超声波器件、超声波组件、电子设备以及超声波测定装置的制作方法

文档序号:11115589阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超声波器件,其特征在于,具备:

元件基板,具备将多个超声波换能器配置为阵列状的超声波换能器阵列,并具有第一面以及与所述第一面相反侧的第二面;

端子部,设置于所述元件基板的所述第一面并且在从所述第一面的法线方向观察的俯视下比所述超声波换能器阵列靠外侧处,并与所述超声波换能器进行电连接;以及

加固板,设置于所述元件基板的所述第二面并在所述俯视下与所述端子部重叠的区域,并且弯曲刚性比所述元件基板大。

2.根据权利要求1所述的超声波器件,其特征在于,

所述超声波器件具备设置于所述元件基板的所述第一面侧的密封板,

在所述密封板上,在所述俯视下与所述端子部重叠的区域设置有在厚度方向上贯穿所述密封板的通孔,

所述加固板设置于在所述俯视下与所述通孔重叠的区域。

3.根据权利要求1或2所述的超声波器件,其特征在于,

所述元件基板具有基准厚度部和薄厚度部,所述基准厚度部具有预定的基准厚度尺寸,所述薄厚度部的厚度尺寸比所述基准厚度部小,

所述元件基板中的被设置所述加固板的区域是所述薄厚度部,并且所述元件基板中的被设置所述加固板的区域处的所述第二面位于比所述基准厚度部处的所述第二面靠所述第一面侧处。

4.根据权利要求3所述的超声波器件,其特征在于,

所述元件基板具备:开口部,与多个所述超声波换能器分别对应;以及振动部,堵塞所述开口部的所述第一面侧,

所述元件基板的被设置所述加固板的区域处的所述第二面与所述振动部的面对所述开口部的面是同一平面。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的超声波器件,其特征在于,

所述超声波换能器阵列具有沿相对于第一方向交叉的第二方向配置多个超声波换能器组的阵列构造,所述超声波换能器组由沿所述第一方向排列并且通过同一信号线连接的多个所述超声波换能器构成,

所述端子部配置于各所述超声波换能器组的所述第一方向的两端之中的至少一端侧,

所述加固板在所述超声波换能器阵列的所述第一方向的两端之中的至少所述一端侧沿所述第二方向配置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的超声波器件,其特征在于,

所述加固板在所述俯视下形成为框状,并且包围所述超声波换能器阵列。

7.根据权利要求6所述的超声波器件,其特征在于,

所述超声波换能器阵列具有沿相对于第一方向交叉的第二方向配置多个超声波换能器组的阵列构造,所述超声波换能器组由沿所述第一方向排列并且通过同一信号线连接的多个所述超声波换能器构成,

在所述元件基板上,在所述超声波换能器阵列的所述第二方向的两端侧设置有沿所述第一方向排列的多个评价用超声波换能器,

所述端子部分别配置于各所述超声波换能器组的所述第一方向的两端侧,

所述加固板具备端子区域加固部和评价元件区域加固部,所述端子区域加固部在所述超声波换能器阵列中的所述第一方向的两端侧沿所述第二方向配置,所述评价元件区域加固部在所述超声波换能器阵列中的所述第二方向的两端侧且在所述俯视下与多个所述评价用超声波换能器重叠的区域沿所述第一方向配置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的超声波器件,其特征在于,

所述元件基板具备:开口部,与多个所述超声波换能器的分别对应;振动部,堵塞所述开口部的所述第一面侧,

所述加固板中的未与所述元件基板接合的面位于与所述开口部的开口面同一平面,或者位于相对于所述开口面更远离所述第一面的方向处。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的超声波器件,其特征在于,

所述加固板具备:端子区域加固部,设置于在所述俯视下与所述端子部重叠的区域;以及元件间区域加固部,配置于在所述俯视下所述超声波换能器之间。

10.一种超声波组件,其特征在于,具备:

元件基板,具备将多个超声波换能器配置为阵列状的超声波换能器阵列,并具有第一面以及与所述第一面相反侧的第二面;

端子部,设置于所述元件基板的所述第一面并且在从所述第一面的法线方向观察的俯视下比所述超声波换能器阵列靠外侧处,并与所述超声波换能器进行电连接;

加固板,设置于所述元件基板的所述第二面并在所述俯视下与所述端子部重叠的区域,并且弯曲刚性比所述元件基板大;

连接部件,连接于所述端子部;

保护部件,覆盖所述端子部;以及

布线基板,连接于所述连接部件。

11.一种电子设备,其特征在于,具备:

元件基板,具备将多个超声波换能器配置为阵列状的超声波换能器阵列,并具有第一面以及与所述第一面相反侧的第二面;

端子部,设置于所述元件基板的所述第一面并且在从所述第一面的法线方向观察的俯视下比所述超声波换能器阵列靠外侧处,并与所述超声波换能器进行电连接;

加固板,设置在所述元件基板的所述第二面并在所述俯视下与所述端子部重叠的区域,并且弯曲刚性比所述元件基板大;

连接部件,连接于所述端子部;

保护部件,覆盖所述端子部;

布线基板,连接于所述连接部件;以及

控制部,控制所述超声波换能器。

12.一种超声波测定装置,其特征在于,具备:

元件基板,具备将多个超声波换能器配置为阵列状的超声波换能器阵列,并具有第一面以及与所述第一面相反侧的第二面;

端子部,设置于所述元件基板的所述第一面并且在从所述第一面的法线方向观察的俯视下比所述超声波换能器阵列靠外侧处,并与所述超声波换能器进行电连接;

加固板,设置于所述元件基板的所述第二面并在所述俯视下与所述端子部重叠的区域,并且弯曲刚性比所述元件基板大;

连接部件,连接于所述端子部;

保护部件,覆盖所述端子部;

布线基板,连接于所述连接部件;以及

测定控制部,控制来自所述超声波换能器阵列的超声波的发送以及被反射的超声波的接收,根据超声波的收发定时来测定被测定物。

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