一种隔断式MEMS引信的制作方法与工艺

技术特征：
1.一种隔断式MEMS引信，其特征在于：包括药剂盖板层(Ⅰ)、药剂层(Ⅱ)、安保装置层(Ⅲ)以及加速膛层(Ⅳ)，药剂层(Ⅱ)上部和药剂盖板层(Ⅰ)通过键合的方式连接，药剂层(Ⅱ)下部和安保装置层(Ⅲ)上部通过键合的方式连接，安保装置层(Ⅲ)下部和加速膛层(Ⅳ)黏贴；所述的安保装置层(Ⅲ)包括硅衬底层(3)，在硅衬底层(3)中心处制作有通孔(4)，二氧化硅层(2)以及可动硅结构层(1)依次制作在硅衬底层(3)上，在可动硅结构层(1)中制作有以通孔(4)为中心对称的四组驱动器，每组驱动器包括右锚点(6)与左锚点(9)，右金属电极(5)与左金属电极(10)分别制作在右锚点(6)与左锚点(9)上，呈阵列的V型热电执行器(8)的两端分别与左锚点(9)与右锚点(6)相连，中间臂(7)位于V型热电执行器(8)的中点，杠杆(14)的首端通过右柔性梁(13)与中间臂(7)相连，下锚点(11)制作在右柔性梁(13)的左边并通过左柔性梁(12)与杠杆(14)的首端相连，隔板(15)位于杠杆(14)的末端并且制作有互锁槽(16)与互锁齿(17)，互锁槽(16)与互锁齿(17)与相邻隔板对应的互锁齿及互锁槽形成互锁；左锚点(9)、右锚点(6)以及下锚点(11)与二氧化硅层(2)相连，其余部分均为悬空可动结构。2.根据权利要求1所述的一种隔断式MEMS引信，其特征在于：所述的药剂盖板层(Ⅰ)包括药剂盖板(23)，药剂盖板(23)为边长7.5mm～8mm，厚度0.2mm～0.3mm的方形片状单晶硅材料。3.根据权利要求1所述的一种隔断式MEMS引信，其特征在于：所述的药剂层(Ⅱ)包括药剂层壁(20)，药剂腔(22)位于药剂层壁(20)的中心下方，器件腔(21)分布在药剂腔(22)的四周。4.根据权利要求1所述的一种隔断式MEMS引信，其特征在于：所述的加速膛层(Ⅳ)包括中心带有凸台结构的方形陶瓷片(18)，方形陶瓷片(18)的凸台结构设有加速膛孔(19)，方形陶瓷片(18)的长度为7.5mm～8mm，厚度为0.4mm～0.5mm，加速膛孔(19)直径为0.3～0.5mm。