专利名称：等离子处理设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种等离子处理设备，尤其是涉及等离子处理设备内的温度控制 系统。
背景技术：
等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰 化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行 涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。在现有的等离子 处理设备当中，其腔体内部的电极板温度容易发生变化，导致处理均勻性差，处理效果不理
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实用新型内容本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷，提供一种处理均勻性好的等离子处
理设备。为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下的技术方案设计一种等离子处理 设备，包括具有腔体的壳体、位于该腔体内部的电极板以及可供导热流体在其内循环流动 的温控系统，该温控系统包括了固定于所述电极板的温控管道、使所述导热流体在所述温 控管道内循环流动的流体泵以及使所述导热流体保持在预设温度的流体温度调节器。与现有技术相比，本实用新型通过固定于电极板的温控管道使电极板的温度保持 在基本恒定的状态，从而提高了等离子处理设备的处理均勻性，改善了处理效果。优选地，所述温控管道紧贴固定于所述电极板的底面，导热性能更好。优选地，所述温控管道通过紧固件固定于所述电极板的底面，可防止温控管道脱 落。所述紧固件可以为管座和将所述管座连接于形成在所述电极板上的连接孔的螺丝或销 钉。，优选地，所述导热流体可以为导热油或导热水。优选地，所述温控管道采用铝合金材质，不但具有良好的导热性能，而且有很强的 抗拉强度(彡205Mpa)，并具有很强的耐腐蚀性。优选地，所述电极板包括了相互平行的多块正极板和多块负极板，其中所述正极 板和负极板相间分布。优选地，所述温控管道呈蛇形分布。
图1是本实用新型等离子处理设备的实施例一的立体图。图2是图1所示等离子处理设备的前视图。图3是图1所示等离子处理设备的电极板及其温控系统部分的立体图。图4是图3所示电极板及其温控系统部分的前视图。图5是本实用新型等离子处理设备的实施例二的电极板及其温控系统部分的立体图。图6是图5的A局部放大图。图7是图5所示电极板及其温控系统部分的前视图。图8是图5所示电极板及其温控系统部分的右视图。图9是图5所示电极板及其温控系统部分的左视图。
具体实施方式
实施例一如图1至图4所示，本实用新型的等离子处理设备10包括具有腔体12 的壳体11、位于该腔体12内部的相互平行的多块电极板8以及可供导热流体在其内循环流 动的温控系统，所述电极板8包括了相间分布的正极板5和负极板6。所述温控系统包括了油泵1、流体温度调节器18、进油管3、温控管道7、出油管4 和回油管9，温控管道7通过粘接剂紧贴固定在每块正极板5和负极板6的底面，这样导热 性能更好。每根温控管道7均呈蛇形分布，其采用铝合金材质，不但具有良好的导热性能， 而且有很强的抗拉强度(》205Mpa)，并具有很强的耐腐蚀性。其中，油泵1、流体温度调节 器18、进油管3、温控管道7和出油管4依次首尾连接，温控管道7的入口分别连接于进油 管3，温控管道7的出口分别连接于出油管4，出油管4通过回油管9连接于油泵1，从而形 成循环系统，以供导热油在其内循环流动。回油管9处设有温度传感器，以实时感测循环系 统内的导热油的温度。油泵1可使循环系统内的导热油循环流动，流体温度调节器18可使循环系统内的 导热油加热或冷却到预设温度并一直保持这种温度。导热油经过流体温度调节器18加热 或冷却到预设温度后，由进油管3的入口进入进油管3，然后分别流经各温控管道7，再分别 汇入出油管4，最后在油泵1的作用下由回油管9流回油泵1和流体温度调节器18，如此循 环。上述温控系统可以通过单片机或PLC控制器等控制单元来进行控制当导热油的实际 温度超过设定温度时，温度传感器会将信号传给控制单元，控制单元会命令流体温度调节 器18停止加热，并实施冷却。当实际温度低于设定温度时，温度传感器会将信号传给控制 单元，控制单元会命令加热器继续加热，直至达到设定温度。实施例二参见图5至图9，本实施例当中的温控系统同样具有油泵1、进油管3、温 控管道7、出油管4、回油管9，此外还包括了加热器2、油箱13和连接于该油箱13的冷却器 14，当循环系统内的导热油有损耗时，可通过油箱13进行自动补给。所述回油管9上设有 温度传感器17，其作用是感测回油的温度，如果超过预设温度值的话，通过冷却器14将其 冷却，然后再由加热器2加热到预设温度值。温控管道7的入口分别连接于进油管3，温控 管道7的出口分别连接于出油管4，出油管4的出口通过回油管9依次连接于油箱13、油泵 1、加热器2以及进油管3的入口。所述温控管道7通过管座15以及可将管座15连接于电 极板8连接孔的螺丝或销钉16固定于电极板8的底面，以防止温控管道7脱落。上述温控 系统可以通过单片机或PLC控制器等控制单元来进行控制当导热油的实际温度超过设定 温度时，温度传感器17会将信号传给控制单元，控制单元会命令加热器2停止加热，并命令 冷却器14实施冷却。当实际温度低于设定温度时，温度传感器17会将信号传给控制单元， 控制单元会命令加热器2继续加热，直至达到设定温度。需要说明的是，以上仅为本实用新型的优选实施方式，并不能理解为对本实用新型保护范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型 发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，例如上述导热油可以用导热水或其它导 热流体来实现，所述温控管道也不限于铝合金材质，其分布形状也不限于蛇形。以上这些变 形和改进均在本实用新型的保护范围之内。
权利要求等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极板，其特征在于该设备还包括了可供导热流体在其内循环流动的温控系统，该温控系统包括了固定于所述电极板的温控管道、使所述导热流体在所述温控管道内循环流动的流体泵以及使所述导热流体保持在预设温度的流体温度调节器。
2.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于 述电极板的底面。
3.根据权利要求2所述的等离子处理设备，其特征在于 定于所述电极板的底面。
4.根据权利要求3所述的等离子处理设备，其特征在于 管座连接于形成在所述电极板上的连接孔的螺丝或销钉。
5.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于 热水。
6.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于所述温控管道为铝合金管道。
7.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于所述温控管道呈蛇形分布。
8.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于所述电极板包括了相互平行 的多块正极板和多块负极板，其中所述正极板和负极板相间分布。
9.根据权利要求1至8任一项所述的等离子处理设备，其特征在于所述温控系统还 包括了进油管、出油管和回油管，所述回油管上设有温度传感器；所述温控管道的入口分别 连接于所述进油管，所述温控管道的出口分别连接于所述出油管，所述出油管的出口通过 所述回油管依次连接于所述油泵、流体温度调节器以及所述进油管的入口。
10.根据权利要求1至8任一项所述的等离子处理设备，其特征在于所述温控系统还 包括了进油管、出油管、回油管和油箱，所述回油管上设有温度传感器，所述流体温度调节 器包括了加热器和冷却器，该冷却器连接于所述油箱；所述温控管道的入口分别连接于所 述进油管，所述温控管道的出口分别连接于所述出油管，所述出油管的出口通过所述回油 管依次连接于所述油箱、油泵、加热器以及所述进油管的入口。所述温控管道紧贴固定于所 所述温控管道通过紧固件固 所述紧固件为管座和将所述 所述导热流体为导热油或导
专利摘要本实用新型提供了一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体、位于该腔体内部的电极板以及可供导热流体在其内循环流动的温控系统，该温控系统包括了固定于所述电极板的温控管道、使所述导热流体在所述温控管道内循环流动的流体泵以及使所述导热流体保持在预设温度的流体温度调节器。与现有技术相比，本实用新型通过在电极板的底面设置温控管道，使腔体内部电极板的温度保持在基本恒定的状态，从而提高了等离子处理设备的处理均匀性，改善了处理效果。
文档编号H05H1/24GK201674719SQ20102017473
公开日2010年12月15日 申请日期2010年4月29日 优先权日2010年4月29日
发明者丁雪苗 申请人:珠海彼得氏等离子科技有限公司