专利名称：电晕放电低温等离子体处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电晕放电装置，尤其涉及一种用于处理气体的电晕放电低温等离子体处理装置。
背景技术：
低温等离子体处理技术是一种很受关注的新兴处理技术，其中电晕放电低温等离子体由于技术简单、设备造价低、等离子体电离度高、能耗低的优点，在材料表面处理、静电除尘、工业废气处理等行业有很好的应用前景。电晕放电的形态和强度受电极形式的影响很大，放电电极尖端曲率半径越小，其起晕电压越低。现有电晕放电低温等离子体放电装置的电极形式多采用平行板式电极、 线-板式电极、线-筒式电极、针-板式电极等形式、多针式电极等，这些装置虽然可实现电晕放电，并产生低温等离子体，但其输出功率、电晕强度均有待提升，电场分布的均勻度也有待改良。
实用新型内容本实用新型的目的在于提出一种电场强度高、输出功率大、电场均勻的电晕放电低温等离子体处理装置，从而克服现有技术中的不足。为实现上述发明目的，本实用新型采用了如下技术方案一种电晕放电低温等离子体气体处理装置，其特征在于，它包括同心设置的圆管状内电极和外电极，且所述内电极与外电极之间设有环形间隙，同时，所述内电极外壁上还设有复数个尖齿，所述尖齿沿内电极径向呈辐射形均勻分布。优选的，所述内电极包括金属内管和由金属薄片形成的齿条，所述齿条包括一基板和与基板垂直的复数个尖齿，所述齿条缠绕设置在金属内管上，且所述基板与内管外壁共形贴合。尤为优选的，所述齿条等间距螺旋缠绕在内电极外壁上，形成尖齿呈辐射状等间距分布的结构。所述内电极和外电极分别固定于内电极支架和外电极支架上，且所述内电极支架和外电极支架之间设置绝缘构件。所述内电极和外电极分别与高压电源的两极电性连接。所述高压电源为高压直流电源、高压脉冲电源或者高压交流电源。与现有技术相比，本实用新型的优点在于由于采用多个曲率半径极小的金属尖端作为电晕放电电极，提高了放电强度，增加了电场中的电离度，且由于内、外电极是同轴安装，因而电极间距一致，电场分布均勻，与采用平行板式电极、线筒式电极的放电装置相比，输出功率、电晕强度都得到了很大提升。
[0013]图1为本实用新型一较佳实施例中电晕放电低温等离子体处理装置的结构示意图；图2为图1所示电晕放电低温等离子体处理装置的应用状态示意图。
具体实施方式
以下结合附图及一较佳实施例对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。参阅图1，本实施例中的电晕放电低温等离子体处理装置包括同心设置的内电极和外电极，且内电极和外电极之间设有环形间隙。其中，内电极由内电极圆管1和缠绕在内电极圆管上的齿条2组成，外电极3亦为圆筒状结构。前述齿条2是将金属薄片加工成长条状齿条，然后将齿尖与基板折弯成相互垂直的形态，折弯后的齿条等间距螺旋共形缠绕在内电极圆管上，形成齿尖呈辐射状等间距分布的结构。此处的共形缠绕是指基板与内电极圆管外壁紧密贴合，且两者弧度保持基本一致。前述齿尖应具有尽可能小曲率半径的尖端，以大幅度降低起晕电压，提高放电强度，增加电场中的电离度。参阅图2，在应用本实施例的电晕放电低温等离子体处理装置工作时，该内、外电极分别通过内电极支架4和外电极支架7固定，并使内、外电极同轴布置，内、外电极支架间通过绝缘材料5、6产生电气绝缘。将内、外电极分别通过导体与高压电源的两极电性相连，通过高压电源在内外电极之间施加大于起晕电压的高压电，金属齿条的尖端随之产生电晕放电，随着电压的提高， 从内、外电极之间的环形间隙流过的气体进一步电离，形成低温等离子体。本实施例由于采用多个曲率半径极小的金属尖端作为电晕放电电极，提高了放电强度，增加了电场中的电离度，且由于内、外电极是同轴安装，因而电极间距一致，电场分布均勻，其较之现有的采用平行板式电极、线筒式电极的放电装置相比，在输出功率、电晕强度等方面均得到了很大提升。尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言， 可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
权利要求1.一种电晕放电低温等离子体气体处理装置，其特征在于，它包括同心设置的圆管状内电极和外电极，且所述内电极与外电极之间设有环形间隙，同时，所述内电极外壁上还设有复数个尖齿，所述尖齿沿内电极径向呈辐射形均勻分布。
2.根据权利要求1所述的电晕放电低温等离子体气体处理装置，其特征在于，所述内电极包括金属内管和由金属薄片形成的齿条，所述齿条包括一基板和与基板垂直的复数个尖齿，所述齿条缠绕设置在金属内管上，且所述基板与内管外壁共形贴合。
3.根据权利要求2所述的电晕放电低温等离子体气体处理装置，其特征在于，所述齿条等间距螺旋缠绕在内电极外壁上，形成尖齿呈辐射状等间距分布的结构。
4.根据权利要求1所述的电晕放电低温等离子体气体处理装置，其特征在于，所述内电极和外电极分别固定于内电极支架和外电极支架上，且所述内电极支架和外电极支架之间设置绝缘构件。
5.根据权利要求1或4所述的电晕放电低温等离子体气体处理装置，其特征在于，所述内电极和外电极分别与高压电源的两极电性连接。
6.根据权利要求5所述的电晕放电低温等离子体气体处理装置，其特征在于，所述高压电源为高压直流电源、高压脉冲电源或者高压交流电源。
专利摘要本实用新型公开了一种电晕放电低温等离子体气体处理装置，它包括同心设置的圆管状内电极和外电极，且所述内电极与外电极之间设有环形间隙，同时，所述内电极外壁上还设有复数个尖齿，所述尖齿沿内电极径向呈辐射形均匀分布。通过高压电源在内、外电极之间施加高压电，尖齿的尖端随之产生电晕放电，随着电压的提高，内、外电极之间的气体进一步电离，形成低温等离子体。本实用新型由于采用多个曲率半径极小的金属尖端作为电晕放电电极，提高了放电强度，增加了电场中的电离度，且由于内、外电极是同心安装，因而电极间距一致，电场分布均匀，其较之现有采用平行板式电极、线筒式电极的放电装置，在输出功率、电晕强度等方面均都得到了很大提升。
文档编号H05H1/24GK202206642SQ20112033085
公开日2012年4月25日 申请日期2011年9月6日 优先权日2011年9月6日
发明者蒋建平 申请人:蒋建平