振动元件的制作方法

本实用新型涉及振动元件，特别涉及遍及多个绝缘基材层形成有多个线圈图案的振动元件。

背景技术：

以往，已知在层叠多个绝缘基材层而成的具有可挠性的层叠体形成有线圈的振动板。例如，在专利文献1公开了为了增加线圈的匝数而遍及多个绝缘基材层形成有线圈图案的结构的振动板。这样的振动板通过与磁铁的基于电磁力的相互作用来振动。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2014-517594号公报

技术实现要素：

实用新型要解决的课题

发明人等在开发上述振动板的过程中发现，在如专利文献1所示的振动板中存在如下的课题。

(a)在为了降低线圈的导体损耗而将遍及多个绝缘基材层形成的线圈图案的线宽度加粗的情况下，在线圈图案的周围产生的磁通量会变少。因此，基于线圈和磁铁的相互作用的电磁力也变小，振动板的振幅会变小。

(b)相反，在为了增大基于线圈和磁铁的相互作用的电磁力而使遍及多个绝缘基材层形成的线圈图案的线宽度变细的情况下，线圈的dcr变高，线圈的导体损耗会大幅增加。

本实用新型的目的在于，提供一种振动元件，其具备振动板和磁铁，振动板具有包含遍及多个绝缘基材层形成的多个线圈图案的线圈，在振动元件中，在提高振动板与磁铁之间的电磁力的同时抑制了线圈的导体损耗的大幅的增加。

用于解决课题的技术方案

(1)本实用新型的振动元件的特征在于，

具备振动板和第一磁铁，

所述振动板具有：

层叠体，层叠具有可挠性的多个绝缘基材层，并具有第一主面；以及

线圈，形成在所述层叠体，在所述多个绝缘基材层的层叠方向上具有卷绕轴，

所述线圈包含分别形成在所述多个绝缘基材层中的两个以上的绝缘基材层的多个线圈图案，

所述多个线圈图案中的配置得最靠所述第一主面的第一主面侧线圈图案的至少一部分的线宽度比除其以外的线圈图案中的至少一个的线宽度细，

从所述线圈的卷绕轴方向观察，所述第一磁铁配置在与所述线圈的形成区域重叠的位置，且最靠近所述多个线圈图案中的所述第一主面侧线圈图案而配置。

一般来说，与形成线圈的线圈图案(导体)的线宽度粗的情况相比，在线圈图案的线宽度细的情况下，在线圈图案的周围产生的磁通量更多。因此，通过该结构，基于第一磁铁和第一主面侧线圈图案的相互作用的电磁力变大，振动板的驱动效率提高(能够增大振动板的振幅)。

此外，通过该结构，与将线圈的导体损耗设为相同的条件并使多个线圈图案全部的线宽度相同的情况相比，能够增大基于第一磁铁和线圈的相互作用的电磁力。此外，与将电磁力设为相同的条件并使多个线圈图案全部的线宽度相同的情况相比，可抑制线圈的导体损耗的大幅的增加。

(2)优选地，在上述(1)中，所述层叠体具有与所述第一主面对置的第二主面，所述第一主面侧线圈图案在所述层叠方向上与所述第二主面相比更靠近所述第一主面。通过该结构，与第一主面侧线圈图案在层叠方向上与第一主面相比更靠近第二主面的情况相比，因为线圈靠近第一磁铁而配置，所以能够进一步增大基于第一磁铁和线圈的相互作用的电磁力。

(3)优选地，在上述(1)中，所述第一主面侧线圈图案为旋涡状，所述第一主面侧线圈图案中的最外周部分的半周以上的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细。在线圈图案为旋涡状的情况下(在线圈图案为1匝以上的情况下)，主要是线圈图案的最外周部分有助于与磁铁相互作用的磁通量的形成。因此，通过使第一主面侧线圈图案的最外周部分的半周以上的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细，从而能够在抑制线圈的导体损耗的大幅的增加的同时有效地增大基于第一磁铁和线圈的相互作用的电磁力。

(4)优选地，在上述(1)中，所述第一主面侧线圈图案整体的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细。通过该结构，能够在高效地提高基于第一磁铁和线圈的相互作用的电磁力的同时抑制线圈的导体损耗的增加。

(5)优选地，在上述(1)中，还具备第二磁铁，所述层叠体具有与所述第一主面对置的第二主面，所述线圈包含分别形成在所述多个绝缘基材层中的三个以上的绝缘基材层的多个线圈图案，所述多个线圈图案中的配置得最靠所述第二主面的第二主面侧线圈图案的至少一部分的线宽度、以及所述第一主面侧线圈图案的至少一部分的线宽度比除它们以外的线圈图案中的至少一个的线宽度细，从所述线圈的所述卷绕轴方向观察，所述第二磁铁配置在与所述线圈的形成区域重叠的位置，且最靠近所述多个线圈图案中的所述第二主面侧线圈图案而配置。通过该结构，基于第一磁铁和第一主面侧线圈图案的相互作用的电磁力变大，且基于第二磁铁和第二主面侧线圈图案的相互作用的电磁力也变大。因此，与仅具备第一磁铁的振动元件相比较，振动板的驱动效率进一步提高(能够进一步增大振动板的振幅)。

(6)优选地，在上述(5)中，所述第二主面侧线圈图案在所述层叠方向上与所述第一主面相比更靠近所述第二主面。通过该结构，与第二主面侧线圈图案在层叠方向上与第二主面相比更靠近第一主面的情况相比，因为线圈靠近第二磁铁而配置，所以能够进一步增大基于第二磁铁和线圈的相互作用的电磁力。

(7)优选地，在上述(5)中，所述第二主面侧线圈图案为旋涡状，所述第二主面侧线圈图案中的最外周部分的半周以上的线宽度比除它们以外的线圈图案的线宽度细。在线圈图案为旋涡状的情况下(在线圈图案为1匝以上的情况下)，主要是线圈图案的最外周部分有助于与磁铁相互作用的磁通量的形成。因此，通过使第二主面侧线圈图案的最外周部分的半周以上的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细，从而能够在抑制线圈的导体损耗的大幅的增加的同时有效地增大基于第二磁铁和线圈的相互作用的电磁力。

(8)优选地，在上述(5)中，所述第一主面侧线圈图案整体的线宽度以及所述第二主面侧线圈图案整体的线宽度比除它们以外的线圈图案的线宽度细。通过该结构，能够在更加高效地提高基于磁铁(第一磁铁以及第二磁铁)和线圈的相互作用的电磁力的同时抑制线圈的导体损耗的增加。

(9)优选地，在上述(1)至(8)中的任一项中，在所述第一主面形成第一凹部，从所述层叠方向观察，所述第一凹部配置在所述线圈的线圈开口的内侧，所述第一磁铁的至少一部分配置在所述第一凹部的内侧。通过该结构，因为线圈更加靠近第一磁铁而配置，所以能够进一步增大基于第一磁铁和线圈的相互作用的电磁力。

(10)优选地，在上述(9)中，所述第一凹部的侧面从所述第一主面朝向所述层叠体的内侧形成为锥状。通过该结构，在振动板不规则地振动时，第一凹部的侧面与第一磁铁抵接从而振动板向适当位置运动，由此能够相对于第一磁铁将振动板修正为正确的位置关系。

(11)优选地，在上述(5)至(8)中的任一项中，在所述第二主面形成第二凹部，从所述层叠方向观察，所述第二凹部配置在所述线圈的线圈开口的内侧，所述第二磁铁的至少一部分配置在所述第二凹部的内侧。通过该结构，因为线圈更加靠近第二磁铁而配置，所以能够进一步增大基于第二磁铁和线圈的相互作用的电磁力。

(12)优选地，在上述(11)中，所述第二凹部的侧面从所述第二主面朝向所述层叠体的内侧形成为锥状。通过该结构，在振动板不规则地振动时，第二凹部的侧面与第二磁铁抵接从而振动板向适当位置运动，由此能够相对于第二磁铁将振动板修正为正确的位置关系。

(13)优选地，在上述(4)或(8)中，在所述层叠方向上与所述层叠体的表层相比配置得越靠内层，所述多个线圈图案的线宽度越粗。通过该结构，能够在维持振动板的可挠性的基础上，更加高效地提高基于磁铁和线圈的相互作用的电磁力，且能够抑制线圈的导体损耗的增加。

实用新型效果

根据本实用新型，能够实现一种振动元件，其具备振动板和磁铁，振动板具有包含遍及多个绝缘基材层而形成的多个线圈图案的线圈，在振动元件中，在提高振动板与磁铁之间的电磁力的同时抑制了线圈的导体损耗的大幅的增加。

附图说明

图1的(a)是第一实施方式涉及的振动板101的外观立体图，图1的(b)是振动板101的分解立体图。

图2是振动板101的x-z面处的剖视图。

图3的(a)是示出第一实施方式涉及的振动元件201的主要部分的俯视图，图3的(b)是示出振动元件201的主要部分的剖视图。

图4是依次示出振动板101的制造工序的剖视图。

图5的(a)是第二实施方式涉及的振动板102的外观立体图，图5的(b)是振动板102的分解立体图。

图6的(a)是示出第一主面侧线圈图案的位置关系的、振动板102的x-z面处的剖视图，图6的(b)是示出第二主面侧线圈图案的位置关系的、振动板1o2的x-z面处的剖视图。

图7是示出第二实施方式涉及的振动元件202的主要部分的剖视图。

图8的(a)是第三实施方式涉及的振动板103的外观立体图，图8的(b)是振动板103的分解立体图。

图9是振动板103的x-z面处的剖视图。

图10是第四实施方式涉及的振动板104的x-z面处的剖视图。

图11的(a)是第五实施方式涉及的振动板105的外观立体图，图11的(b)是振动板105的分解立体图。

图12的(a)是振动板105的俯视图，图12的(b)是振动板105的x-z面处的剖视图。

图13是示出第五实施方式涉及的振动元件205的主要部分的剖视图。

图14是依次示出振动板105的制造工序的剖视图。

图15的(a)是第六实施方式涉及的振动板106的外观立体图，图15的(b)是振动板106的剖视图。

图16是振动板106的分解俯视图。

图17是示出第六实施方式涉及的振动元件206的主要部分的剖视图。

具体实施方式

以下，参照图并举出几个具体的例子来示出用于实施本实用新型的多个方式。在各图中对同一部位标注同一附图标记。考虑到要点的说明或理解的容易性，为方便起见，将实施方式分开示出，但是能够进行在不同的实施方式中示出的结构的部分置换或组合。在第二实施方式以后，省略关于与第一实施方式共同的事项的记述，仅对不同点进行说明。特别是，对于同样的结构所带来的同样的作用效果，不在每个实施方式中逐次提及。

《第一实施方式》

图1的(a)是第一实施方式涉及的振动板101的外观立体图，图1的(b)是振动板101的分解立体图。图2是振动板101的x-z面处的剖视图。另外，在图1的(b)中，为了使构造易懂，用点图案示出线圈图案cp1、cp2、cp3。此外，在图2中，夸大地图示了各部分的厚度。对于以后的各实施方式中的剖视图也是同样的。

振动板101具备层叠体10a、形成在层叠体10a的线圈31(后面详述)以及外部电极p1、p2。

层叠体10a是长边方向与x轴方向一致的矩形的平板，具有相互对置的第一主面vs1以及第二主面vs2。层叠体10a由热塑性树脂构成，如图1的(b)所示，将多个绝缘基材层13a、12a、11a以及保护层1a依次层叠而形成。多个绝缘基材层11a、12a、13a分别是具有可挠性且长边方向与x轴方向一致的由树脂材料构成的矩形的平板。多个绝缘基材层11a、12a、13a例如是以作为热塑性树脂的液晶聚合物(lcp)或聚醚醚酮(peek)为主材料的片材。

在绝缘基材层11a的表面形成有线圈图案cp1、外部电极p1、p2以及连接导体cn1。线圈图案cp1是沿着绝缘基材层11a的外周卷绕的大约1匝的矩形环状的导体。外部电极p1是配置在绝缘基材层11a的第一边(图1的(b)中的绝缘基材层11a的左边)中央附近的矩形的导体。外部电极p2是配置在绝缘基材层11a的第二边(图1的(b)中的绝缘基材层11a的右边)中央附近的矩形的导体。连接导体cn1是对外部电极p1和线圈图案cp1的第一端之间进行连接的导体。线圈图案cp1、外部电极p1、p2以及连接导体cn1例如是由cu箔等构成的导体图案。

此外，在绝缘基材层11a形成有层间连接导体v1、v4。

在绝缘基材层12a的表面形成有线圈图案cp2以及导体22。线圈图案cp2是沿着绝缘基材层12a的外周卷绕的大约1匝的矩形环状的导体。如图1的(b)所示，线圈图案cp2的第一端经由层间连接导体v1与线圈图案cp1的第二端连接。导体22是配置在绝缘基材层12a的第二边(图1的(b)中的绝缘基材层12a的右边)中央附近的矩形的导体。导体22经由层间连接导体v4与外部电极p2连接。线圈图案cp2以及导体22例如是由cu箔等构成的导体图案。

此外，在绝缘基材层12a形成有层间连接导体v2、v3。

在绝缘基材层13a的表面形成有线圈图案cp3、导体21以及连接导体cn2。线圈图案cp3是沿着绝缘基材层13a的外周卷绕的大约1匝的矩形环状的导体。如图1的(b)所示，线圈图案cp3的第一端经由层间连接导体v2与线圈图案cp2的第二端连接。导体21是配置在绝缘基材层13a的第二边(图1的(b)中的绝缘基材层13a的右边)中央附近的矩形的导体。导体21经由层间连接导体v3与导体22连接。连接导体cn2是对导体21与线圈图案cp3的第二端之间进行连接的导体。线圈图案cp3、导体21以及连接导体cn2例如是cu箔等的导体图案。

保护层1a是形成在层叠体10a的第一主面vs1侧的大致整个面且被覆形成在绝缘基材层11a(第一主面vs1侧)的线圈图案cp1的树脂膜。保护层1a在与外部电极p1、p2相应的位置具有开口ap1、ap2。因此，通过在绝缘基材层11a的上表面形成保护层1a，从而外部电极p1、p2从第一主面vs1露出。保护层1a例如是阻焊膜或覆盖膜等。另外，在本实用新型的“振动板”中保护层1a不是必需的。

像这样，在振动板101中，包含分别形成在三个绝缘基材层11a、12a、13a的多个线圈图案cp1、cp2、cp3以及层间连接导体v1、v2而形成大约3匝的矩形螺旋状的线圈31。此外，如图2所示，线圈31的卷绕轴ax与多个绝缘基材层11a、12a、13a的层叠方向(z轴方向)一致。线圈31的第一端与外部电极p1连接，线圈31的第二端与外部电极p2连接。

如图2所示，线圈图案cp1的线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp3的线宽度细。

此外，如图2所示，线圈图案cp1在层叠方向(z轴方向)上与第二主面vs2相比更靠近第一主面vs1。具体地，在将z轴方向上的线圈图案cp1与第一主面vs1之间的距离设为l11并将z轴方向上的线圈图案cp1与第二主面vs2之间的距离设为l12的情况下，l11＜l12成立。

在本实施方式中，上述的线圈图案cp1相当于本实用新型中的“第一主面侧线圈图案”。本实用新型中的所谓“第一主面侧线圈图案”，是指多个线圈图案中的配置得最靠第一主面vs1的线圈图案。

此外，本实用新型中的所谓“线圈图案”，是指有助于与磁铁相互作用的磁通量的形成的导体图案(参照图1的(b)中的用点图案示出的线圈图案cp1、cp2、cp3)。另外，可认为与线圈31的两端连接的连接导体cn1、cn2实质上无助于与磁铁相互作用的磁通量的形成，因此从本实用新型的“线圈图案”排除。

接着，参照图对本实施方式涉及的振动元件进行说明。图3的(a)是示出第一实施方式涉及的振动元件201的主要部分的俯视图，图3的(b)是示出振动元件201的主要部分的剖视图。另外，在图3的(a)中，为了使构造易懂，用点图案示出线圈31的形成区域ce。

振动元件201具备振动板101以及磁铁41。

振动板101的长边方向上的两端在振动元件201被组装到未图示的电子设备时被固定，磁铁41固定于未图示的电子设备的壳体(或盖体)等。如图3的(a)所示，从z轴方向观察，磁铁41配置在与线圈31的形成区域ce重叠的位置。

在本实施方式中，该磁铁41相当于本实用新型中的“第一磁铁”。另外，本实用新型中的所谓“第一磁铁”，是指最靠近多个线圈图案中的第一主面侧线圈图案而配置的磁铁。

此外，振动板101的外部电极p1、p2在振动元件201被组装到未图示的电子设备时与电子设备的电路连接。通过在振动板101的线圈31流过驱动电流，从而振动板101在图3的(b)中的空心箭头所示的方向上振动。

根据本实施方式涉及的振动元件201，达到如下的效果。

(a)在本实施方式涉及的振动元件201中，第一磁铁(磁铁41)最靠近多个线圈图案cp1、cp2、cp3中的第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)而配置。此外，第一主面侧线圈图案的线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp3的线宽度细。一般来说，与形成线圈的线圈图案(导体)的线宽度粗的情况相比，在线圈图案的线宽度细的情况下，在线圈图案的周围产生的磁通量更多。因此，通过该结构，基于第一磁铁和第一主面侧线圈图案的相互作用的电磁力变大，振动板101的驱动效率提高(能够增大振动板101的振幅)。

此外，在本实施方式中，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)的线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp3的线宽度细。即，通过只使第一主面侧线圈图案的线宽度变细，从而与将线圈的导体损耗设为相同的条件并使多个线圈图案全部的线宽度相同的情况相比，能够增大基于第一磁铁和线圈的相互作用的电磁力。此外，与将电磁力设为相同的条件并使多个线圈图案全部的线宽度相同的情况相比，可抑制线圈的导体损耗的大幅的增加。

(b)在本实施方式中，如图2所示，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)在层叠方向(z轴方向)上与第二主面vs2相比更靠近第一主面vs1(l11＜l12)。通过该结构，与第一主面侧线圈图案在z轴方向上与第一主面vs1相比更靠近第二主面vs2的情况(l11＞l12)相比，因为线圈31靠近第一磁铁而配置，所以能够进一步增大基于第一磁铁和线圈31的相互作用的电磁力。

此外，一般来说，在振动板振动时，振动板(层叠体)的表层比内层更大地伸缩。即，在本实施方式中，在振动板振动时大幅伸缩的层叠体10a的第一主面vs1附近，配置有线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp3细的第一主面侧线圈图案(l11＜l12)。一般来说，导体图案的刚性与由树脂材料构成的绝缘基材层相比相对高。因此，通过该结构，可维持在振动板振动时大幅伸缩的层叠体10a的第一主面vs1附近的可挠性，能够增大振动板振动时的振幅。

另外，虽然在本实施方式中示出了第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)的线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp3的线宽度细的情况，但是并不限定于该结构。只要第一主面侧线圈图案的线宽度比除其以外的线圈图案中的至少一个的线宽度细，就达到上述作用、效果。但是，通过使第一主面侧线圈图案的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细，从而能够高效地提高基于第一磁铁和线圈的相互作用的电磁力，且能够抑制线圈31的导体损耗的增加。

本实施方式涉及的振动板101例如通过以下的工序来制造。图4是依次示出振动板101的制造工序的剖视图。另外，在图4中，为了说明的方便，以单片(onechip)下的制造工序进行说明，但是实际的振动板的制造工序以集合基板状态进行。

如图4中的(1)所示，首先，准备多个绝缘基材层11a、12a、13a。然后，在多个绝缘基材层11a、12a、13a分别形成线圈图案cp1、cp2、cp3、外部电极p1、p2以及导体21、22等。具体地，将金属箔(例如，cu箔)层压在集合基板状态的绝缘基材层11a、12a、13a的单侧主面，并通过光刻对该金属箔进行图案化，由此形成线圈图案cp1、cp2、cp3、外部电极p1、p2以及导体21、22。

绝缘基材层11a、12a、13a例如是液晶聚合物等的热塑性树脂片。

另外，在多个绝缘基材层11a、12a、13a形成其它导体(图1的(b)中的连接导体cn1、cn2)、层间连接导体(图1的(b)中的层间连接导体v1、v2、v3、v4)。层间连接导体通过如下方式来设置，即，在用激光等设置了贯通孔之后，配设包含cu、ag、sn、ni、mo等中的一种以上或它们的合金的导电性膏，并通过后面的加热加压使其硬化(固化)。因此，层间连接导体设为熔点(熔融温度)比后面的加热加压时的温度低的材料。

接着，如图4中的(2)、(3)所示，在刚性高的台座2上依次层叠绝缘基材层11a、12a、13a，并对层叠的多个绝缘基材层11a、12a、13a进行加热加压，由此构成层叠体10ap。具体地，对层叠的多个绝缘基材层11a、12a、13a进行加热，并从图4中的(2)所示的空心箭头的方向进行利用静水压的等静压压制(加压)。

然后，在层叠体10ap的一个主面(图4中的(3)所示的层叠体10ap的上表面)侧形成保护层1a。保护层1a在与外部电极p1、p2相应的位置具有开口。因此，通过在层叠体10ap(绝缘基材层11a)的上表面形成保护层1a，从而外部电极p1、p2从第一主面露出。保护层1a是线圈图案cp1等的形成面的氧化防止用的树脂膜，例如为阻焊膜、覆盖膜等。

最后，从集合基板分离为各个单片，得到如图4中的(4)所示的振动板101。

通过上述的制造方法，能够容易地制造在提高与磁铁之间的电磁力的同时抑制了线圈的导体损耗的大幅的增加的振动板。

《第二实施方式》

在第二实施方式中，示出遍及多个绝缘基材层形成的线圈图案的结构与第一实施方式不同的例子。

图5的(a)是第二实施方式涉及的振动板102的外观立体图，图5的(b)是振动板102的分解立体图。图6的(a)是示出第一主面侧线圈图案的位置关系的、振动板102的x-z面处的剖视图，图6的(b)是示出第二主面侧线圈图案的位置关系的、振动板102的x-z面处的剖视图。另外，在图5的(b)中，为了使构造易懂，用点图案示出线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cp5。

振动板102具备层叠体10b、形成在层叠体10b的线圈32(后面详述)以及外部电极p1、p2。

本实施方式涉及的线圈32与第一实施方式涉及的线圈31的不同点在于，包含分别形成在五个绝缘基材层的五个线圈图案。此外，本实施方式的层叠体10b的绝缘基材层的层叠数与第一实施方式涉及的层叠体10a不同。关于其它结构，与振动板101实质上相同。

以下，对与第一实施方式涉及的振动板101不同的部分进行说明。

如图5的(b)所示，层叠体10b依次层叠多个绝缘基材层15b、14b、13b、12b、11b以及保护层1b而形成。多个绝缘基材层11b、12b、13b、14b、15b的结构与在第一实施方式中说明的绝缘基材层11a、12a、13a实质上相同。

在绝缘基材层11b的表面形成有线圈图案cp1、外部电极p1、p2以及连接导体cn1。线圈图案cp1、外部电极p1、p2以及连接导体cn1的结构与在第一实施方式中说明的结构实质上相同。

此外，在绝缘基材层11b形成有层间连接导体v1、v8。

在绝缘基材层12b的表面形成有线圈图案cp2以及导体24。线圈图案cp2、导体24与在第一实施方式中说明的线圈图案cp2以及导体22实质上相同。如图5的(b)所示，线圈图案cp2的第一端经由层间连接导体v1与线圈图案cp1的第二端连接。导体24经由层间连接导体v8与外部电极p2连接。

此外，在绝缘基材层12b形成有层间连接导体v2、v7。

在绝缘基材层13b的表面形成有线圈图案cp3以及导体23。线圈图案cp3的结构与在第一实施方式中说明的线圈图案cp3实质上相同。如图5的(b)所示，线圈图案cp3的第一端经由层间连接导体v2与线圈图案cp2的第二端连接。导体23是配置在绝缘基材层13b的第二边(图5的(b)中的绝缘基材层13b的右边)中央附近的矩形的导体。导体23经由层间连接导体v7与导体24连接。导体23例如是cu箔等的导体图案。

此外，在绝缘基材层13b形成有层间连接导体v3、v6。

在绝缘基材层14b的表面形成有线圈图案cp4以及导体22。线圈图案cp4是沿着绝缘基材层14b的外周卷绕的大约1匝的矩形环状的导体。如图5的(b)所示，线圈图案cp4的第一端经由层间连接导体v3与线圈图案cp3的第二端连接。导体22是配置在绝缘基材层14b的第二边(图5的(b)中的绝缘基材层14b的右边)中央附近的矩形的导体。导体22经由层间连接导体v6与导体23连接。线圈图案cp4以及导体23例如是cu箔等的导体图案。

此外，在绝缘基材层14b形成有层间连接导体v4、v5。

在绝缘基材层15b的表面形成有线圈图案cp5以及导体21。线圈图案cp5是沿着绝缘基材层15b的外周形成的大约1匝的矩形环状的导体。如图5的(b)所示，线圈图案cp5的第一端经由层间连接导体v4与线圈图案cp4连接。线圈图案cp5的第二端与导体21连接。导体21是配置在绝缘基材层15b的第二边(图5的(b)中的绝缘基材层15b的右边)中央附近的矩形的导体。导体21经由层间连接导体v5与导体22连接。线圈图案cp5以及导体21例如是cu箔等的导体图案。

保护层1b的结构与在第一实施方式中说明的保护层1a实质上相同。

像这样，在振动板102中，包含分别形成在五个绝缘基材层11b、12b、13b、14b、15b的多个线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cp5以及层间连接导体v1、v2、v3、v4而形成大约5匝的矩形螺旋状的线圈32。此外，线圈32的第一端与外部电极p1连接，线圈31的第二端与外部电极p2连接。

如图6的(a)以及图6的(b)所示，线圈图案cp1、cp5的线宽度比除它们以外的线圈图案cp2、cp3、cp4中的至少一个(线圈图案cp2、cp4)的线宽度细。

此外，如图6的(a)所示，线圈图案cp1在层叠方向(z轴方向)上与第二主面vs2相比更靠近第一主面vs1。具体地，在将z轴方向上的线圈图案cp1与第一主面vs1之间的距离设为l11并将z轴方向上的线圈图案cp1与第二主面vs2之间的距离设为l12的情况下，l11＜l12成立。此外，如图6的(b)所示，线圈图案cp5在z轴方向上与第一主面vs1相比更靠近第二主面vs2。具体地，在将z轴方向上的线圈图案cp5与第一主面vs1之间的距离设为l21并将z轴方向上的线圈图案cp5与第二主面vs2之间的距离设为l22的情况下，l21＞l22成立。

在本实施方式中，上述的线圈图案cp1相当于本实用新型中的“第一主面侧线圈图案”。此外，在本实施方式中，上述的线圈图案cp5相当于本实用新型中的“第二主面侧线圈图案”。本实用新型中的所谓“第二主面侧线圈图案”，是指多个线圈图案中的配置得最靠第二主面vs2的线圈图案。

接着，参照图对本实施方式涉及的振动元件进行说明。图7是示出第二实施方式涉及的振动元件202的主要部分的剖视图。

振动元件202具备振动板102以及磁铁41、42。

振动板102的长边方向上的两端在振动元件202被组装到未图示的电子设备时被固定，磁铁41、42固定于未图示的电子设备的壳体(或盖体)等。

在本实施方式中，该磁铁41相当于本实用新型中的“第一磁铁”。此外，在本实施方式中，磁铁42相当于本实用新型中的“第二磁铁”。另外，本实用新型中的所谓“第二磁铁”，是指多个线圈图案中的最靠近第二主面侧线圈图案而配置的磁铁。

另外，虽然省略图示，但是从z轴方向观察，磁铁41、42配置在与线圈31的形成区域(参照图3的(a)中的线圈的形成区域ce)重叠的位置。

此外，振动板102的外部电极p1、p2在振动元件202被组装到未图示的电子设备时与电子设备的电路连接。通过在振动板102的线圈32流过驱动电流，从而振动板102在图7中的空心箭头所示的方向上振动。

根据本实施方式涉及的振动元件202，除了在第一实施方式中叙述的效果以外，还达到如下的效果。

(c)在本实施方式涉及的振动元件202中，第一磁铁(磁铁41)最靠近多个线圈图案中的第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)而配置，第二磁铁(磁铁42)最靠近多个线圈图案中的第二主面侧线圈图案(线圈图案cp5)而配置。此外，第一主面侧线圈图案以及第二主面侧线圈图案的线宽度比除它们以外的线圈图案cp2、cp3、cp4中的至少一个的线宽度细。因此，通过该结构，基于第一磁铁和第一主面侧线圈图案的相互作用的电磁力变大，且基于第二磁铁和第二主面侧线圈图案的相互作用的电磁力也变大。因此，与在第一实施方式中说明的振动元件201相比较，振动板102的驱动效率进一步提高(能够进一步增大振动板102的振幅)。

(d)此外，在本实施方式中，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)的线宽度、以及第二主面侧线圈图案(线圈图案cp5)的线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp4的线宽度细。因此，通过该结构，与使多个线圈图案全部的线宽度相同的情况相比，能够增大基于磁铁(第一磁铁以及第二磁铁)和线圈32的相互作用的电磁力，且能够抑制线圈32的导体损耗的大幅的增加。

(e)此外，在本实施方式中，如图6的(b)所示，第二主面侧线圈图案(线圈图案cp5)在层叠方向(z轴方向)上与第一主面vs1相比更靠近第二主面vs2(l21＞l22)。通过该结构，与第二主面侧线圈图案在z轴方向上与第二主面vs2相比更靠近第一主面vs1的情况相比，因为线圈32靠近第二磁铁(磁铁42)而配置，所以能够进一步增大基于第二磁铁和线圈32的相互作用的电磁力。另外，在本实施方式中，因为第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)在z轴方向上与第二主面vs2相比更靠近第一主面vs1(l11＜l12)，所以能够进一步增大基于磁铁和线圈32的相互作用的整体的电磁力。

(f)此外，在本实施方式中，在振动板振动时大幅伸缩的层叠体10b的两主面(第一主面vs1以及第二主面vs2)附近，分别配置线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp4细的第一主面侧线圈图案以及第二主面侧线圈图案(l11＜l12以及l21＞l22)。因此，通过该结构，可维持在振动板振动时大幅伸缩的层叠体10b的两主面(第一主面vs1以及第二主面vs2)附近的可挠性，能够进一步增大振动板振动时的振幅。

《第三实施方式》

在第三实施方式中，示出遍及多个绝缘基材层而形成的线圈图案的结构与第二实施方式不同的例子。

图8的(a)是第三实施方式涉及的振动板103的外观立体图，图8的(b)是振动板103的分解立体图。图9是振动板103的x-z面处的剖视图。另外，在图8的(b)中，为了使构造易懂，用点图案示出线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cp5。

振动板103具备层叠体10b、形成在层叠体10b的线圈33(后面详述)以及外部电极p1、p2。

在本实施方式涉及的线圈33中，分别形成在五个绝缘基材层的五个线圈图案的结构与第二实施方式涉及的线圈32不同。关于其它结构，与振动板102实质上相同。

以下，对与第二实施方式涉及的振动板102不同的部分进行说明。

在振动板103中，包含分别形成在五个绝缘基材层11b、12b、13b、14b、15b的多个线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cp5以及层间连接导体v1、v2、v3、v4而形成大约5匝的矩形螺旋状的线圈33。

如图9所示，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)在层叠方向(z轴方向)上与第二主面vs2相比更靠近第一主面vs1。此外，第二主面侧线圈图案(线圈图案cp5)在z轴方向上与第一主面vs1相比更靠近第二主面vs2。

此外，如图9所示，在层叠方向(z轴方向)上，与层叠体10c的表层相比配置得越靠内层，多个线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cp5的线宽度越粗。具体地，在z轴方向上位于层叠体10c的最表层的第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)以及第二主面侧线圈图案(线圈图案cp5)在多个线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cps之中线宽度最细，在z轴方向上位于层叠体10c的最内层的线圈图案cp3在多个线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cp5之中线宽度最粗。像这样，在本实施方式中，在z轴方向上越是最靠近第一主面vs1或第二主面vs2的线圈图案，线宽度越细，在z轴方向上越是更靠近包含保护层1b在内的层叠体10c的中央高度(参照图9中的中央高度ml。)而配置的线圈图案，线宽度越粗。

根据本实施方式，除了在第一实施方式、第二实施方式中叙述的效果以外，还达到如下的效果。

(g)在本实施方式涉及的振动板103中，如图9所示，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)的线宽度以及第二主面侧线圈图案(线圈图案cp5)的线宽度比除它们以外的线圈图案cp2、cp3、cp4的线宽度细。通过该结构，与第一主面侧线圈图案的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细的情况相比(参照第一实施方式)，能够在更加高效地提高基于磁铁(第一磁铁以及第二磁铁)和线圈的相互作用的电磁力的同时抑制线圈的导体损耗的增加。

(h)此外，除了上述(g)的结构以外，在本实施方式中，在层叠方向(z轴方向)上与层叠体10c的表层相比配置得越靠内层，多个线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cp5的线宽度越粗。通过该结构，能够在维持振动板的可挠性的基础上，更高效地提高基于磁铁和线圈33的相互作用的电磁力，且能够抑制线圈33的导体损耗的增加。

《第四实施方式》

在第四实施方式中，示出遍及多个绝缘基材层而形成的线圈图案的结构与第三实施方式不同的例子。

图10是第四实施方式涉及的振动板104的x-z面处的剖视图。

振动板104具备层叠体10b、形成在层叠体10b的线圈34(后面详述)以及外部电极p1、p2。

在本实施方式涉及的线圈34中，分别形成在五个绝缘基材层的五个线圈图案的配置与第三实施方式涉及的线圈33不同。关于其它结构，与振动板103实质上相同。

以下，对与第三实施方式涉及的振动板103不同的部分进行说明。

如图10所示，在多个绝缘基材层的表面卷绕的线圈图案cp1、cp2、cp3、cp4、cp5配置为内侧端部分别在z轴方向上一致，使得线圈开口最大限度地扩大。

根据本实施方式，除了在第一实施方式、第二实施方式、第三实施方式中叙述的效果以外，还达到如下的效果。

(i)在本实施方式中，因为能够扩大线圈34的线圈开口，所以能够提高基于磁铁和线圈的相互作用的电磁力。

《第五实施方式》

在第五实施方式中，示出具备在主面形成有凹部的层叠体的振动板的例子。

图11的(a)是第五实施方式涉及的振动板105的外观立体图，图11的(b)是振动板105的分解立体图。图12的(a)是振动板105的俯视图，图12的(b)是振动板105的x-z面处的剖视图。另外，在图11的(b)中，为了使构造易懂，用点图案示出线圈图案cp1、cp2、cp3。此外，在图12的(a)中，用影线示出线圈开口co。

振动板105具备层叠体10c、在层叠体10c形成的线圈31、外部电极p1、p2。本实施方式涉及的线圈31与在第一实施方式中说明的线圈大致相同。

本实施方式涉及的层叠体10c与第一实施方式的层叠体10a的不同点在于，具有第一凹部hp1。此外，层叠体10c的绝缘基材层的层叠数与层叠体10a不同。关于其它结构，与振动板101实质上相同。

以下，对与第一实施方式涉及的振动板101不同的部分进行说明。

如图11的(b)所示，层叠体10c依次层叠多个绝缘基材层14c、13c、12c、11c以及保护层1c而形成。多个绝缘基材层11c、12c、13c、14c以及保护层1c的结构与在第一实施方式中说明的绝缘基材层11a、12a、13a以及保护层1a实质上相同。

如图11的(b)所示，在绝缘基材层11c、12c分别形成有开口部h1、h2。开口部h1是贯通绝缘基材层11c的两主面的矩形的孔，配置在被线圈图案cp1包围的区域内。开口部h2是贯通绝缘基材层12c的两主面的矩形的孔，配置在被线圈图案cp2包围的区域内。

保护层1c的结构与在第一实施方式中说明的保护层1a实质上相同。保护层1c在与外部电极p1、p2相应的位置具有开口ap1、ap2，在与绝缘基材层11c的开口部h1相应的位置具有开口ap3。

上述的保护层1c的开口ap3、以及绝缘基材层11c、12c的开口部h1、h2构成第一凹部hp1(后面详述)。

如图12的(b)所示，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)的线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp3的线宽度细。此外，在层叠方向(z轴方向)上与层叠体10c的表层相比配置得越靠内层，多个线圈图案cp1、cp2、cp3的线宽度越粗。

如图11的(a)、图12的(a)以及图12的(b)所示，第一凹部hp1形成在层叠体10c的第一主面vs1。第一凹部hp1是从第一主面vs1朝向层叠体10c的内侧(-z方向)形成的倒四棱锥台状的开口。

如图12的(a)所示，从z轴方向观察，第一凹部hp1配置在线圈31的线圈开口co的内侧。此外，如图12的(b)所示，第一凹部hp1的侧面从第一主面vs1朝向层叠体10c的内侧(-z方向)形成为锥状。

接着，参照图对本实施方式涉及的振动元件进行说明。图13是示出第五实施方式涉及的振动元件205的主要部分的剖视图。

振动元件205具备振动板105以及磁铁41。

振动板105的长边方向上的两端在振动元件205被组装到未图示的电子设备时被固定，磁铁41被固定于未图示的电子设备的壳体(或盖体)等。如图13所示，磁铁41的至少一部分配置在第一凹部hp1的内侧。

在本实施方式中，该磁铁41相当于本实用新型中的“第一磁铁”。

此外，振动板105的外部电极p1、p2在振动元件205被组装到未图示的电子设备时与电子设备的电路连接。通过在振动板105的线圈31流过驱动电流，从而振动板105在图13中的空心箭头所示的方向上振动。

根据本实施方式涉及的振动元件205，除了在第一实施方式中叙述的效果以外，还达到如下的效果。

(j)在本实施方式中，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1)的线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp3的线宽度细。此外，在层叠方向(z轴方向)上与层叠体10c的表层相比配置得越靠内层，多个线圈图案cp1、cp2、cp3p4、cp5的线宽度越粗。通过该结构，能够在维持振动板的可挠性的基础上，在更高效地提高基于磁铁(第一磁铁以及第二磁铁)和线圈33的相互作用的电磁力的同时抑制线圈33的导体损耗的增加。

(k)在本实施方式中，在层叠体10c的第一主面vs1形成有第一凹部hp1，第一磁铁(磁铁41)的至少一部分配置在第一凹部hp1的内侧。通过该结构，与未将第一磁铁配置在第一凹部hp1的内侧的情况相比，因为线圈31靠近第一磁铁而配置，所以能够进一步增大基于第一磁铁和线圈31的相互作用的电磁力。

(m)此外，在本实施方式中，从z轴方向观察，第一凹部hp1配置在线圈31的线圈开口co的内侧。即，如图12的(b)所示，第一凹部hp1沿着刚性比由树脂材料构成的绝缘基材层高的线圈图案cp1、cp2、cp3而形成，因此第一凹部hp1的形状被线圈图案cp1、cp2、cp3加强。因此，即使层叠体10c(树脂基材层)是容易变形的树脂材料，也容易维持第一凹部hp1的形状。

(n)此外，在本实施方式中，第一凹部hp1的侧面从第一主面vs1朝向层叠体10c的内侧形成为锥状，且第一磁铁(磁铁41)的至少一部分配置在第一凹部hp1的内侧。通过该结构，在振动板105不规则地振动时，第一凹部hp1的侧面与第一磁铁抵接从而振动板105向适当位置运动，由此能够相对于第一磁铁将振动板105修正为正确的位置关系。

本实施方式涉及的振动板105例如通过以下的工序来制造。图14是依次示出振动板105的制造工序的剖视图。另外，在图14中，为了说明的方便，以单片(onechip)下的制造工序进行说明，但是实际的振动板的制造工序以集合基板状态进行。

首先，如图14中的(1)所示，准备多个绝缘基材层11c、12c、13c、14c。

接着，在多个绝缘基材层11c、12c、13c分别形成线圈图案cp1、cp2、cp3、外部电极p1、p2、导体21、22、其它导体(图12的(b)中的连接导体cn1、cn2)以及层间连接导体等。

此外，在绝缘基材层11c、12c分别形成开口部h1a、开口部h2a。开口部h1a是配置在被线圈图案cp1包围的区域内的贯通孔。开口部h2a是配置在被线圈图案cp2包围的区域内的贯通孔。开口部h1a、h2a例如通过利用激光等进行蚀刻来形成。另外，开口部h1a、h2a也可以通过利用钻头等的磨削、研磨或冲裁来形成。

另外，在本实施方式中，从z轴方向观察的开口部h1a的面积大于从z轴方向观察的开口部h2a的面积。

接着，如图14中的(2)所示，在刚性高的台座2上依次层叠绝缘基材层14c、13c、12c、11c。此时，绝缘基材层12c的开口部h2a配置为，从层叠方向(z轴方向)观察，容纳于绝缘基材层11c的开口部h1a的内部。即，在层叠了绝缘基材层11c以及绝缘基材层12c时，开口部h1a、h2a重叠。

然后，通过将层叠的多个绝缘基材层11c、12c、13c、14c进行加热加压，从而形成层叠体10cp。具体地，对层叠的多个绝缘基材层进行加热，并从图14中的(2)所示的箭头的方向通过刚性高的构件3进行压制(加压)。同时，未被构件3加压的部分从图14中的(2)所示的中空箭头的方向进行利用了静水压的等静压压制。构件3是一面(图14中的(2)所示的构件3的上表面)的面积大于另一面(图14中的(2)所示的构件3的下表面)的面积的四棱锥台状的构件，例如是金属制块。

在上述加热、加压时，构件3配置为位于重叠的开口部h1a、h2a的内侧。因此，重叠的开口部h1a、h2a的侧面与构件3的端面抵接并被加压，成为沿着构件3的端面的形状。这样，形成侧面为锥状的第一凹部hp1a。

接着，在层叠体10cp的一个主面(图14中的(3)所示的层叠体10cp的上表面)形成保护层1c。保护层1c在与外部电极p1、p2相应的位置具有开口，在与第一凹部hp1a相应的位置具有开口。因此，通过在层叠体10cp(绝缘基材层11c)的上表面形成保护层1c，从而外部电极p1、p2从第一主面露出，形成第一凹部hp1。

在上述的工序之后，从集合基板分离为各个单片，得到如图14中的(4)所示的振动板105。

另外，虽然在上述制造方法中示出了将形成了开口部(图14中的(1)所示的开口部h1a、h2a)的绝缘基材层层叠而形成第一凹部hp1的例子，但是第一凹部hp1的形成方法并不限定于此。第一凹部hp1也可以在形成了层叠体之后通过用激光、钻头等对层叠体的主面进行磨削、研磨、蚀刻来形成。此外，形成层叠体。

另外，虽然在本实施方式中示出了在层叠体10c的第一主面vs1形成一个第一凹部hp1的例子，但是并不限定于该结构。也可以在层叠体10c的第二主面vs2形成凹部(本实用新型中的“第二凹部”)，且第二磁铁的至少一部分配置在第二凹部的内侧。另外，第一凹部hp1(或第二凹部)的个数并不限定于一个，也可以是多个。另外，第一凹部hp1(或第二凹部)的位置能够适当地进行变更。

此外，虽然在本实施方式中示出了第一凹部hp1(或第二凹部)为从层叠体10c的主面朝向内侧形成的倒四棱锥台状的开口的例子，但是第一凹部hp1(或第二凹部)并不限定于该形状。第一凹部hp1(或第二凹部)的形状能够适当地进行变更，例如也可以是倒多棱锥状、倒圆锥台状、倒圆柱状、倒圆锥状、半球状等。即，第一凹部hp1(或第二凹部)的侧面无需形成为锥状。但是，从上述(n)等的作用、效果的方面出发，第一凹部hp1(或第二凹部)的侧面优选形成为锥状。

进而，也可以是如下构造，即，第一磁铁的至少一部分配置在第一凹部hp1的内侧，且第二磁铁的至少一部分配置在第二凹部的内侧。通过该结构，线圈31更加靠近第一磁铁而配置且线圈31更加靠近第二磁铁而配置，因此能够增大基于第一磁铁和线圈31的相互作用的电磁力，且能够增大基于第二磁铁和线圈31的相互作用的电磁力。因此，与第一磁铁的至少一部分配置于第一凹部hp1的结构相比，振动板的驱动效率进一步提高(能够进一步增大振动板的振幅)。

此外，虽然在本实施方式中示出了从z轴方向观察，第一凹部hp1配置在线圈31的线圈开口co的内侧的例子，但是并不限定于该结构。从z轴方向观察，第一凹部hp1也可以不配置在线圈31的线圈开口co的内侧。但是，从上述(m)等的作用、效果的方面出发，从z轴方向观察，第一凹部hp1(或第二凹部)优选配置在线圈31的线圈开口co的内侧。

《第六实施方式》

在第六实施方式中，示出多个线圈图案为旋涡状的例子。

图15的(a)是第六实施方式涉及的振动板106的外观立体图，图15的(b)是振动板106的剖视图。图16是振动板106的分解俯视图。另外，在图16中，为了使构造易懂，用点图案示出线圈图案cp1a、cp2a、cp3a、cp4a。此外，在图16中，将线圈图案cp1a的最外周部分用比其它部分浓的点图案示出。

振动板106具备层叠体10d、形成在层叠体10d的线圈36、外部电极p1、p2。本实施方式涉及的振动板106与第一实施方式涉及的振动板101的不同点在于具备线圈36。关于振动板106的其它结构，与振动板101实质上相同。

以下，对与第一实施方式涉及的振动板101不同的部分进行说明。

如图16所示，层叠体10d依次层叠多个绝缘基材层14d、13c、12d、11d以及保护层1d而形成。多个绝缘基材层11d、12d、13d、14d以及保护层1d的结构与在第一实施方式中说明的多个绝缘基材层11a、12a、13a，14a以及保护层1a实质上相同。

在绝缘基材层11d的表面形成有线圈图案cp1a、外部电极p1、p2以及连接导体cn1。线圈图案cp1a是沿着绝缘基材层11d的外周卷绕的大约1.5匝多的矩形旋涡状的导体。外部电极p1、p2以及连接导体cn1的结构与在第一实施方式中说明的结构相同。

此外，在绝缘基材层11d形成有层间连接导体v1、v6。

在绝缘基材层12d的表面形成有线圈图案cp2a以及导体23。线圈图案cp2a是沿着绝缘基材层12d的外周卷绕的大约1.5匝多的矩形旋涡状的导体。如图16所示，线圈图案cp2a的第一端经由层间连接导体v1与线圈图案cp1a的第二端连接。导体23是配置在绝缘基材层12d的第二边(图16中的绝缘基材层12d的右边)中央附近的矩形的导体。导体23经由层间连接导体v6与外部电极p2连接。

此外，在绝缘基材层12d形成有层间连接导体v2、v5。

在绝缘基材层13d的表面形成有线圈图案cp3a以及导体22。线圈图案cp3a是沿着绝缘基材层13d的外周卷绕的大约1.5匝多的矩形旋涡状的导体。如图16所示，线圈图案cp3a的第一端经由层间连接导体v2与线圈图案cp2a的第二端连接。如图16所示，导体22是配置在绝缘基材层13d的第二边(图16中的绝缘基材层13d的右边)中央附近的矩形的导体。导体22经由层间连接导体v5与导体23连接。

此外，在绝缘基材层13d形成有层间连接导体v3、v4。

在绝缘基材层14d的表面形成有线圈图案cp4a、导体21以及连接导体cn2。线圈图案cp4a是沿着绝缘基材层14d的外周卷绕的大约1.5匝的矩形旋涡状的导体。如图16所示，线圈图案cp4a的第一端经由层间连接导体v3与线圈图案cp3a的第二端连接。导体21是配置在绝缘基材层14d的第二边(图16中的绝缘基材层14d的右边)中央附近的矩形的导体。导体21经由层间连接导体v4与导体22连接。连接导体cn2是对导体21与线圈图案cp4a的第二端之间进行连接的导体。

像这样，在振动板106中，包含分别形成在四个绝缘基材层11d、12d、13d、14d的多个线圈图案cp1a、cp2a、cp3a、cp4a以及层间连接导体v1、v2、v3而形成大约6.5匝的线圈36。此外，线圈36的第一端与外部电极p1连接，线圈36的第二端与外部电极p2连接。

如图16所示，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1a)的一部分的线宽度比除其以外的线圈图案cp2a、cp3a、cp4a的线宽度细。具体地，第一主面侧线圈图案的最外周部分(位于线圈图案cp1a的最外周的大约1匝)的线宽度比除其以外的线圈图案cp2a、cp3a、cp4a的线宽度细。

此外，如图15的(b)所示，第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1a)在层叠方向(z轴方向)上与第二主面vs2相比更靠近第一主面vs1(l11＜l12)。

接着，参照图对本实施方式涉及的振动元件进行说明。图17是示出第六实施方式涉及的振动元件206的主要部分的剖视图。

振动元件206具备振动板106以及磁铁41。

振动板106的长边方向上的两端在振动元件206被组装到未图示的电子设备时被固定，磁铁41被固定于未图示的电子设备的壳体(或盖体)等。

在本实施方式中，该磁铁41相当于本实用新型中的“第一磁铁”。

另外，虽然省略图示，但是从z轴方向观察，磁铁41配置在与线圈36的形成区域(参照图3的(a)中的线圈的形成区域ce)重叠的位置。

此外，振动板106的外部电极p1、p2在振动元件202被组装到未图示的电子设备时与电子设备的电路连接。通过在振动板106的线圈36流过驱动电流，从而振动板106在图17中的空心箭头所示的方向上振动。

即使在像本实施方式涉及的振动板106那样第一主面侧线圈图案(线圈图案cp1a)的一部分的线宽度比除其以外的线圈图案cp2、cp3的线宽度细的情况下，也达到在第一实施方式中叙述的那样的作用、效果。

另外，在旋涡状的第一主面侧线圈图案的一部分的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细的情况下，优选第一主面侧线圈图案的最外周部分(位于最外周的大约1匝)的半周以上的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细。在线圈图案为旋涡状的情况下(在线圈图案为1匝以上的情况下)，主要是线圈图案的最外周部分有助于与第一磁铁相互作用的磁通量的形成。因此，通过使第一主面侧线圈图案的最外周部分的半周以上的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细，从而能够在抑制线圈36的导体损耗的大幅的增加的同时有效地增大基于第一磁铁和线圈36的相互作用的电磁力。另外，从上述的作用、效果的方面出发，优选使第一主面侧线圈图案的最外周部分整体的线宽度比除其以外的线圈图案的线宽度细。另外，这对于第二主面侧线圈图案与第二磁铁的关系也是同样的。

《其它实施方式》

虽然在以上所示的各实施方式中示出了层叠体为矩形的平板的例子，但是并不限定于该结构。层叠体的平面形状在达到本实用新型的作用、效果的范围内能够适当地进行变更，例如也可以是圆形、椭圆形、多边形等。此外，层叠体的第一主面vs1以及第二主面vs2并不限定于完全的平面，也可以一部分是曲面等。

虽然在以上所示的各实施方式中示出了由热塑性树脂构成的层叠体的例子，但是并不限定于该结构。本实用新型的层叠体也可以由热硬化性树脂构成。

此外，虽然在以上所示的各实施方式中示出了具备将三个至五个绝缘基材层层叠而构成的层叠体的振动板，但是并不限定于该结构。形成层叠体的绝缘基材层的层数在达到本实用新型的作用、效果的范围内能够适当地进行变更。

另外，虽然关于以上所示的各实施方式涉及的振动板示出了包含分别形成在三个至五个绝缘基材层的大约1匝的多个线圈图案而具备螺旋状的线圈的例子，但是并不限定于该结构。本实用新型的振动板也可以是包含不足1匝的多个线圈图案而具备螺旋状或环状的线圈的结构，还可以是具备包含了环状以及旋涡状的多个线圈图案的线圈的结构。此外，本实用新型的振动板也可以是具备包含了分别形成在多个绝缘基材层的曲折(meander)状的线圈图案的线圈的结构。本实用新型中的线圈的形状以及卷绕数在达到本实用新型的作用、效果的范围内能够适当地进行变更。另外，本实用新型中的线圈只要是包含分别形成在至少两个以上的绝缘基材层的线圈图案的结构即可。

此外，虽然在以上所示的各实施方式中示出了仅具备第一磁铁的振动元件或具备第一磁铁和第二磁铁双方的振动元件这两个例子，但是并不限定于该结构。本实用新型的振动元件也可以是仅具备第二磁铁的结构。此外，虽然在以上所示的各实施方式中示出了振动元件具备一个或两个磁铁的例子，但是磁铁的个数并不限定于此，也可以为三个以上。在振动元件具备三个以上的磁铁的情况下，可以是振动元件具备多个第一磁铁，也可以是振动元件具备多个第二磁铁。

虽然在以上所示的各实施方式中示出了在层叠体的第一主面vs1侧设置了外部电极p1、p2的例子，但是本实用新型中的振动板并不限定于该结构。关于外部电极p1、p2的个数、形状、配置等，在达到本实用新型的作用、效果的范围内能够适当地进行变更。外部电极也可以设置在第二主面vs2侧，还可以设置在第一主面vs1以及第二主面vs2双方。

此外，虽然在以上所示的各实施方式中示出了在层叠体的第一主面vs1侧形成有保护层的例子，但是并不限定于该结构。如上所述，对本实用新型的振动板而言，保护层不是必需的。此外，保护层也可以形成在层叠体的第二主面vs2侧，还可以形成在第一主面vs1侧以及第二主面vs2侧双方。

最后，上述的实施方式的说明在所有的方面均为例示，不是限制性的。对本领域技术人员而言，能够适当地进行变形以及变更。本实用新型的范围不是由上述的实施方式示出，而是由权利要求书示出。进而，本实用新型的范围包括从与权利要求书内等同的范围内的实施方式进行的变更。

附图标记说明

ap1、ap2、ap3：开口；

ax：线圈的卷绕轴；

ce：线圈的形成区域；

cn1、cn2：连接导体；

co：线圈开口；

cp1、cp1a：线圈图案(第一主面侧线圈图案)；

cp2、cp2a、cp3、cp3a、cp4、cp4a、cp5：线圈图案；

h1、h1a、h2、h2a：开口部；

hp1、hp1a：第一凹部；

p1、p2：外部电极；

ml：中央高度；

v1、v2、v3、v4、v5、v6、v7、v8：层间连接导体；

vs1：第一主面；

vs2：第二主面；

1、1a、1b、1c、1d：保护层；

2：台座；

3：构件；

10a、10ap、10b、10c、10cp、10d：层叠体；

11a、11b、11c、11d、12a、12b、12c、12d、13a、13b、13c、13d、14b、14c、14d、15b：绝缘基材层；

21、22、23、24：导体；

31、32、33、34、36：线圈；

41：磁铁(第一磁铁)；

42：磁铁(第二磁铁)；

101、102、103、104、105、106：振动板；

201、202、205、206：振动元件。