专利名称：槽盖的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体清洗技术领域，特别涉及一种槽盖。
背景技术：
在硅片清洗行业中，一般是通过强酸或强碱作为清洗液，在清洗过程中，不可避免的会产生一些有毒有害的气体，为了防止这些气体的外溢，清洗槽一般设有槽盖，但现有技术中的槽盖，在开启和关闭过程中会占用较大的空间，造成空间的浪费。
实用新型内容(一)要解决的技术问题本实用新型要解决的技术问题是如何提供一种占用空间小的清洗槽盖。( 二 )技术方案为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种槽盖，安装在槽体上，包括盖板、连接框架、固定板和竖直活动装置，所述连接框架设置在所述槽体外周，并与所述盖板通过铰链连接，所述固定板固定于所述槽体外，所述竖直活动装置安装在所述固定板上，与所述连接框架连接，能够带动所述连接框架在所述槽体侧面沿竖直方向运动。其中，所述竖直活动装置为带有滑块的无杆气缸，所述无杆气缸竖直安装在所述固定板上，所述连接框架与所述滑块连接。其中，所述竖置活动装置还包括导向轴，所述导向轴安装在所述固定板上。其中，所述无杆气缸的上下两侧分别装有调程螺杆。其中，所述调程螺杆设有液压缓冲器。其中，还包括两个带有导向槽的导向块和两个轴支座，所述盖板为一个，，所述两个轴支座分别固定在所述槽体同一侧面的上部边缘，所述两个导向块分别通过转轴安装在所述两个轴支座上，所述盖板能够滑动地插入所述两个导向块的导向槽中。其中，还包括两个带有导向槽的第一导向块、两个带有导向槽的第二导向块和四个轴支座，所述盖板为两个，所述四个轴支座两两分别固定在所述槽体相对的两个侧面的上部边缘，所述两个第一导向块和两个第二导向块上分别通过转轴安装在所述四个轴支座上，第一盖板能够滑动地插入所述两个第一导向块的导向槽中，第二盖板能够滑动地插入所述两个第二导向块的导向槽中。其中，所述槽体还设有绕其外周设置的加强筋，所述轴支座均固定在所述加强筋上。(三)有益效果本实用新型通过连接框架与所述槽盖通过铰链连接，竖直活动装置安装在固定板上并与连接框架连接，在槽盖开启和关闭过程中占用空间较小，节约了一定空间。
图1是依照本实用新型一种实施例的槽盖的结构示意图；[0017]图2是图1所示槽盖中导向块的放大示意图；图3是图1所示槽盖关闭时的结构示意图；图4是依照本实用新型另一种实施例的槽盖的结构示意图；图5是图3所示槽盖关闭时的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。图1是依照本实用新型一种实施方式的槽盖的结构示意图，槽盖安装在槽体9上， 所述槽盖包括盖板、连接框架5、固定板12和竖直活动装置，连接框架5设置在槽体9外周，并与盖板通过铰链4连接，固定板12固定于槽体9外，竖直活动装置安装在固定板12 上，与连接框架5连接，能够带动连接框架5在槽体9侧面沿竖直方向运动。所述竖置活动装置，可以由电机、链轮、节链环和齿轮组成，优选地，所述竖直活动装置为带有滑块13的无杆气缸7，无杆气缸7竖直安装在固定板12上，可与电磁阀连接，通过电磁阀控制无杆气缸7的运行方向及开关状态，连接框架5与滑块13连接。为使无杆气缸7的运行更加稳定，优选地，所述竖置活动装置还包括沿竖直方向延伸安装在固定板12上的导向轴6，连接框架5与导向轴6活动式连接，使连接框架5可沿导向轴6移动。为使连接框架5可在合适的位置活动，优选地，无杆气缸7的上下两侧分别装有调程螺杆8。为使无杆气缸7减小损坏，调程螺杆8上设有液压缓冲器。优选地，槽体9还设有绕其外周设置的加强筋10，轴支座1均固定在加强筋10上。实施例1如图1所示，所述槽盖还包括两个带有导向槽16的导向块2和两个轴支座1，所述盖板为一个，两个轴支座1分别固定在槽体9同一侧面的上部边缘，两个导向块2分别通过转轴安装在两个轴支座1上，盖板3能够滑动地插入两个导向块2的导向槽16中。上述槽盖的工作原理为当需要关闭槽盖时，所述竖直活动装置带动连接框架5 在槽体9侧面沿竖直向上方向运动，连接框架5通过铰链4推动盖板3沿两个导向块2的导向槽16向上移动，由于重力的关系，盖板3在上升到一定的高度时，两个导向块2会绕转轴进行转动，直至如图3所示，盖板3完全盖住槽体9的上端。当需要打开槽盖时，所示竖直活动装置带动连接框架5在槽体9侧面沿竖直向下方向运动，连接框架5通过铰链4拉动盖板3，直至如图1所示，盖板3处于竖直状态。实施例2如图4所示，所述槽盖还包括两个带有导向槽16的第一导向块2-1、两个带有导向槽16的第二导向块2-2和四个轴支座1，所述盖板为两个，四个轴支座1两两分别固定在槽体9相对的两个侧面的上部边缘，两个第一导向块2-1和两个第二导向块2-2上分别通过转轴安装在四个轴支座1上，第一盖板3-1能够滑动地插入两个第一导向块2-1的导向槽16中，第二盖板3-2能够滑动地插入两个第二导向块2-2的导向槽16中，第一盖板和第二盖板完全相同。上述清洗槽的工作原理为当需要关闭槽盖时，所述竖直活动装置带动连接框架 5在槽体9侧面沿竖直向上方向运动，连接框架5通过铰链4推动第一盖板3-1和第二盖板3-2沿两个第一导向块2-1和两个第二导向块2-2的导向槽16中向上移动，由于重力的关系，第一盖板3-1和第二盖板3-2在上升到一定的高度时，两个第一导向块2-1和两个第二导向块2-2会绕转轴进行转动，直至如图5所示，第一盖板3-1和第二盖板3-2相配合完全盖住槽体9的上端。当需要打开槽盖时，所示竖直活动装置带动连接框架5在槽体9侧面沿竖直向下方向运动，连接框架5通过铰链4拉动第一盖板3-1和第二盖板3-2，直至如图 3所示，第一盖板3-1和第二盖板3-2处于竖直状态。 以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。
权利要求1.一种槽盖，安装在槽体(9)上，其特征在于，包括盖板、连接框架(5)、固定板(12) 和竖直活动装置，所述连接框架( 设置在所述槽体(9)外周，并与所述盖板通过铰链(4) 连接，所述固定板(1 固定于所述槽体(9)外，所述竖直活动装置安装在所述固定板(12) 上，与所述连接框架( 连接，能够带动所述连接框架( 在所述槽体(9)侧面沿竖直方向运动。
2.如权利要求1所述的槽盖，其特征在于，所述竖直活动装置为带有滑块(1 的无杆气缸(7)，所述无杆气缸(7)竖直安装在所述固定板(1 上，所述连接框架( 与所述滑块 (13)连接。
3.如权利要求2所述的槽盖，其特征在于，所述竖置活动装置还包括导向轴(6)，所述导向轴(6)沿竖直方向延伸安装在所述固定板(1 上，所述连接框架( 能够沿所述导向轴(6)在所述槽体(9)侧面运动。
4.如权利要求2所述的槽盖，其特征在于，所述无杆气缸(7)的上下两侧分别装有调程螺杆⑶。
5.如权利要求4所述的槽盖，其特征在于，所述调程螺杆(8)上设有液压缓冲器。
6.如权利要求1所述的槽盖，其特征在于，还包括两个带有导向槽(16)的导向块(2) 和两个轴支座(1)，所述两个轴支座(1)分别固定在所述槽体(9)同一侧面的上部边缘，所述两个导向块( 分别通过转轴安装在所述两个轴支座(1)上，所述盖板能够滑动地插入所述两个导向块O)的导向槽(16)中。
7.如权利要求1所述的槽盖，其特征在于，还包括两个带有导向槽(16)的第一导向块0-1)、两个带有导向槽(16)的第二导向块(2- 和四个轴支座(1)，所述盖板为两个， 所述四个轴支座(1)两两分别固定在所述槽体(9)相对的两个侧面的上部边缘，所述两个第一导向块和两个第二导向块(2- 上分别通过转轴安装在所述四个轴支座(1) 上，第一盖板(3-1)能够滑动地插入所述两个第一导向块的导向槽(16)中，第二盖板(3- 能够滑动地插入所述两个第二导向块0-2)的导向槽(16)中。
8.如权利要求6或7所述的槽盖，其特征在于，所述槽体(9)还设有绕其外周设置的加强筋(10)，所述轴支座(1)均固定在所述加强筋(10)上。
专利摘要本实用新型公开了一种槽盖，包括盖板、连接框架(5)、固定板(12)和竖直活动装置，所述连接框架(5)设置在所述槽体(9)外周，并与所述槽盖通过铰链(4)连接，所述固定板(12)固定于所述槽体(9)外，所述竖直活动装置安装在所述固定板(12)上，与所述连接框架(5)连接，能够带动所述连接框架(5)在所述槽体(9)侧面沿竖直方向运动。本实用新型的槽盖在开启和关闭过程中占用空间较小，节约了一定空间。
文档编号C30B33/10GK201956325SQ20102063223
公开日2011年8月31日 申请日期2010年11月24日 优先权日2010年11月24日
发明者于皓洁, 王晨 申请人:北京七星华创电子股份有限公司