一种双背极MEMS发声装置及电子设备的制作方法

文档序号:12517962阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种双背极MEMS发声装置及电子设备,在衬底上通过沉积、刻蚀的方式依次设置有下背极、振膜、上背极,所述下背极、振膜、上背极之间通过绝缘层进行支撑;所述衬底上设置有与下背极对应设置的背腔;所述上背极、下背极被配置为分别持续施加相反电压的直流电信号,所述振膜被配置为施加交流电信号。本实用新型的发声装置,可以应用到受话器或者扬声器当中,其突破了传统线圈、磁铁的安装结构,使其体积更小,而且可以采用MEMS工艺进行制造。

技术研发人员:蔡孟锦;李江龙;邱冠勋;李俊
受保护的技术使用者:歌尔股份有限公司
文档号码:201621166137
技术研发日:2016.10.31
技术公布日:2017.06.06

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