专利名称：振膜和包括该振膜的麦克风的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种振膜及包括该振膜的麦克风。
背景技术：
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不 仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移 动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好 坏直接影响通话质量。而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风(Micro-Electro-Mec hanical-System Microphone，简称MEMS)，相关技术中，硅电容麦克风包括基底、背板和振 膜。其中，振膜是硅电容麦克风的重要部件，其一般结构为振膜包括振动部和与振动部相连 的支撑部，支撑部均勻规则的分布在振动部外周。这种结构层应力对振膜产生的应力梯度 无法释放。因此，有必要提供一种新型的振膜。
发明内容
本发明需解决的技术问题是提供一种能够提高灵敏度的振膜。根据上述需解决的技术问题，设计了一种振膜，其包括振动部和与振动部相连的 若干支撑部，所述支撑部自振动部的外周向外延伸，所述振膜包括至少一中心线，所述支撑 部都位于中心线同侧。优选的，在所述振膜靠近外周的区域设有调节阻尼装置。优选的，所述调节阻尼装置为若干声孔，且所述声孔的中心连线为一个圆。优选的，所述调节阻尼装置为若干分布在振膜靠近外周区域的若干不规则的缝 隙。优选的，所述支撑部包括两个横梁，且这两个横梁之间的角度是180°。本发明还提供了一种麦克风，其特征在于该麦克风包括如上所述的振膜。本发明的有益效果在于支撑部全部位于振膜中心线同侧，提供大面积自由端薄 膜，从而可以释放应力和提高灵敏度；声学孔可以进一步释放应力，提高灵敏度；声学孔可 以调节阻尼，提高麦克风性能；自由端在加电压以后可以与背板接触，具有一定密封性，调 节阻尼。
图1是本发明提供的振膜第一个实施例的立体示意图；图2是本发明提供的振膜第二个实施例的立体示意图。
具体实施例方式下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。
本发明提供的振膜用于微型电子器件中，如硅电容麦克风、扬声器、受话器等。硅 电容麦克风主要用于手机等电子设备中，用于接收声音。参见图1，图2，本发明提供的第一个实施例。本发明提供的振膜1，包括振动部11 和与振动部11相连的支撑部12，该支撑部12自振动部11的外周向外延伸。振膜1设有至少一条中心线，支撑部12全部位于该中心线的同侧。支撑部12包括至少两个横梁，且横梁不均勻的分布在振膜外周。参见图2，横梁为 3个。靠近振膜1外周的区域设有声孔13或缝隙等调节阻尼装置。从图1，图2中可以看到，声孔的中心连线为一个圆。当然，声孔、缝隙等也可以是不规则的分布在靠近振膜1外周的区域。在一个实施例中，支撑部12包括两个横梁，且这两个横梁之间的角度是180°。振膜1的形状可以是圆形、方形等。本发明提供的麦克风包括如上所述的振膜1。本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发 明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
权利要求
一种振膜，其包括振动部和与振动部相连的若干支撑部，所述支撑部自振动部的外周向外延伸，其特征在于所述振膜包括至少一中心线，所述支撑部都位于中心线同侧。
2.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于在所述振膜靠近外周的区域设有调节阻尼装置。
3.根据权利要求2所述的振膜，其特征在于所述调节阻尼装置为若干声孔，且所述声 孔的中心连线为一个圆。
4.根据权利要求2所述的振膜，其特征在于所述调节阻尼装置为若干分布在振膜靠 近外周区域的若干不规则的缝隙。
5.根据权利要求1或2或3所述的振膜，其特征在于所述支撑部包括两个横梁，且这 两个横梁之间的角度是180°。
6.一种麦克风，其特征在于该麦克风包括如权利要求1所述的振膜。
7.根据权利要求6所述的麦克风，其特征在于在所述振膜靠近外周的区域设有调节 阻尼装置。
8.根据权利要求7所述的麦克风，其特征在于所述调节阻尼装置为若干声孔，且所述 声孔的中心连线为一个圆。
9.根据权利要求7所述的麦克风，其特征在于所述调节阻尼装置为若干分布在振膜 靠近外周区域的若干不规则的缝隙。
10.根据权利要求6或7或8所述的麦克风，其特征在于所述支撑部包括两个横梁， 且这两个横梁之间的角度是180°。
全文摘要
本发明提供了一种振膜，其包括振动部和与振动部相连的若干支撑部，所述支撑部自振动部的外周向外延伸，所述振膜包括至少一中心线，所述支撑部都位于中心线同侧。该振膜能够提高灵敏度。
文档编号H04R7/00GK101959103SQ201010153540
公开日2011年1月26日 申请日期2010年4月19日 优先权日2010年4月19日
发明者孟珍奎, 杨斌, 颜毅林 申请人:瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司