定结果出现的情况等进行执行。
[0092]在执行本实施方式的电解研磨方法时，从图1所示的超导加速器100，将超导加速腔30的部分预先从真空容器90的外部卸下。
[0093]步骤S301是在制冷剂槽20的供给口 20a设置阳极部230、在制冷剂槽20的排出口 20b设置阳极部240的阳极设置工序。在供给口 20a处设置阳极部230，并使线缆连接部231旋转而调整接触部233的位置，从而使接触部233与腔主体10的金属膜层1a接触。同样地，在排出口 20b处设置阳极部240，并使线缆连接部241旋转而调整接触部243的位置，从而使接触部243与腔主体10的金属膜层1a接触。
[0094]如此，阳极设置工序S301是将与电源250的正极连接的阳极部230从供给口 20a插入并使其与腔主体10的外周面的金属膜层1a接触的工序。另外，阳极设置工序S301是将与电源250的正极连接的阳极部240从排出口 20b插入并使其与腔主体10的外周面的金属膜层1a接触的工序。通过执行阳极设置工序S301，电源250的正极与金属膜层1a处于电连接的状态，金属膜层1a作为电解研磨的阳极而发挥功能。
[0095]步骤S302是与腔主体10的中心轴同轴地设置阴极部220的阴极设置工序。将阴极部220插入腔主体10的内部，将盖帽件270设置于腔主体10的出口部10b，将盖帽件271设置于腔主体10的入口部10c，从而与腔主体10的中心轴同轴地设置阴极部220。在设置有阴极部220之后，为了能够进行基于电解液供给装置210的电解液的供给，将盖帽件270、271与电解液供给装置210的配管连接。另外，为了使阴极部220作为电解研磨的阴极而发挥功能，将电源250的负极与阴极部220电连接。
[0096]步骤S303是向腔主体10的内部供给电解液的电解液供给工序。通过使电解液供给装置210的泵280驱动，将罐290内的电解液向阴极部220供给，经由开口部220a而向腔主体10的内部供给电解液。当向腔主体10的电解液的供给量达到预先设定的规定量时，停止泵280的驱动而停止电解液向腔主体10的供给。
[0097]步骤S304是设置阳极部230、240与阴极部220且对在内部供给有电解液的腔主体10进行电解研磨的电解研磨工序。在步骤S304中，将开关260从断开状态切换至闭合状态。通过将开关260设为闭合状态，阳极部230、240与电源250的正极成为相同电位，阴极部220与电源250的负极成为相同电位而形成阴极。
[0098]阳极部230、240与腔主体10的外周面的金属膜层1a接触，因此金属膜层1a整体作为阳极而发挥功能。阴极部220在轴向的全长范围内由导电性的金属构件构成，因此在轴向的全长范围内作为阴极而发挥功能。因而，在阴极部220的轴向的全长范围内，在阴极部220与腔主体10的内周面之间经由电解液而流通电流，引起电解液的电解。利用该电解来研磨腔主体10的内周面。
[0099]在电解研磨工序S304的执行过程中，超导加速腔30处于通过旋转装置而绕轴线旋转的状态。通过使超导加速腔30旋转，在腔主体10的内表面整体上遍布电解液，从而对内表面均匀地电解研磨。在电解研磨工序S304中研磨的研磨量能够根据电源250的输出电压、进行电解研磨的时间等进行调整，例如设定为100 μ m左右的研磨量。
[0100]步骤S305是在电解研磨工序S304之后执行的后处理工序。在后处理工序中，包含将滞留在腔主体10的内部的电解液向外部排出的处理、利用过氧化氢水、超纯水清洗腔主体10的内周面的清洗处理。另外，在后处理工序S305中，包含将阳极部230、240与阴极部220从超导加速腔30卸下的处理。
[0101]在后处理工序S305之后，通过将进行了电解研磨的超导加速腔30再次设置于真空容器90的内部，从而能够再次利用超导加速器100。
[0102]接下来，使用图4而对阳极部230、240的变形例进行说明。图4是表示设置于制冷剂槽20的阳极部的变形例的图，是放大了从正面观察超导加速腔30时的剖视图的图。阳极部230、240利用设于杆部232、242的外周面的阳螺纹来调整接触部233、243的位置。相对于此，图4所示的阳极部400通过螺旋弹簧404的弹力来调整接触部403的位置。
[0103]如图4所示，变形例的阳极部400由线缆连接部401、盖帽件402、接触部403、螺旋弹簧404及金属弹簧405来构成。构成阳极部400的各构件由铜等导电性较高的金属构成。构成阳极部400的各构件与电源250的正极形成大致相同电位。
[0104]在线缆连接部401处连接有与电源250的正极连结的线缆。线缆连接部401与盖帽件402进行连结。盖帽件402通过螺栓而紧固于在制冷剂槽20的供给口 20a或排出口20b设置的凸缘。在盖帽件402处设置有筒部，将直径与该筒部的内周径大致相同的螺旋弹簧404插入筒部的内部。
[0105]在盖帽件402的筒部的周围配置有内径比筒部的外径大的筒状的接触部403。在接触部403处，利用插入到盖帽件402的筒部的螺旋弹簧404，给予与腔主体10的金属膜层1a接触的方向上的作用力。
[0106]在盖帽件402的筒部的外周面与接触部403的内周面之间设置金属弹簧405。利用金属弹簧405使盖帽件402的筒部的外周面与接触部403的内周面处于电接触的状态而可靠地通电。利用螺旋弹簧404的作用力，将接触部403配置为与腔主体10的金属膜层1a接触的状态。这样的话，电源250的正极与金属膜层1a处于电连接的状态，金属膜层1a作为电解研磨的阳极而发挥功能。
[0107]接下来，使用图5对阳极部230、240的其他变形例进行说明。图5是表示设置于制冷剂槽20的阳极部的变形例的图，是放大了从侧面(中心轴方向)观察超导加速腔30时的剖视图的图。图5中所示的阳极部230与图2所说明的阳极部230相同，因此省略说明。图5的追加有接点构件235这点与图2不同。
[0108]接点构件235设置于接触部233的前端，是用于优化接触部233与金属膜层1a的电接触的构件。作为接点构件235，能够使用平编铜线、铜制的板簧等，能够使用可提高电接触的各种材料。通过设置接点构件235，能够进一步优化接触部233与金属膜层1a的电接触，使金属膜层1a作为电解研磨的阳极而更可靠地发挥功能。
[0109]需要说明的是，也可以在所述的变形例的阳极部400的接触部403的前端设置接点构件235。
[0110]综上所述，本实施方式的超导加速腔30的腔主体10的外周面由导电性比超导材料高的金属膜层1a覆盖。为此，根据本实施方式的超导加速腔30的电解研磨方法，利用阳极设置工序S301使阳极部230、240与腔主体10的外周面接触，从而能够实现对腔主体10均匀地电解研磨的阳极。
[0111]而且，利用阴极设置工序S301，向腔主体10的内侧插入与电源250的负极连接的阴极部220，利用电解液供给工序S303向腔主体10的内部供给电解液，从而能够对腔主体10的内周面进行电解研磨。
[0112]如此，根据本实施方式的超导加速腔30的电解研磨方法，能够提供即使在设置了制冷剂槽20之后也可容易地再次进行电解研磨的超导加速腔的电解研磨方法。
[0113]本实施方式的超导加速腔30的腔主体10成为赤道部(大径部)10d、10e、10f、10g及相对于中心轴A的距离比赤道部10d、10e、10f、10g短的隔圈部(小径部)10h、101、1j沿着轴向交替形成的形状。另外，制冷剂的供给口 20a的轴向的位置与赤道部1d的轴向的位置一致。此外，制冷剂的排出口 20b的轴向的位置与赤道部1g的轴向的位置一致。
[0114]这样的话，能够使从供给口 20a插入的阳极部230与配置在接近制冷剂槽20的供给口 20a的位置的腔主体10的赤道部1d容易接触。另外，能够使从排出口 20b插入的阳极部240与配置在接近制冷剂槽20的排出口 20b的位置的腔主体10的赤道部1g容易接触。
[0115][第二实施方式]
[0116]以下，使用图6对本发明的第二实施方式的超导加速器的腔主体600进行说明。图6是表示本发明的第二实施方式的超导加速腔的腔主体600的图。在腔主体600的