专利名称：受光器件阵列和使用该阵列的光分波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及可以在监视波分复用的光的光谱的光分波器和光分波器的光检测器中使用的受光器件阵列。
受光器件阵列，在例如波分复用传送方式的光通信系统中，作为在接收一侧使多路传送过来的光分离成每一个波长并监视光谱的光分波器使用。当把该每一个波长的聚光点和受光器件阵列的各个受光器件配置为分别对应时，就可以进行每一个波长的检测。
用
图1说明光分波器的一个例子。该光分波器以输入光纤2、准直透镜4、衍射光栅6和作为光检测器的受光器件阵列装置8为构成要素，用彼此嵌入的3个管状构件装配起来。单芯的输入光纤2用光纤连接部分14固定到透明的光纤装配用管10的端面的光纤固定用窗口12上。准直透镜4被固定到中间管16的端部上。衍射光栅6被固定到衍射光栅装配用管18的端面的衍射光栅固定用窗口20上。在本例中，在中间管16的两个端部上外装有光纤装配用管10和衍射光栅装配用管18，使得可以在光轴方向上移动且作成可以在光轴周围旋转，以便进行主动对准(active alignment)。
从输入光纤2导入到管内部后，相应于输入光纤2的孔径数进行了扩展的发散光束，到达准直透镜4，在变换成平行光束后到达衍射光栅6。相应于衍射光栅6的波长色散特性分离成每一个波长的光束，借助于准直透镜4把每一个分离波长变换成收敛光束，在与准直透镜4的焦点一致的窗口12上对每一个波长进行聚光后排列成一列。通过使得该每一个波长的聚光点和受光器件阵列装置8的各个受光器件分别对应地把受光器件阵列装置8固定到窗口20，就可以进行每一个波长的光检测。
在构成受光器件阵列和器件的受光器件阵列中，有扩散式和台面式这2种。图2示出了扩散式受光器件阵列的构造。在n型InP衬底22上，层叠n型InP层24、i型InGaAs层(光吸收层)26和n型InP层(窗口层)28，向n型InP层28内扩散Zn形成p型区域30，形成pin光电二极管。pin光电二极管构成受光器件。
在这种情况下，扩散是等方向性的，向横向也进行Zn扩散。扩散长度，由于InP的扩散系数比InGaAs的扩散系数大，结果就变成为Zn扩散在横向比纵向的扩散延伸得还长。因此，在这样的现有的扩散型受光器件的情况下，减小器件间隔是有限制的，被限定为50微米的节距。
图3示出了台面式受光器件阵列的构造。在n型InP衬底22上，层叠n型InP层24、i型InGaAs层26和p型InP层27，刻蚀InGaAs层26和InP层27使器件间分离，形成pin光电二极管。pin光电二极管构成受光器件。台面式受光器件阵列，不象扩散式受光器件阵列那样，对于器件间隔没有什么限制，可以进一步减小受光器件间的节距。
在波分复用传送方式的光通信系统中，主要在光通信系统的光纤放大器中常常会产生各个信道的光谱宽度的扩展或波长偏离(以下，叫做噪声)。
在产生了这种噪声的情况下，如图4所示，在监视已人为地使留下间隔的窄光谱宽度的光L1、L2、L3、…多路化的N个信道的光的情况下，若如图5所示，仅仅使信号监视用的受光器件R1、R2、R3、…排列起来的话，不可能使各个信道的信号与噪声明确地进行分离。
在不发生噪声的情况下，要监视N个信道的光，就要如图5所示，使用把信号监视用的受光器件R1、R2、R3、…RN排列成一列的受光器件阵列，但是，分波光L1、L2、L3、…与受光器件R1、R2、R3、…之间的位置对准是困难的。
此外，在把扩散式受光器件阵列用做光检测器的情况下，归因于光吸收而发生的载流子会向横向方向扩散，可能向相邻的受光器件移动。为此，在光没有入射的的受光器件中有电流流动，发生所谓的串扰(漏话)，使受光器件阵列的特性劣化。在台面式受光器件阵列的情况下，虽然不存在扩散式那样的因载流子的扩散产生的串扰，但是当受光器件的排列间隔减小时，就易于产生因向相邻的受光器件入射的光的一部分入射到受光器件的侧面等而发生的串扰。
本发明的第1形态，提供可以明确地使波分复用的光的各个信道的信号和噪声进行分离的光分波器，和在这样的光分波器的光检测器中使用的受光器件阵列。
为了明确地使各个信道的信号和噪声进行分离，就要用与各个波长对应的1个信号监视用受光器件监视各个波长的信号强度，同时在光通信系统的光纤放大器中产生的噪声，也要用与该信号监视用受光器件相邻的噪声监视用受光器件进行检测。这样一来，就可以用排列成直线状的大约2N个受光器件测定N个信道的信号强度和噪声。
如上所述，通过使信号监视用的受光器件和噪声监视用的受光器件交互地排列，用相邻的受光器件检测各个波长的信号和噪声的办法，进行分波光的监视。若采用这种办法，可知如果来自信号监视用的受光器件的输出降低，噪声监视用的受光器件的输出增加，则会在分波光的光谱中发生一种异常。作为该异常，可以推测如下峰值位置向低波长一侧移动或向高波长一侧移动；光谱的峰值变缓，光谱自身宽度变宽等。此外，若来自信号监视用的受光器件的输出不变，来自噪声监视用的受光器件的输出增加，则可以监视到对应的信道的噪声已经增加。如上所述，采用使信号监视用和噪声监视用的受光器件交互地配置的办法，就可以容易地监视峰值位置的移动或噪声的变化。
本发明的第2形态，提供可以高精度地进行分波光与受光器件之间的位置对准，而且可以提高光分波器的分辨率的分波器和在这样的分波器中使用的受光器件阵列。此外，还提供受光器件阵列与分波光之间的位置对准的方法。
倘采用本发明，通过采用多个受光器件而不是用一个受光器件接受一个分波光，并对各个受光器件的输出信号进行比较，就可以对这些多个受光器件进行分波光的位置对准。
为此，把排列在与分波光的排列方向同一方向上的多个第1受光器件、和以与上述规定的节距相同的节距，排列在与分波光的排列方向同一方向上的多个第2受光器件，在排列方向上错开半个节距地交互地进行接连配置成两列。然后，用在与第1和第2受光器件的排列方向垂直的方向上彼此相邻的3个受光器件的输出信号，使分波光的中心位置对准到3个受光器件的接点上。
倘采用上述的本发明，则可以以高精度进行分波光与受光器件之间的位置对准。此外，归因于受光器件阵列的配置，还可以把光分波器的分辨率提高到2倍。
再有，倘采用本发明，则在接受从波分复用化的光中分离每一个波长并排列成直线状的分波光的受光器件阵列中，具备多个信号监视用的受光器件和多个电极间短路受光器件，信号监视用的受光器件和电极间短路受光器件，在与分波光的排列方向同一方向上交互地排列成直线状。借助于此，就可以降低受光器件间的串扰。
为了在受光器件内实现这样的构成，只要使受光器件的n型电极进行共通连接，使受光器件的p型电极隔一个地进行共通连接，并与n型电极短路即可。此外，若在电极间短路受光器件的受光面上设置遮光膜，则具有进一步降低串扰的效果。再有，通过把电极间短路受光器件的器件面积作成比相邻的信号监视用受光器件的器件面积小，由于降低了串扰，故可以抑制受光器件阵列的大型化。
图1示出了光分波器的构成。
图2是扩散式受光器件阵列的剖面图。
图3是台面式受光器件阵列的剖面图。
图4示出了N信道的光分复用后的信号光。
图5示出了监视N信道的分波光的受光器件阵列。
图6是实施例1的受光器件阵列的平面图。
图7是扩散式受光器件阵列和芯片的平面图。
图8是台面式受光器件阵列和芯片的平面图。
图9示出了分离检测N信道的信号和噪声的电路。
图10示出了使所有的分波光都不发生光谱宽度的展宽或波长偏移地入射到信号监视用的受光器件上的状态。
图11示出了分波光L1的峰值波长偏离正常值的情况。
图12示出了实施例2的受光器件阵列。
图13是用来说明受光器件阵列与分波光之间的位置对准的说明图。
图14是用来说明受光器件阵列的分辨率提高的说明图。
图15是用来说明受光器件阵列的分辨率提高的说明图。
图16是实施例3的受光器件阵列和芯片的平面图。
图17示出了设置有电极的台面式受光器件阵列。
图18是实施例3的另外的受光器件阵列和芯片的平面图。
图19是实施例3的另外的受光器件阵列和芯片的平面图。
图20是实施例3的另外的受光器件阵列和芯片的平面图。
实施例1本实施例，涉及可以明确地对波分复用化的光的各个信道的信号和噪声进行分离的光分波器和在该光分波器的光检测器中使用的受光器件阵列。
本实施例的光分波器的构成，与图1所示的构成是一样的，仅仅光检测器不一样。光检测器8可以使用本实施例的受光器件阵列。图6示出了受光器件阵列的一个例子。为了监视N个信道(N为2以上的整数)的分波光，使奇数号的信号监视用受光器件R1、R3、…R2N－1与偶数号受光器件R2、R4、…R2N交互地排列起来，具有分波光数的2倍(2N个)的受光器件。在该受光器件阵列中，用信号监视用的受光器件进行信号强度的监视，用噪声监视用的受光器件监视噪声强度。
第1信道的分波光，用受光器件R1监视信号，用受光器件R2监视噪声。第2号信道的分波光，用受光器件R3监视信号，用受光器件R2、R4监视噪声。最后的第N号信道的分波光，用受光器件R2N－1监视信号，用受光器件R2N－2、R2N监视噪声。
这样的受光器件阵列，作为一个例子，可以使用在图2中说明的扩散式受光器件。扩散式受光器件，如上所述，由于Zn也在横向方向上扩散，故器件间隔不能窄到某一固定值以上，在器件间隔方面存在着限制，对于50微米以上的节距可以使用。
图7是用扩散式受光器件形成的受光器件阵列和芯片30的平面图。各个信号监视用的受光器件R1、R3、…R2N－1与噪声监视用的受光器件R2、R4、…R2N，借助于布线34，连接到对应的键合焊盘36上。如上所述，受光器件的间隔p1必须作成50微米以上。
此外，受光器件阵列，也可以使用在图3中说明的台面式受光器件。台面式受光器件，如上所述，可以避免在扩散式受光器件中成为问题的因向横向方向进行扩散带来的受光器件间的间隔的限制，可以实现高精细的受光器件阵列，例如，可以实现25微米间隔、10微米间隔的的受光器件阵列。
图8是台面式受光器件阵列和芯片的平面图。如上所述，可以把受光器件的间隔p2减小到10微米这么小。
图9示出了分离检测N信道的信号和噪声的电路。该检测电路，由一个输入端子已连接到信号监视用的受光器件R1、R3、…R2N－1上的噪声监视用差分放大器D1、D3、…D2N－1，一个输入端子已连接到信号监视用的受光器件R2、R4、…R2N上的噪声监视用差分放大器D2、D4、…D2N，和输入这些差分放大器的输出的信号和噪声监视器输出部分40构成。另外，向信号监视用差分放大器D1、D3、…D2N－1的另一个的输入端子输入基准电平Iref，向噪声监视用差分放大器D2、D4、…D2N的另一个的输入端子输入基准电平Nref。以这些基准电平为基础，进行信号和噪声的监视。
其次，参看图1，说明本发明的光分波器的动作。来自输入光纤2的波分复用信号光，在用准直透镜变换成平行光束后，到达衍射光栅6。相应于衍射光栅6的波长色散特性分离成每一个波长的光束，用准直透镜4使每一个分波波长变换成收敛光束，会聚到与准直透镜4的焦点一致的检测器16上。图10示出了所有的分波光都不产生光谱的扩展或波长偏离地入射到信号监视用的受光器件R1、R3、…R2N－1上的状态。在这种情况下，从图9的检测电路的各个差分放大器不输出信号，在信号和噪声监视器输出部分40处不会检测出光谱宽度的扩展或信号偏离。
对此，图11示出了分波光L1的峰值波长已从正常值移动开来的情况。因此，当峰值位置移动后，就象从图示的分波光L1的移动状态可以看出来的那样，信号监视用的受光器件R1的检测输出减少，噪声监视用的受光器件R2的检测输出增加。
差分放大器D1，从受光器件R1的信号输出中减去基准电平Iref，并把该值作为信号输出。此外，差分放大器D2，从受光器件R2的信号输出中减去基准电平Nref，并把该值作为噪声输出。在信号和噪声监视器输出部分40处，用差分放大器D1、D2，检测分波光L1的峰值位置的移动，即检测信号的偏离。
在用以上的实施例说明的图6的受光器件阵列的情况下，虽然把奇数号的受光器件用作信号监视，把偶数号的受光器件用作噪声监视，但是也可以颠倒过来。
此外，在图6中，为了简单起见，用2N个受光器件进行了说明，但是也可以使用具有2N个以上的受光器件的受光器件阵列，选用其中的2N个受光器件。
此外，若用(2N＋1)个受光器件，并排列成使得在受光器件阵列的两端必然放置噪声监视用的受光器件，则可以更好地进行第1个信道和最后一个信道的噪声监视。若用图6进行说明，则也可以在第1个信号监视用受光器件R1的左侧也设置噪声监视用的受光器件，用该噪声监视用受光器件和第2噪声监视用受光器件R2，进行第1个信道的分波光L1的噪声监视。
此外，在主要想监视各个信道间的噪声的情况下，由于可以用N个信号监视用的受光器件监视信号，用(N－1)个噪声监视用的受光器件监视信道间的噪声，只要用2N－1个受光器件即可。
实施例2本实施例，涉及可以高精度地使分波光和受光器件的位置对准，且可提高光分器的分辨率的光分波器和在该光分波器的光检测器中使用的受光器件阵列。
本实施例的光分波器的构成，与图1所示的构成基本上一样，仅仅是光检测器不同。光检测器8使用本实施例的受光器件阵列。参看图12说明本实施例的受光器件阵列。图12示出了受光器件阵列和芯片48。受光器件阵列由两列受光器件列构成。一边的受光器件列用奇数号的信号监视用受光器件R1、R3、…R2N－1表示，另一边的受光器件列用偶数号受光器件R2、R4、…R2N表示。这两列受光器件列的各排列节距相同，两列受光器件列配置成错开半个节距。
一列受光器件R1、R3、R5、R7、R9、…，用布线42分别连接到设置为与它们相向的键合焊盘40上，另一列受光器件R2、R4、R6、R8、…，用布线46分别连接到设置为与它们相向的键合焊盘44上。
以上的键合焊盘的取出是一个例子，也可以使全部的键合焊盘都在受光器件阵列的单侧取出，把受光器件阵列都配置为集中于芯片的端面上。
其次，对错开半个节距地配置成两列受光器件阵列和分波光之间的位置对准进行说明。图13示出了受光器件阵列和分波光(图中仅仅示出了分波光L1、L2、LN)。由图可知，分波光在与排列方向垂直的方向上向彼此相邻的3个受光器件入射，并监视这些相邻的3个受光器件的输出信号(电压或电流)。在图13的例子中，用受光器件R1、R3、R4监视分波光L1，用受光器件R6、R7、R8监视分波光L2。
如上所述，当用相邻的3个受光器件进行监视时，就可以高精度地进行分波光的位置对准。例如，要想使分波光L1的中心位置对准到受光器件R2、R3、R4的接点S上，当受光器件R2与R4的检测光量相同，且使光器件R2与R4的检测光量之和与受光器件R3的检测光量一致时，就可以进行分波光的中心的位置对准。在图13中示出的是，第2个信道的分波光L2，其中心已偏离开受光器件R6、R7、R8的接点S，在这样的分波光L2的情况下，由于受光器件R6与R8的检测光量不同，受光器件R6与R8的检测光量之和，与受光器件R7的检测光量相等，故可知分波光L2，对于接点S已在受光器件的排列方向上错开了。
此外，倘采用本实施例的受光器件阵列，则可以提高受光器件阵列的分辨率。图14、图15，是用来说明分辨率的提高的说明图。如图所示，当错开半个节距地排列各列例如以40微米的节距排列两列受光器件时，一列受光器件与另一列受光器件之间的排列方向的重叠为20微米。
因此，如图14所示，可以使受光器件阵列的排列方向的长度例如为10微米的分波光L1、L2、…LN，以相邻的3个受光器件的接点S为大体上的中央，向受光器件阵列的每半个节距入射。因此，与现有的由一列的受光器件构成的受光器件阵列比较，分辨率可以提高到2倍。
另一方面，如图15所示，在与图14相同的受光器件阵列中，在把受光器件阵列的排列方向的长度例如为10微米的分波光L1，如图所示，配置到受光器件R2和R3的重叠部分的中央的情况下，如果分波光L1的位置在受光器件阵列排列方向上错开了5微米以上，由于可以用与受光器件R2、R3相邻的R1或R4检测分波光L1，故可以得到与把受光器件阵列以20微米的节距配置成一列相同的分辨率。即，即便是在图15所示的分波光的配置中，借助于本实施例的受光器件阵列，分辨率也可以提高到2倍。
实施例3本实施例涉及降低相邻的受光器件间的串扰的光分波器和在该光分波器中使用的受光器件阵列。
本实施例的构成，与图1所示的构成基本一样，仅仅是光检测器不一样。光检测器8使用本实施例的受光器件阵列。
图16是本实施例的受光器件阵列和芯片50的平面图。从左端开始，依次交互地排列信号监视用受光器件和电极间已短路的受光器件(以下，叫做电极间短路受光器件)。在图中，从左边开始，依次示出了信号监视用受光器件阵列R1、电极间短路受光器件R2、信号监视用受光器件R3、电极间短路受光器件R4、信号监视用受光器件阵列R5、电极间短路受光器件R6。另外，所谓电极间短路受光器件，指的是受光器件的p型电极和n型电极已经短路的受光器件。
在图.2的扩散式受光器件中，虽然未画出来，但是对于每一个受光器件在p型区域30上都设置有p型电极，在n型InP衬底的背面形成共通的n型电极。通常，共通的n型电极接地，因此，p型电极接地的受光器件是电极间短路的受光器件。
图3的台面式受光器件中，对于每一个受光器件，在p型InP层27上设置p型电极，在n型InP衬底的背面上形成共通的n型电极。图17示出了在台面式受光器件上设置p型电极23、n型电极25的构成。29是绝缘膜。n型电极，也可以对于每一个受光器件都设置在n型InP层24上。通常，把n型电极接地。因此，p型电极接地的受光器件将成为电极间已经短路的受光器件。
回到图16，信号监视用受光器件R1、R3、R5、…的p型电极，借助于布线54分别连接到设置为与受光器件相向的键合焊盘52上。另一方面，电极间短路受光器件R2、R4、R6、…的p型电极，则借助于布线58分别连接到设置为与受光器件相向的键合焊盘56上。共通的n型电极也连接到键合焊盘(未画出来)上，该键合焊盘，如后所述被接地。另外，电极间短路受光器件R2、R4、R6、…的键合焊盘56，进行共通连接，如后所述被接地。
在本实施例中，由于用受光器件监视N个(N是2以上的整数)的分波光，故大约需要2N个受光器件。受光器件的个数为2N个、(2N＋1)个、(2N－1)个，不论哪一个构成都可以得到效果。其中，在(2N＋1)个的情况下，受光器件阵列的两端的受光器件是电极间短路受光器件，在2N个的情况下，受光器件阵列的单端的受光器件是电极间短路受光器件，在(2N－1)的情况下，受光器件阵列的两端的受光器件是信号监视用受光器件。
以上的受光器件阵列和芯片50，实际中被装配在封装内，信号监视用受光器件的键合焊盘52被连接到封装的各个引脚上，连接到共通n型电极上的键合焊盘被连接到接地用的一个引脚上，电极间短路受光器件的键合焊盘56共通地连接到一个或少数个接地用的引脚上。对于这些引脚，在印制布线基板上，进行向信号检测电路的结线和如上所述的电极的短路等的结线。
也可以把这样的结线的一部分预先制作在受光器件阵列和芯片内。图18示出了这样的受光器件阵列和芯片60的一个例子。在图18所示的受光器件阵列和芯片60中，设置有使所有的电极间短路受光器件的p型电极共通地进行连接的金属布线图形70，来取代设置与各个电极间短路受光器件对应的键合焊盘。这样的金属布线图形70连接到接地用的一个引脚上。
在图16、图18所示的受光器件阵列中，由于信号监视用受光器件与电极间短路受光器件是同一形状的器件，故尺寸将增大。为了减小尺寸，如图19所示，只要使电极间短路受光器件R2、R4、R6、…的排列方向的宽度比信号监视用R1、R3、R5、…的小，使信号监视用受光器件间的节距形成得小即可。当然即便是在该情况下，也可以取代电极间短路受光器件的键合焊盘56，使用图18所示的金属布线图形70。
在用图16、图17、图18说明的受光器件是扩散式受光器件的情况下，由于从信号监视用受光器件扩散过来的载流子可以储存在电极间短路受光器件内，故这些载流子不会到达相邻的信号监视用受光器件。因此，可以大幅度地降低串扰。
此外，在受光器件是台面式受光器件的情况下，由于在监视用受光器件之间存在着电极间短路受光器件，故即便是光入射到电极间短路受光器件阵列上，也不会变成串扰。
在用图16、图18、图19说明的实施例中，如果光入射到电极间短路受光器件上，则将产生载流子。在受光器件是扩散式受光器件的情况下，该载流子向信号监视用受光器件一侧扩散，这是人们所不希望的。此外，由扩散形成的不需要的电流也将成为使受光器件温度局部变化的原因。于是，理想的是预先把电极间短路受光器件的受光面遮挡起来。遮光，如图20所示，只要把遮光膜82、84、86形成为把电极间短路受光器件R2、R4、R6、…的受光面覆盖起来即可。另外，电极间短路受光器件，当然也可以是用图18所示的金属布线图形70结线的，或者也可以是图19所示的受光面小的器件。
倘使用本发明的受光器件阵列，则可以提供(1)可以明确地分离波分复用化的光的各个信道的信号和噪声的光分波器，(2)可以以高精度进行分波光与受光器件之间的位置对准，而且可以提高光分波器的分辨率的光分波器，(3)降低相邻的受光器件间的串扰的光分波器。
权利要求
1.一种受光器件阵列，其从波分复用的光中分离每一个波长，接受排列成直线状的分波光，其特征是具备多个信号监视用的受光器件，和多个噪声监视用的受光器件，上述信号监视用受光器件和上述噪声监视用受光器件，在与上述分波光的排列方向相同的方向上，以直线状交互地排列。
2.权利要求1所述的受光器件阵列，其特征是上述信号监视用受光器件和上述噪声监视用受光器件由pin光电二极管构成。
3.一种光分波器，其特征是具备从波分复用的光中分离每一个波长，接受排列成直线状的分波光的如权利要求1或2所述的受光器件阵列，并用上述受光器件阵列，对每一个分波光分离并监视信号和噪声。
4.一种受光器件阵列，其从波分复用的光中分离每一个波长，接受排列成直线状的分波光，其特征是具备由以规定的节距，在与上述分波光的排列方向相同的方向上排列的多个受光器件阵构成的第1受光器件列，和由以与上述规定的节距相同的节距，在与上述分波光的排列方向相同的方向上排列的多个受光器件阵构成的第2受光器件列，上述第1受光器件列和上述第2受光器件列，以在排列方向上错开半个节距的方式进行配置。
5.权利要求4所述的受光器件阵列，其特征是上述受光器件由pin光电二极管构成。
6.一种光分波器，其特征是具备从波分复用的光中分离每一个波长，接受排列成直线状的分波光的如权利要求4或5所述的受光器件阵列，并用上述受光器件阵列，监视分波光。
7.一种受光器件阵列与分波光之间的位置对准方法，其特征是在具备从波分复用化的光中分离每一个波长，接受排列成直线状的分波光的如权利要求4或5所述的受光器件阵列，并用上述受光器件阵列监视分波光的光分波器中，用在与上述第1和第2受光器件列的受光器件的排列方向垂直的方向上彼此相邻的3个受光器件的输出信号，进行受光器件与分波光之间的位置对准。
8.一种受光器件阵列，从波分复用化的光中分离每一个波长，接受排列成直线状的分波光，其特征是具备多个信号监视用的受光器件，和多个电极间短路受光器件，上述信号监视用的受光器件和上述电极间短路受光器件，在与上述分波光的排列方向相同的方向上，以直线状交互地排列。
9.权利要求8所述的受光器件阵列，其特征是上述信号监视用的受光器件和上述电极间短路受光器件由pin光电二极管构成。
10.权利要求9所述的受光器件阵列，其特征是上述pin光电二极管具备在n型半导体层衬底上叠层的n型半导体层、i型半导体层、n型半导体层，通过向作为最上层的n型半导体层中部分地扩散作为p型的材料而形成的p型区域层，在所形成的p型区域层的上设置的p型电极，以及在上述n型半导体衬底的背面上设置的共通的n型电极。
11.权利要求9所述的受光器件阵列，其特征是上述pin光电二极管，具备在n型半导体层衬底上叠层的n型半导体层、i型半导体层、p型半导体层，上述p型半导体层和i型半导体层，用相邻的p型半导体层和i型半导体层和隔离沟进行分离，具备在上述p型半导体层上设置的p型电极，和在上述n型半导体衬底的背面上设置的共通的n型电极。
12.权利要求10或11所述的受光器件阵列，其特征是上述电极间短路受光器件，其p型电极短路到上述共通的n型电极上。
13.权利要求10或11所述的受光器件阵列，其特征是上述电极间短路受光器件，其p型电极连接到一条共通金属布线上，该共通金属布线短路到上述共通的n型电极上。
14.权利要求8或9所述的受光器件阵列，其特征是上述电极间短路受光器件阵列的器件面积比相邻的信号监视用受光器件的器件面积小。
15.权利要求8或9所述的受光器件阵列，其特征是在上述电极间短路受光器件的受光面上设有遮光膜。
16.一种光分波器，其特征是具备从波分复用的光中分离每一个波长，接受排列成直线状的分波光的权利要求8或9所述的受光器件阵列，并用上述受光器件阵列监视分波光。
全文摘要
提供可以明确地分离波分复用的光的各个信道的信号和噪声的光分波器。该光分波器,具备从波分复用的光中分离每一个波长,接受排列成直线状的分波光的受光器件阵列。受光器件阵列具有多个信号监视用的受光器件和多个噪声监视用的受光器件,信号监视用受光器件和噪声监视用受光器件,在与上述分波光的排列方向相同的方向上,以直线状交互地排列。
文档编号H04B10/00GK1327532SQ00802203
公开日2001年12月19日 申请日期2000年10月5日 优先权日1999年10月8日
发明者田上高志, 仲间健一, 驹场信幸, 有马靖智, 楠田幸久 申请人:日本板硝子株式会社