专利名称：硅基麦克风及其振膜的制作方法
技术领域：
硅基麦克风及其振膜
技术领域：
本实用新型涉及一种硅基电容麦克风，尤其涉及该硅基麦克风的振膜结构。背景技术：
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不 仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移 动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好 坏直接影响通话质量。目前应用较多的麦克风包括传统的驻极体麦克风和新兴的微电机系统麦克风(Mi cro-Electro-Mechanical-System Microphone,简称 MEMS 麦克风)，MEMS 麦克风是基于硅 基半导体材料制成，故又称硅基麦克风。其封装体积比传统的驻极体麦克风小，性能也佳。 因而，近几年，硅基MEMS麦克风取得了很大的发展空间。如
图1所示，为现有常见的MEMS硅基麦克风1的剖视示意图，其包括内部设有空 腔的基底10和振膜11。振膜与背极板(未图示)相对且与背极板间隔一定距离，以形成电 容效应，当声音气流传递到振膜上时，振膜上下振动以产生位移，改变电容器的电容量，电 容量的改变使电容器的输出端产生相应的交变电场，形成了与声波信号对应的电信号，从 而完成声电转换的功能。振膜11与基底相连，通过其周边110整体被固定于基底上。该类 麦克风振膜的周边整体被固定，使得振膜受约束多，膜应力相应会增大，从而导致产品的灵 敏度会有所下降。
实用新型内容本实用新型需解决的技术问题是提供一种能够有效释放膜应力，从而进一步提高 产品的灵敏度和一致性的振膜。根据上述需解决的技术问题，设计了一种振膜，其包括振膜主体，在所述振膜主体 的边缘上设有突出的一对扭转梁，所述振膜主体包括通过该对扭转梁的直线的两侧的第一 部分和第二部分，第一部分质量大于第二部分质量。本实用新型还需解决的技术问题是提供了一种硅基麦克风，其包括内部设有空腔 的基底和位于基底上的振膜，所述振膜包括振膜主体，在所述振膜主体的边缘上设有突出 的一对扭转梁，所述振膜主体包括通过该对扭转梁的直线的两侧的第一部分和第二部分， 第一部分质量大于第二部分质量，所述振膜通过扭转梁与基底相连。作为本实用新型进一步改进，所述扭转梁相对于所述振膜主体的中心线对称。作为本实用新型进一步改进，所述振膜主体为长方形，所述扭转梁位于所述振膜 主体相对的两侧边上。作为本实用新型进一步改进，所述振膜主体为圆形与现有技术相比，本实用新型振膜主体通过两个扭转梁而被支撑，能够有效释放 振膜在沉积过程中所形成的应力，从而进一步提高麦克风产品的灵敏度和一致性。[0012]图1是现有常见的硅基麦克风的剖视图；图2本实用新型硅基麦克风的剖视示意图；图3是本实用新型振膜的示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。如图2所示，为本实用新型硅基麦克风的一种实施例，该硅基麦克风包括基底1、 振膜2和背极板3。基底上设有空腔10，以作为振膜的响应的后腔。振膜2与背极板3相对，且间隔一定的距离。振膜2与背极板3之间形成电容效 应，当声音气流传递到振膜上时，振膜上下振动以产生位移，改变电容器的电容量，电容量 的改变使电容器的输出端产生相应的交变电场，形成了与声波信号对应的电信号，从而完 成声电转换的功能。如图3所示，该振膜2包括振膜主体20，振膜主体为长方形状。在长方形状振膜主 体20相对的两侧边的边缘上，分别设有一突出的扭转梁21，即，一对突出的扭转梁21分别 设在长方形状振膜主体20相对的两侧边上，而不是相邻的两侧边上，并且，在长轴侧边上。通过这一对扭转梁21的直线Ll将振膜主体20分为两部分，即，振膜主体20通过 直线Ll分为第一部分和第二部分，第一部分和第二部分位于直线Ll两侧。第一部分质量 大于第二部分质量，即，第一部分和第二部分质量不相等，扭转梁21处于振膜主体两侧边 的非中间位置。并且，扭转梁21相对于振膜主体的中心线梁L2对称。本实施例中，振膜为长方形，其形状也可为圆形或其他形状。当为圆形时，一对扭 转梁位于圆形振膜非直径的两端，即，连通扭转梁的直线为圆的弦。当然，一对扭转梁相对 它们之间的中间直径对称。振膜通过此对扭转梁与基底相连，以通过扭转梁而被支撑在基底上。由于扭转梁 位于振膜侧边的非中间位置，即将振膜分为两个不相等的部分，从而，不相等的部分会存在 扭转，以能够有效释放振膜在沉积过程中所形成的应力，从而进一步提高麦克风产品的灵 敏度和一致性。以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术 人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本实用 新型的保护范围。
权利要求一种振膜，包括振膜主体，其特征在于在所述振膜主体的边缘上设有突出的一对扭转梁，所述振膜主体包括通过该对扭转梁的直线的两侧的第一部分和第二部分，第一部分质量大于第二部分质量。
2.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于所述扭转梁相对于所述振膜主体的中心 线对称。
3.根据权利要求2所述的振膜，其特征在于所述振膜主体为长方形，所述扭转梁位于 所述振膜主体相对的两侧边上。
4.根据权利要求2所塑的振膜，其特征在于所述振膜主体为圆形。
5.一种硅基麦克风，包括内部设有空腔的基底和位于基底上的振膜，所述振膜包括振 膜主体，其特征在于在所述振膜主体的边缘上设有突出的一对扭转梁，所述振膜主体包括 通过该对扭转梁的直线的两侧的第一部分和第二部分，第一部分质量大于第二部分质量， 所述振膜通过扭转梁与基底相连。
6.根据权利要求5所述的硅基麦克风，其特征在于所述扭转梁相对于所述振膜主体 的中心线对称。
7.根据权利要求6所述的硅基麦克风，其特征在于所述振膜主体为长方形，所述扭转 梁位于所述振膜主体相对的两侧边上。
8.根据权利要求6所述的硅基麦克风，其特征在于所述振膜主体为圆形。
专利摘要本实用新型提供了一种硅基麦克风，包括振膜主体，在所述振膜主体的边缘上设有突出的一对扭转梁，所述振膜主体包括通过该对扭转梁的直线的两侧的第一部分和第二部分，第一部分质量大于第二部分质量。与现有技术相比，本实用新型振膜主体通过两个扭转梁而被支撑，能够有效释放振膜在沉积过程中所形成的应力，从而进一步提高麦克风产品的灵敏度和一致性。
文档编号H04R7/02GK201733432SQ201020184999
公开日2011年2月2日 申请日期2010年5月4日 优先权日2010年5月4日
发明者杨斌, 颜毅林 申请人:瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司