射频(RF)匹配器定位装置的制作方法

文档序号:12568501阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种射频(RF)匹配器定位装置,设有一侦测单元,以供侦测射频输入,并由侦测单元连结两调谐元件后构成射频输出,其中,两调谐元件为可调电感及可调电容,侦测单元连接于一匹配控制单元;以及两电动机,供驱动可调电感或可调电容,藉由电动机根据两个误差信号的大小来调整两个调谐元件可调电感或可调电容动片的位置,以改变这两个元件的电抗值,使其尽可能地接近射频(RF)负载的条件,让射频(RF)负载获得的功率最大,其特征在于:

电动机上分别设有侦测件,使侦测件连结于一微控制器,以供侦测电动机之转动角度,当电动机根据误差信号的大小调整调谐元件可调电感或可调电容动片的位置以改变这两个元件的电抗值,使其尽可能地接近射频(RF)负载的条件,让射频(RF)负载获得的功率最大时,得以藉由微控制器判读两侦测件之讯号,并将判读之数值输出,从而供使用者判断调谐元件可调电感或可调电容动片是否于正确位置,使其尽可能地接近射频(RF)负载的条件,进而让射频(RF)负载获得最大的功率。

2.根据权利要求1所述的射频(RF)匹配器定位装置,其特征在于,设于电动机之侦测件为编码器。

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