告标记的半导体生产数据，表示虽然目前半导体芯片的生产过程中未出现不合格的情况，但是整个生产趋势存在潜在的影响生产过程的可能性，需要在出现错误之前及时进行处理。
[0087]本发明的较佳的实施例中，选择至少三个判断条件的原因在于可以检测出虽合格但存在潜在隐患的半导体生产数据。因此，本发明的发明目的在于:在检测出不合格的半导体生产数据的同时，检测出处于“警告”级别的生产数据并及时进行处理，以预防以后可能出现的生产错误。
[0088]S4:步骤4，保存匹配结果数据；
[0089]本发明的较佳的实施例中，处理单元处理得到上述匹配结果数据后，将其全部送入数据存储单元中保存。
[0090]S5:步骤5，调用匹配结果数据，以供使用者查看。
[0091]进一步地，本发明的较佳的实施例中，如图3所示，步骤5具体包括:
[0092]S51:步骤51,预设多个调用显示模板；
[0093]S52:步骤52，获取外部输入的请求显示一个预设的调用显示模板的请求指令；
[0094]S53:步骤53，根据请求指令调用匹配结果数据并填充至相应的调用显示模板的框架中；
[0095]S54:步骤54，输出经过填充的调用显示模板并显示，以供使用者查看。
[0096]综上所述，具体描述本发明的较佳的实施例中，对半导体生产数据进行一次量测的过程:
[0097]首先，迁移单元从外接的存储设备中获取适于量测的量测点数据，并将数据迁移至数据存储单元中保存；
[0098]随后，使用者通过输入单元设定本次量测所使用的判断条件，以及每个判断条件的相应的判断等级(合格级别或者警告级别)，并且将设定好的判断条件以及相应的判断等级送入条件存储单元中保存；
[0099]随后，处理单元选择保存于条件存储单元中的至少三个判断条件，对半导体生产数据进行匹配，以生成相应的匹配结果数据；在匹配结果数据中，处理单元根据所选择的不同的判断条件的判断等级，以及对半导体生产数据进行匹配的结果，对半导体生产数据打上相应的标记。
[0100]最后，使用者通过用户显示单元向结果调用单元发送请求显示匹配结果数据的指令，结果调用单元获取存储单元中保存的相应的匹配结果数据，并显示于用户显示单元上。
[0101]以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。
【主权项】
1.一种在线数据监控系统，适用于半导体芯片生产工艺中；其特征在于，包括: 迁移单元，连接外部的一存储设备，用于将所述存储设备中保存的半导体生产数据复制到所述在线数据监控系统中； 数据存储单元，连接所述迁移单元，用于保存所述迁移单元复制的所述半导体生产数据； 输入单元，供使用者输入预设的判断条件，以及所述判断条件的判断等级； 条件存储单元，连接所述输入单元，用于保存所述判断条件以及对应的所述判断等级； 处理单元，分别连接所述数据存储单元和所述条件存储单元，用于在所述条件存储单元中选择多个所述判断条件与所述半导体生产数据进行匹配，并得出相应的匹配结果数据，将所述匹配结果数据保存入所述数据存储单元中； 所述匹配结果数据中包括根据匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值； 结果调用单元，连接所述存储单元，用于向所述存储单元发送调用命令，以获取所述存储单元中保存的相应的所述匹配结果数据。2.如权利要求1所述的在线数据监控系统，其特征在于，所述判断条件的判断等级被区分为合格等级和警告等级； 匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为合格； 不匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为不合格； 匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为无需警告； 不匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为需要警告。3.如权利要求1所述的在线数据监控系统，其特征在于，所述迁移单元中包括: 数据选择模块，用于选择保存于所述存储设备的所述半导体生产数据中适于量测的量测点数据，并复制到所述数据存储单元中保存。4.如权利要求1所述的在线数据监控系统，其特征在于，所述结果调用单元中预设有多个调用显示模板。5.如权利要求4所述的在线数据监控系统，其特征在于，还包括: 用户显示单元，连接所述结果调用单元，用于向所述结果调用单元发送请求显示所述调用显示模板的请求指令，所述结果调用单元从所述数据存储单元中获取所述匹配结果数据并填充至请求显示的所述调用显示模板的框架内，将经过填充的所述调用显示模板发送至所述用户显示单元中显示。6.一种在线数据监控方法，适用于半导体芯片生产工艺中；其特征在于， 步骤1，复制保存于外部的存储设备中的所述半导体生产数据并保存； 步骤2，获取使用者输入的预设的判断条件，以及对应所述判断条件的判断等级，并保存； 步骤3，选择多个所述判断条件对被复制并保存的所述半导体生产数据进行匹配，随后形成相应的匹配结果数据； 步骤4，保存所述匹配结果数据； 步骤5，调用所述匹配结果数据，以供使用者查看。7.如权利要求6所述的在线数据监控方法，其特征在于，所述匹配结果数据中包括根据所述步骤3中的匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值。8.如权利要求7所述的在线数据监控方法，其特征在于，所述判断条件的判断等级被区分为合格等级和警告等级； 匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为合格； 不匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为不合格； 匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为无需警告； 不匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为需要警告。9.如权利要求6所述的在线数据监控方法，其特征在于，所述步骤I中，复制并保存的所述半导体生产数据为保存于外部的所述存储设备的所述半导体生产数据中适于量测的量测点数据。10.如权利要求6所述的在线数据监控方法，其特征在于， 所述步骤5具体包括: 步骤51，预设多个调用显示模板； 步骤52，获取外部输入的请求显示一个预设的所述调用显示模板的请求指令； 步骤53，根据所述请求指令调用所述匹配结果数据并填充至相应的所述调用显示模板的框架中； 步骤54，输出经过填充的所述调用显示模板并显示，以供使用者查看。
【专利摘要】本发明公开了一种在线数据监控系统及监控方法，属于半导体生产工艺监控技术领域；系统包括迁移单元，连接外部的存储设备；数据存储单元，连接迁移单元；输入单元；条件存储单元，连接输入单元；处理单元，分别连接数据存储单元和条件存储单元；结果调用单元；方法包括：复制保存于外部的存储设备中的半导体生产数据并保存；获取使用者输入的预设的判断条件，以及对应判断条件的判断等级；选择多个判断条件对保存于存储单元中的半导体生产数据进行匹配，随后形成相应的匹配结果数据；保存匹配结果数据；调用匹配结果数据，以供使用者查看。上述技术方案的有益效果是：排除可能影响半导体芯片生产过程的因素，提升产品良率，降低成本。
【IPC分类】H04L29/08
【公开号】CN104901982
【申请号】CN201410079362
【发明人】马擎, 郭程, 尹浩
【申请人】中芯国际集成电路制造（天津）有限公司, 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2014年3月5日