压电器件、探测器、电子设备及超声波图像装置的制作方法

文档序号:11894066阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电器件,其特征在于,具备:

振动膜;

压电体膜,设置于所述振动膜上,并具有与所述振动膜接触的第一面和位于与该第一面相反一侧的第二面;

第一电极和第二电极,与所述压电体膜电连接,配置于彼此分开的位置,且在与所述压电体膜分开的位置彼此短路;以及

第三电极,与所述压电体膜电连接,设置于所述第一电极与所述第二电极之间,并配置在与所述第一电极和所述第二电极分开的位置,

所述第一电极和所述第二电极的端部的轮廓被限定为至少局部地平行于所述第三电极的侧部。

2.根据权利要求1所述的压电器件,其特征在于,

在所述第一电极和所述第二电极与所述第三电极之间满足沿示出最大值的应变方向而形成极化处理的电压路径的位置关系。

3.根据权利要求1或2所述的压电器件,其特征在于,

所述第三电极在俯视观察时形成为通过所述振动膜的重心上的带状。

4.根据权利要求3所述的压电器件,其特征在于,

所述压电体膜在包括所述振动膜的重心的区域中在面内方向上产生应变。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电器件,其特征在于,

所述压电体膜在俯视观察时位于所述振动膜的轮廓线的内侧。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的压电器件,其特征在于,

所述压电体膜的重心与所述振动膜的重心重叠。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的压电器件,其特征在于,

所述振动膜在俯视观察时具有矩形的轮廓,并且,

所述第一电极和所述第二电极在沿短边的方向上与所述第三电极分开。

8.根据权利要求7所述的压电器件,其特征在于,

所述压电器件相对于与所述振动膜的长边平行的基准线而形成为线对称。

9.根据权利要求8所述的压电器件,其特征在于,

所述第三电极具有平行于所述压电体膜的短边的第一宽度,并且所述第一电极和所述第二电极以所述第一宽度以上的、平行于所述压电体膜的短边的第二宽度与所述第三电极分开。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的压电器件,其特征在于,

在所述第一电极与所述第三电极之间、以及所述第二电极与所述第三电极之间,所述第二面上形成有槽。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的压电器件,其特征在于,

当俯视观察时,在所述第一电极以及所述第二电极与所述第三电极之间,在所述振动膜上配置导电体以外的部件。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的压电器件,其特征在于,

作为对所述压电体膜进行初始化的处理,施加从所述第一电极向所述第三电极的电场矢量,并且施加从所述第二电极向所述第三电极的电场矢量。

13.一种探测器,其特征在于,具有多个根据权利要求1至12中任一项所述的压电器件。

14.根据权利要求13所述的探测器,其特征在于,

所述探测器具备形成沿切片方向配置的所述压电器件共用的所述第三电极的导电体。

15.根据权利要求13或14所述的探测器,其特征在于,

所述探测器还具备:形成沿扫描方向配置的所述压电器件共用的所述第一电极的导电体、和形成沿扫描方向配置的所述压电器件共用的所述第二电极的导电体。

16.一种超声波图像装置,其特征在于,具有多个根据权利要求1至12中任一项所述的压电器件。

17.根据权利要求16所述的超声波图像装置,其特征在于,

所述超声波图像装置具备形成沿切片方向配置的所述压电器件共用的所述第三电极的导电体。

18.根据权利要求16或17所述的超声波图像装置,其特征在于,

所述超声波图像装置还具备:形成沿扫描方向配置的所述压电器件共用的所述第一电极的导电体、和形成沿扫描方向配置的所述压电器件共用的所述第二电极的导电体。

19.一种电子设备,其特征在于,具有多个根据权利要求1至12中任一项所述的压电器件。

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