射频（RF）匹配器定位装置的制作方法

本实用新型有关一种射频（RF）匹配器定位装置，尤指一种藉由判读侦测件之讯号，并将判读之数值输出，从而供使用者判断调谐元件动片是否于正确位置，使射频（RF）负载获得最大功率之射频（RF）匹配器定位装置。

背景技术：

按；射频（RF）匹配器的定位，通常如图1及图2所示，设有一侦测单元１，以供侦测射频输入A，并由侦测单元１连结两调谐元件后构成射频输出B。其中，两调谐元件是两个特殊的可调的电抗元件，一是可调电容２，一是可调电容３。侦测单元１连接于一匹配控制单元４，在传输路径中射频（RF）功率分成传输功率(Pf)和反射功率（Pr）两部分，理想状态是传输功率(Pf)和反射功率（Pr）的比值高。只要信号源和负载的阻抗匹配，就可以达到理想状态。射频（RF）匹配器的目的就是通过适当地调整调谐元件以改变阻抗，使负载与射频（RF）信号源产生匹配。当射频（RF）信号发生器输出一个射频（RF）的信号时，一方面由侦测单元１将该信号耦合到调谐元件可调电容２及可调电容３上通过调谐元件可调电感２及可调电容３最终传输到负载上。另一方面由于负载是可变的阻抗，必然会出现负载与信号源不相匹配的情况，而使负载获得的功率不是最大，并产生一个反射回信号源的功率信号。因此侦测单元１检测传输信号和反射信号产生相位误差和幅度误差信号，将这两个误差信号送到匹配控制单元４中。匹配控制单元４根据这两个误差信号的大小，经由驱动单元C去驱动两个电动机５、６（一个是驱动可调电容２，一个是驱动可调电容３）。这两个电动机５、６根据两个误差信号的大小来调整两个调谐元件可调电容２及可调电容３动片的位置以改变这两个元件的电抗值，使其尽可能地接近射频（RF）负载的条件，让射频（RF）负载获得的功率最大。这两个误差信号越小，调谐元件可调电容２及可调电容３越容易调整到位，并且容易谐振。

已知之射频（RF）匹配器由于电动机５、６驱动可调电容２及可调电容３时，使用者并无法得知是否调整至正确的位置，因此，亦无法确认射频（RF）负载是否获得最大的功率。申请人有监于此，经不断研究、实验，遂萌生设计一种射频（RF）匹配器定位装置，使射频（RF）负载获得最大功率。

技术实现要素：

本实用新型之主要目的，即在提供一种射频（RF）匹配器定位装置，藉由判读侦测件之讯号，并将判读之数值经由匹配控制单元输出，从而供使用者判断调谐元件动片是否于正确位置，使射频（RF）负载得以获得最大功率。

前述之射频（RF）匹配器定位装置，包含一微控制器，以及连结于该微控制器之两个或两个以上之侦测件。其中，该侦测件设于电动机上，以供侦测电动机之转动角度，当电动机根据误差信号的大小调整调谐元件动片的位置，以改变调谐元件的电抗值，使其尽可能地接近射频（RF）负载的条件，让射频（RF）负载获得的功率最大时，得以藉由微控制器判读侦测件之讯号，并将判读之数值输出，从而供使用者判断调谐元件动片是否于正确位置，使其尽可能地接近射频（RF）负载的条件，进而让射频（RF）负载获得最大的功率。

前述之射频（RF）匹配器定位装置，其中设于电动机之侦测件为编码器。

【附图说明】

图1为已知射频（RF）匹配器之结构图；

图2为已知射频（RF）匹配器之动作状态图；

图3为本实用新型之较佳实施例电路方块图；

图4为本实用新型之动作状态图。

符号说明：

１、侦测单元

２、可调电容

３、可调电容

４、匹配控制单元

５、电动机

６、电动机

７、侦测件

８、侦测件

９、微控制器

１０、可调电感

１１、可调电感

A、射频输入

B、射频输出

C、驱动单元 。

【具体实施方式】

请参阅图3，为本实用新型之较佳实施例电路方块图。如图所示，本实用新型如已知射频（RF）匹配器，设有一侦测单元１，以供侦测射频输入A，并由侦测单元１连结两调谐元件后构成射频输出B。其中，两调谐元件是两个特殊的可调的电抗元件，一是可调电容２、３，一是可调电感１０、１１。侦测单元１连接于一匹配控制单元４，而两个电动机５、６，一个是驱动可调电容２或可调电感１０，一个是驱动可调电容３或可调电感１１，经由驱动单元C使电动机５、６根据两个误差信号的大小来调整两个调谐元件可调电容２、３或可调电感１０、１１动片的位置，以改变这两个元件的电抗值，使其尽可能地接近射频（RF）负载的条件，让射频（RF）负载获得的功率最大。

本实用新型于前述之电动机５、６上分别设有侦测件７、８，使侦测件７、８连结于一微控制器９，以供侦测电动机之转动角度，且使该微控制器９连结于匹配控制单元４，于本实施例，侦测件７、８为编码器。当电动机５、６根据误差信号的大小调整调谐元件可调电容２、３或可调电感１０、１１动片的位置以改变这两个元件的电抗值，使其尽可能地接近射频（RF）负载的条件，让射频（RF）负载获得的功率最大时，得以藉由微控制器９判读侦测件７、８之讯号，并将判读之数值输出，从而供使用者判断调谐元件可调电容２、３或可调电感１０、１１动片是否于正确位置，使其尽可能地接近射频（RF）负载的条件，进而让射频（RF）负载获得最大的功率。

请参阅图4，为本实用新型之动作状态图。如图所示，本实用新型于动作时，当射频（RF）信号发生器输出一个射频（RF）的信号时，一方面由侦测单元１将该信号耦合到调谐元件可调电容２、３及可调电容可调电感１０、１１上，通过调谐元件可调电容２、３及可调电感１０、１１最终传输到负载上。侦测单元１检测传输信号和反射信号产生相位误差和幅度误差信号，将这两个误差信号送到匹配控制单元４中。匹配控制单元４根据这两个误差信号的大小，经由驱动单元C去驱动两个电动机５、６，于驱动电动机５、６的同时，由于侦测件７、８不断的侦测电动机５、６的转动角度，并将侦测讯号传输至微控制器９，藉由微控制器９判读侦测件７、８之讯号，并将判读之数值输出，从而供使用者判断调谐元件可调电容２、３或可调电感１０、１１动片是否于正确位置，使其尽可能地接近射频（RF）负载的条件，进而让射频（RF）负载获得最大的功率。

前述实施例，仅为说明本实用新型之较佳实施方式，而非限制本实用新型之范围，凡经由些微修饰、变更，仍不失本实用新型之要义所在，亦不脱本实用新型之精神范畴。

综上所述，本实用新型以设有侦测件之电动机，配合连接于电动机及角度侦测件之微控制器，构成射频（RF）匹配器定位装置。藉由判读侦测件之讯号，并将判读之数值输出，从而供使用者判断调谐元件动片是否于正确位置，使射频（RF）负载得以获得最大功率。