专利名称：探针卡校正设备的制作方法
技术领域：
发明涉及一种校正设备，尤指一种适用于探针卡校正设备。 景技术
探针卡校正，可分成探针的经向与纬向偏斜的校正、及探针的平均高 度校正。进行经、纬向校正时则以低倍率显微镜辅以比对罩进行探针卡的 比对。此时，若探针相对于比对罩的比对记号产生经向或与纬向位置偏斜 时，则以人工进行经、纬向校正，此校正动作持续到探针正确地对准比对 记号为止。若针对探针的平均高度进行校正，则是以高倍率显微镜辅以校 正，将较平均高度凸出或凹陷的探针进行高度调整以使整体探针的高度平 均一致。于现有技术中，经向与纬向偏斜的校正是以一台专用设备进行， 而探针的平均高度校正则又是另一台专用设备。因此，使用者通常需校正 探针卡于两套设备之间，不仅于使用上不方便，更是耗费人力及时间，而 调校好的探针卡也因来回的搬运与安装而可能使定位偏移而造成调校的 精准度变差，因而衍生诸多问题。因此，亟待一种能将两专用机台合而为 一的探针卡校正设备，以解决上述种种问题。
发明内容
本发明目的是提供一种探针卡校正设备，包括 一基座、 一移动平台、 一比对装置、以及一复合显微装置。其中，移动平台组设于基座上方，并
4能相对于基座作二维度移动调整，移动平台上组设有一旋转载台，并能相 对于移动平台作第三维度旋转，旋转载台上设置有至少一夹具用以夹持一 探针卡。比对装置包括有一比对罩，比对罩选择式地移行于一比对位置与 一远离位置之间。比对罩还包括有一透明片，透明片上包括有一比对区， 比对区内标记有至少一比对记号。复合显微装置包括有一支架、 一转换块、 一低倍显微镜、及一高倍显微镜。支架固设于基座上，转换块活设于支架 上，低倍显微镜与高倍显微镜分别组设于转换块上。低倍显微镜包括有一 低倍物镜，高倍显微镜包括有一高倍物镜，转换块是选择式地移动于一第 一位置与一第二位置之间。其中，第一位置是指低倍显微镜的低倍物镜对 准到比对罩位于其比对位置时的比对区位置，第二位置是指高倍显微镜的 高倍物镜对准到比对罩位于其比对位置时的比对区位置。
因此，本发明透过移动转换块于第一位置与第二位置之间，能快速切 换使用转换块上的低倍显微镜、或高倍显微镜以对准比对罩的比对区，故 能达成精准、方便、迅速地校正探针卡的目的。
上述复合显微装置的支架上可设有一横向滑槽，而转换块则可使用一 滑块以对应横向滑移于横向滑槽内；或是于支架上改设一旋转槽，而转换 块则改用一旋转块以枢设于旋转槽内、并能相对旋转于第一、二角度位置 之间亦可。复合显微装置更可包括有一第一致动器、及一第一开关。第一 开关与第一致动器电性连结，启动第一开关后可致使第一致动器带动滑块 沿着横向滑槽横向滑移并选择式地定位于第一位置或第二位置上。第一致 动器可以是指一油压缸，或可改用气压缸、步进马达、或皮带、炼条传动… 等皆可。
本发明的比对装置可包括一翻调装置、及一转杆。比对罩的一侧可固 设于转杆上，翻调装置是驱动转杆轴向旋转以使比对罩翻转、并选择式地 定位于比对位置或远离位置上；或可将翻调装置改用一升降装置，以带动该比对罩上升下降以选择式地移行于一位于下方的比对位置、与一位于上 方的远离位置。本发明的比对装置可更包括有一第二开关，翻调装置则可 包括一第二致动器。第二致动器与第二开关电性连结，启动第二开关可致 使第二致动器带动转杆轴向旋转。第二致动器可以是指一旋转式油压缸， 或可改用气压缸、马达…等皆可。
上述高倍显微镜可更包括一垂向滑块、 一第三致动器、及一第三开关。 第三致动器与第三开关电性连结，启动第三开关可致使第三致动器带动垂 向滑块垂直滑移于转换块上，以微调高倍显微镜的焦距。第三致动器可以 是指一油压缸，或可改用气压缸、马达…等皆可。
上述低倍显微镜可以更包括一垂直滑块、及一垂直调整装置。透过垂 直调整装置可以带动垂直滑块垂直滑移于转换块上，以调整低倍显微镜的 焦距。上述垂直调整装置可以是指一手动旋钮、或电动按钮、或其它等效 调整装置皆可。
本发明的移动平台可以包括一经向调整装置、及一纬向调整装置，经 向调整装置可调整移动平台的经向位置，纬向调整装置可调整移动平台的 纬向位置。上述的经、纬向调整装置可以分别采用电动马达调整，或是采 用气压缸、或油压缸调整，因此，透过校正设备的自动化的辅助可使得探 针卡的校正工作更具便利、及精确性。当然，上述经、纬向调整装置也可 以简单采用如手动的旋钮来调整位置，以降低成本。
图1是本发明一较佳具体实施例的立体组合图2是本发明一较佳具体实施例的比对罩的放大示意图3是本发明一较佳具体实施例的滑块移动至第一位置的前视图4是本发明一较佳具体实施例的滑块移动至第二位置的前视图。主要组件符号说明
基座1移动平台2旋转载台21
夹具211比对装置3比对罩31
透明片311比对区312比对记号313
翻调装置32转杆321旋转式油压缸33
第二开关34复合显微装置4支架40
横向滑槽401滑块41低倍显微镜42
低倍物镜421垂直滑块422垂直调整装置423
高倍显微镜43高倍物镜431垂向滑块44
油压缸45，5第三开关46第一开关51
比对位置Pl远离位置P2探针卡8
探针8具体实施例方式
请参阅图1，其显示为本发明一较佳具体实施例的立体组合图。本实
施例的探针卡校正设备包括一基座1、 一移动平台2、 一比对装置 3(comparing device)、 以及一复合显微装置4 (hybrid microscopic apparatus)。
如图1所示，本实施例的移动平台2是组设于基座1上方，并能相对 于基座1作图1显示的X方向(下称经向)、与Y方向(下称纬向)的二维度 移动调整，移动平台2上组设有一旋转载台21，并能相对于移动平台2 作Z轴方向的第三维度旋转。在本例中，旋转载台21上设置有四组夹具 211用以夹持一待校正与调整其上探针81的探针卡8 (procard)。
如图1，比对装置3设有一比对罩31(mask)、 一翻调装置32、 一转杆321、及一第二开关34。比对罩31的一侧是固设于转杆321的一端上，转 杆321的另一端则连结于翻调装置32的第二致动器上，于本例中此第二 致动器系采用一旋转式油压缸33，此旋转式油压缸33并与第二开关34 电性连结。故当使用者启动此第二开关34，可使旋转式油压缸33带动转 杆321作轴向旋转。
在实际操作校正与调针过程中，使用者需要先将比对罩31翻转到探 针卡8上方并接近到各探针81的位置，如图1所示的比对罩31实线位置 (下称比对位置P1)，以便与各探针进行近距离的经纬位置的显微比对；一 旦比对出有任何探针偏离其正确位置，使用者又需将比对罩31翻转离开 上述各探针位置，如图1所示的比对罩31虚线位置(下称远离位置P2)， 以方便使用者透过手动来调整该偏差探针的经纬位置。因此，使用者会多 次开启此第二开关34以控制旋转式油压缸33驱动转杆321轴向旋转，而 使比对罩31前后翻转、并依需要而选择式地定位于上述比对位置Pl或远 离位置P2上。
图1并显示本实施例的复合显微装置4包括有一支架40、 一转换块、 一低倍显微镜42、及一高倍显微镜43。本例的支架40是直接固设于基座 l后方并呈直立状，支架40上设有一横向滑槽401。于本例中上述的转换 块是采用一滑块41以活设于支架40上，更精确地说，是将滑块41对应 横向滑移于横向滑槽401内。图1显示低倍显微镜42与高倍显微镜43是 共同组设于此滑块41上，并能跟随着滑块41 一同沿着橫向滑槽401作横 向滑移。于本例中，另于支架40上组装有一第一致动器，例如图1所示 的油压缸5，该油压缸5是与一设于基座1上的第一开关51电性连结。故 当使用者激活第一开关51，可致使油压缸5前端的推杆带动滑块41沿着 横向滑槽401横向地左、右滑移。
本实施例的低倍显微镜42包括有一低倍物镜421、 一垂直滑块422、及一垂直调整装置。于本例中，垂直调整装置是指一手动旋钮423，透过 旋转手动旋钮423可以带动垂直滑块422相对于滑块41作垂直滑移，此 举可以调整低倍显微镜42的高低位置，甚至调整低倍显微镜42相对于比 对罩31的焦距。
本实施例的高倍显微镜43包括有一高倍物镜431、 一垂向滑块44、 一第三致动器、及一第三开关46。于本例中，第三致动器是指一油压缸 45，其与第三开关46电性连结。使用者可以启动第三开关46致使油压缸 45带动垂向滑块44相对于滑块41作垂直滑移，此举可以调整高倍显微镜 43的高低位置，甚至微调高倍显微镜43的焦距。
图2显示本实施例比对罩31的放大示意图，比对罩31包括有一透明 片311，透明片311上形成有一比对区312，在比对区312内已经预先标 记有相应于探针卡探针数目、与正确位置的复数个比对记号313。
当欲进行探针卡的校正时，使用者先操作图1的旋转式油压缸33驱 动转杆321轴向旋转，使得比对罩31向前翻转到前述图1的比对位置Pl 处，此时比对罩31的比对区312将对准到探针卡8的各探针81位置处， 亦即图2所在的角度位置，实际上此处透明片311与其上比对区312的各 个比对记号313将十分靠近下方的探针卡8的各个探针81的针尖，但为 图示清楚，故图2中特意把其中一支探针81绘成稍为远离所对应的比对 记号313以方便检视。
使用者是透过目视比对彼此十分靠近的各比对记号313与各探针81 的针尖，便可直接校正比对各探针81的针头有无偏离其正确位置。若当 目视比对有探针81偏离其所对应的比对记号313时，则表示该探针81明 显偏离其正确位置，使用者便可操作图1的旋转式油压缸33驱动转杆321 轴向旋转，使得比对罩31向后翻转到前述的远离位置P2后，以腾出操作 空间再以镊子等工具进行手工调针工作。由图1显示，本例所谓的远离位置P2，是将比对罩31的比对区312向后翻转移离开探针卡8的各探针81 位置处。手工调针后，使用者若需再次验证所调整的距离是否正确，只要 再次将比对罩31翻转回来前述图1的比对位置P1处再次比对即可。因此， 周而复始的校正比对与调针动作将持续到每一探针81均调整到其正确位 置为止。
请注意，前述的校正比对过程中，使用者都需透过显微镜以协助其进 行细小对象的目视比对，本实施例并提供一种可迅速转换使用不同低、高 倍显微镜42， 43以协助目视比对的结构。
承上所述，本实施例在进行校正比对探针81作业时，需先将比对罩 31向前翻转到图1的比对位置Pl，此处的比对区312恰好位于探针卡8 上方位置、并对准各探针81。图3，4均显示本实施例的比对罩31已经翻 转到了其比对位置P1的前视图。
图3更显示其滑块41相对于横向滑槽401滑移并停止于图3所显现 的第一位置A处，此第一位置A是指其低倍显微镜42的低倍物镜421恰 好对准到比对区312的位置，必要时可再以手动调整低倍显微镜42作垂 直滑移，以进行低倍率的显微检视作业，例如调整探针的经纬位置、或作 较大区域范围的检视。
图4则显示其滑块41相对于横向滑槽401滑移并停止于图4所显现 的第二位置B处，此第二位置B是指其高倍显微镜43的高倍物镜431恰 好对准到比对区312的位置，必要时可再以电动调整高倍显微镜43作垂 直滑移，以进行高倍率的显微检视作业，例如调整探针的高度位置、或作 细小区域范围的检视。
由于本实施例可透过第一开关51以启动油压缸5来推动滑块41沿着 横向滑槽401作横向左、右滑移，故能迅速的变换滑块41的位置使其停 止于第一位置A或一第二位置B上，故能快速切换使用滑块41上的低倍显微镜42、及高倍显微镜43来对准比对罩31的比对区312。因此，可改 善现有技术探针卡校正需先经由一个经、纬校正设备作经、纬校正后，再 以另一个平均高度校正设备作平均高度校正。的后若需再作经、纬校正的 确认，则又需再搬回到经、纬校正设备上作校正比对的不便。
因此，本发明得以省却探针卡搬移于两套设备间的不当，故得以改善 现有技术于使用上不方便、耗费人力及时间，及调校好的探针卡也因来回 的搬运与安装而可能使定位偏移而造成调校的精准度变差的诸多问题。透 过本发明，得以达成精准、方便、迅速地校正探针卡的目的。
上述实施例仅系为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围 自应以申请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求
1、一种探针卡校正设备，其特征在于包括一基座；一移动平台，组设于该基座上方，并能相对于该基座作二维度移动调整，该移动平台上组设有一旋转载台，并能相对于该移动平台作第三维度旋转，该旋转载台上设置有至少一夹具；一比对装置，包括有一比对罩，该比对罩选择式地移行于一比对位置与一远离位置之间，该比对罩包括有一透明片，该透明片上包括有一比对区，该比对区内标记有至少一比对记号；以及一复合显微装置，包括有一支架、一转换块、一低倍显微镜、及一高倍显微镜，该支架固设于该基座上，该转换块活设于该支架上，该低倍显微镜与该高倍显微镜分别组设于该转换块上，该低倍显微镜包括有一低倍物镜，该高倍显微镜包括有一高倍物镜，该转换块是选择式地移动于一第一位置与一第二位置之间，其中，该第一位置是指该低倍显微镜的该低倍物镜对准到该比对罩位于其比对位置时的该比对区位置，该第二位置是指该高倍显微镜的该高倍物镜对准到该比对罩位于其比对位置时的该比对区位置。
2、 如权利要求1所述的探针卡校正设备，其特征在于，该复合显微装置的该支架上设有一横向滑槽，该转换块是指一滑块以对应橫向滑移于该横向滑槽内。
3、 如权利要求2所述的探针卡校正设备，其特征在于，该复合显微装置更包括一第一致动器、及一第一开关，该第一开关与该第一致动器电性连结，启动该第一开关致使该第一致动器带动该滑块沿着该横向滑槽横向滑移、并选择式地定位于该第一位置或该第二位置上。
4、 如权利要求1所述的探针卡校正设备，其特征在于，该比对装置包括一翻调装置、及一转杆，该比对罩的一侧是固设于该转杆上，该翻调装置是驱动该转杆轴向旋转以使该比对罩翻转、并选择式地定位于该比对位置或该远离位置上。 ，
5、 如权利要求4所述的探针卡校正设备，其特征在于，该比对装置更包括一第二开关，该翻调装置包括一第二致动器，该第二致动器与该第二开关电性连结，启动该第二开关致使该第二致动器带动该转杆轴向旋转。
6、 如权利要求5所述的探针卡校正设备，其特征在于，该第二致动器是指一旋转式油压缸。
7、 如权利要求1所述的探针卡校正设备，其特征在于，该高倍显微镜更包括一垂向滑块、 一第三致动器、及一第三开关，该第三致动器与该第三开关电性连结，启动该第三开关致使该第三致动器带动该垂向滑块垂直滑移于该转换块上。
8、 如权利要求1所述的探针卡校正设备，其特征在于，该低倍显微镜更包括一垂直滑块、及一垂直调整装置，透过该垂直调整装置带动该垂直滑块垂直滑移于该转换块上。
9、 如权利要求8所述的探针卡校正设备，其特征在于，该垂直调整装置是指一手动旋钮。
10、 权利要求1所述的探针卡校正设备，其特征在于，该移动平台包括一经向调整装置、及一纬向调整装置，该经向调整装置是调整该移动平台的经向位置，该纬向调整装置是调整该移动平台的纬向位置。
全文摘要
本发明为一种探针卡校正设备，是将一低倍显微镜及一高倍显微镜共同组装于一转换块上，再将转换块滑设于一支架上。故当转换块沿着支架移动并定位于第一位置时，可使用转换块上的低倍显微镜以对准比对罩，以进行低倍率的显微检视与调针作业；又当转换块沿着支架移动并停止于第二位置时，可改用转换块上的高倍显微镜以对准比对罩，以进行高倍率的显微检视与调针作业。因此，透过本发明的转换块移动转换于第一位置与第二位置之间，能快速变换使用其上所设置的低倍显微镜、及高倍显微镜，故能达成精准、方便、迅速地校正探针卡的目的。
文档编号G12B13/00GK101458972SQ200710199648
公开日2009年6月17日 申请日期2007年12月11日 优先权日2007年12月11日
发明者詹镇羽 申请人:京元电子股份有限公司