多晶铸锭炉石墨坩埚组件的制作方法

文档序号:8186475阅读:356来源:国知局
专利名称:多晶铸锭炉石墨坩埚组件的制作方法
技术领域
本实用新型涉及多晶铸淀炉石墨i甘祸组件。
背景技术
在现有使用的多晶硅铸锭炉中,用于支撑石英坩埚的石墨坩埚都是由ー块底板和四块侧板构成,当发生硅液溢流时,硅液在平坦的石墨坩埚底板上四处流动,从而不能及时的发现,延长了事故的报警时间,会造成安全隐患和资源浪费。因此,应该提供一种新的技 术方案解决上述问题。

实用新型内容本实用新型的目的是针对上述不足,提供一种结构合理、实用性强的多晶铸锭炉石星相■祸组件。为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是多晶铸锭炉石墨坩埚组件,包括石墨;fc甘祸本体,所述石墨i甘祸本体的外部设有加热装置,所述石墨i甘祸本体由底板和侧板组成,所述底板为网络状滤网结构。进ー步的,所述网络状滤网结构至少为两层。本实用新型多晶铸淀炉石墨i甘祸组件,石墨i甘祸本体由底板和侧板组成,底板为网络状滤网结构,能够确保在硅液从石英坩埚的裂缝中流出时,能够及时引导硅液的流向,即引导硅液从底板的网络状滤网结构的缝隙处留下,从而能够及时报警。本实用新型的优点是结构合理、实用性強。
以下结合附图
具体实施方式
对本实用新型作进ー步详细叙述。图I为本实用新型结构示意图。其中1、石墨坩埚本体,2、加热装置,3、底板,4、侧板。
具体实施方式
如图I所不,本实用新型多晶铸淀炉石星i甘祸组件,包括石星i甘祸本体I,石星i甘埚本体I的外部设有加热装置2,石墨坩埚本体由底板3和侧板4组成,底板3为网络状滤网结构,网络状滤网结构至少为两层。本实用新型多晶铸淀炉石墨i甘祸组件,石墨i甘祸本体I由底板3和侧板4组成,底板3为网络状滤网结构,能够确保在硅液从石英坩埚的裂缝中流出时,能够及时引导硅液的流向,即引导硅液从底板的网络状滤网结构的缝隙处留下,从而能够及时报警,能够确保设备安全,节约资源。
权利要求1.多晶铸锭炉石墨坩埚组件,包括石墨坩埚本体,所述石墨坩埚本体的外部设有加热装置,所述石墨坩埚本体由底板和侧板组成,其特征是所述底板为网络状滤网结构。
2.根据权利要求I所述多晶铸锭炉石墨坩埚组件,其特征是所述网络状滤网结构至少为两层。
专利摘要本实用新型公开了多晶铸锭炉石墨坩埚组件,包括石墨坩埚本体,所述石墨坩埚本体的外部设有加热装置,所述石墨坩埚本体由底板和侧板组成,其特征是所述底板为网络状滤网结构。本实用新型的优点是结构合理、实用性强。
文档编号C30B29/06GK202390573SQ20112043450
公开日2012年8月22日 申请日期2011年11月7日 优先权日2011年11月7日
发明者周兵 申请人:周兵
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