专利名称：铸锭炉长晶测量杆的制作方法
技术领域：
铸锭炉长晶测量杆
技术领域：
本实用新型涉及ー种铸锭炉长晶测量杆，尤其是指ー种用于測量多晶硅铸锭时晶体硅的熔化和长晶速率的铸锭炉长晶测量杆。
背景技木目前，多晶硅铸锭炉都是使用一整根石英杆作为铸锭炉长晶测量杆来测量晶体硅的熔化和长晶速率，在测试的过程中仅有石英杆一端长度为20至40厘米的石英杆进入硅液中，并在测试后，石英杆上有可能附着ー些硅液。由于热膨胀系数的不同，这些硅液凝固后可能使石英杆出现裂纹，从而导致这部分石英杆不能再次利用，长度约150厘米没有被使用的石英杆也随之报废，造成很大的浪费。
实用新型内容
基于此，有必要提供一种有效节省成本的铸锭炉长晶测量杆。一种铸锭炉长晶测量杆，用于在铸锭炉内測量多晶硅铸锭时晶体硅的熔化和长晶速率，所述铸锭炉长晶测量杆包括可上下升降地固持于铸锭炉内的固持段和用于测量晶体硅的熔化和长晶速率的測量段，所述测量段可拆卸地安装于固持段。优选地，所述固持段包括上段和固定件，所述固定件的一端一体设置或可拆卸的固定于所述上段，所述测量段可拆卸地安装于固定件的另一端。优选地，所述铸锭炉长晶測量杆总长度不小于160厘米，所述测量段的长度为40至90厘米。优选地，所述测量段的长度为40厘米，所述固持段的长度为140厘米。优选地，所述测量段的长度为80厘米、所述固持段的长度为110厘米。优选地，所述上段为金属材质或石英材质，所述固定件为金属材质或石英材质，所述测量段为石英材质。优选地，所述测量段与固定件通过螺纹、卡扣或者钉销中任意ー种方式相连接。本实用新型的有益效果如下在測量一个晶体硅的熔化和长晶速率吋，固持段可在铸锭炉内上下升降但不接触硅液，只有测量段多次接触硅液，以测量所述晶体硅的熔化和长晶速率。测量结束后，只需要拆卸并更换测量段即可进行下一个晶体硅的熔化和长晶速率的測量，固持段可重复使用，避免了现有技术中更换整根石英杆带来浪费的情况发生，能有效节省成本。
图I为本实施方式铸锭炉长晶测量杆的结构示意图；图2为图I所示铸锭炉长晶测量杆在铸锭炉内工作时的示意图。
具体实施方式[0014]请參图I和图2,本实施方式公开了一种铸锭炉长晶测量杆100,用于在铸锭炉200内測量多晶硅铸锭时晶体硅的熔化和长晶速率。所述铸锭炉长晶测量杆100包括可上下升降地固持于铸锭炉内的固持段4和用于测量晶体硅的熔化和长晶速率的測量段2，測量段2可拆卸地安装于固持段4。固持段4包括上段I和固定件3，固定件3的一端一体设置或可拆卸的固定于上段1，測量段2可拆卸地安装于固定件3的另一端。測量段2与固定件3通过螺纹、卡扣或者钉销中任意的ー种方式相连接。上段I可为金属材质或石英材质，固定件3也可为金属材质或石英材质，即上段I为金属材质吋，固定件3可为金属材质或石英材质；上段I为石英材质吋，固定件3可为金属材质或石英材质。且上段I或固定件3为金属材质时优选为不锈钢材质。測量段2为石英材质。铸锭炉长晶测量杆100的总长度不小于160厘米，測量段2的长度为40至90厘
米。优选地一种实施方式为，測量段2的长度为40厘米，固持段4的长度为140厘米；另一种方式为测量段2的长度为80厘米，固持段4的长度为110厘米。本实施方式公开的铸锭炉长晶测量杆100具有两段，固持段4位于设置在铸锭炉200的测量孔201内并可上下升降，使測量段2多次进入硅液202进行测量晶体硅的熔化和长晶速率。每次测量，固持段4均不接触硅液202，只有測量段2接触硅液202并进行測量。在測量一个晶体硅的熔化和长晶速率吋，固持段4下降使測量段2进入硅液进行一次測量，完成后将固持段4上升，上升的高度足以使测量段2离开硅液表面，然后将固持段4固定在测量孔201内；间隔一定的时间间隔后，进行下一次測量，整个铸锭长晶过程中需要进行多次測量。铸锭结束后，只需要拆卸并更换测量段2即可进行下一次晶体硅的熔化和长晶速率的測量，固持段4可重复使用，避免了现有技术中更换整根石英杆带来浪费的情况发生，能有效节省成本。上述所列具体实现方式为非限制性的，对于本领域的技术人员来说，在不偏离本实用新型范围内，进行的各种改进和变化，均属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种铸锭炉长晶测量杆，用于在铸锭炉内測量多晶硅铸锭时晶体硅的熔化和长晶速率，其特征在于所述铸锭炉长晶测量杆包括可上下升降地固持于铸锭炉内的固持段和用于测量晶体硅的熔化和长晶速率的測量段，所述测量段可拆卸地安装于固持段。
2.如权利要求I所述的铸锭炉长晶测量杆，其特征在于所述固持段包括上段和固定件，所述固定件的一端一体设置或可拆卸的固定于所述上段，所述测量段可拆卸地安装于固定件的另一端。
3.如权利要求I或2所述的铸锭炉长晶测量杆，其特征在于所述铸锭炉长晶测量杆总长度不小于160厘米，所述测量段的长度为40至90厘米。
4.如权利要求3所述的铸锭炉长晶测量杆，其特征在于所述测量段的长度为40厘米，所述固持段的长度为140厘米。
5.如权利要求3所述的铸锭炉长晶测量杆，其特征在于所述测量段的长度为80厘米、所述固持段的长度为110厘米。
6.如权利要求2所述的铸锭炉长晶测量杆，其特征在于所述上段为金属材质或石英材质,所述固定件为金属材质或石英材质,所述测量段为石英材质。
7.如权利要求2所述的铸锭炉长晶测量杆，其特征在于所述测量段与固定件通过螺纹、卡扣或者钉销中任意ー种方式相连接。
专利摘要本实用新型公开了一种铸锭炉长晶测量杆，用于在铸锭炉内测量多晶硅铸锭时晶体硅的熔化和长晶速率。所述铸锭炉长晶测量杆包括可上下升降地固持于铸锭炉内的固持段和用于测量晶体硅的熔化和长晶速率的测量段，所述测量段可拆卸地安装于固持段。在测量一个晶体硅的熔化和长晶速率时，固持段可在铸锭炉内上下升降但不接触硅液，只有测量段多次接触硅液，以测量所述晶体硅的熔化和长晶速率。测量结束后，只需要拆卸并更换测量段即可进行下一个晶体硅的熔化和长晶速率的测量，固持段可重复使用，避免了现有技术中更换整根石英杆带来浪费的情况发生，能有效节省成本。
文档编号C30B11/00GK202450194SQ201220005728
公开日2012年9月26日 申请日期2012年1月6日 优先权日2012年1月6日
发明者武鹏, 胡亚兰 申请人:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司