专利名称：无尘台的制作方法
技术领域：
本发明涉及保持区划的空间内的清洁环境的无尘台。
背景技术：
例如，在制造半导体等的无尘室中，将通过具备HEPA过滤器等的空气净化装置进行净化过的、灰尘极少的空气从通气口送入，从而保持无尘室内高度净化的环境。这样的无尘室的设置需要在建筑物整体及隔离的地板上设计、设置除尘装置及通道的大规模施工。
有一种无尘台为人们所知，其不进行这种大规模的设置施工，作为简单地保持被限定的范围内净化环境的机构，例如设置在普通环境的室内使用。该无尘台具备在宽1m、高2m大小的台内收容了除尘过滤器等的净化单元，其将除尘之后的空气送入无尘台的净化区域内，而只保持该净化区域内的净化。(例如，参考日本专利特开2001-141273号公报)但是，上述无尘台存在如果不设置在某种净化程度的环境中，则无尘台的净化区域内就无法得到完全的净化环境的问题。例如，如果在制造现场等烟雾较多的环境下设置并使用现有的无尘台，则多数净化区域内不能达到规定的净化标准。
发明内容
本发明鉴于上述事情，目的在于提供一种结构简单、可以自由设置的、并且即使设置在比较污染的环境下也可以得到较高净化度的环境的无尘台。
为了达到上述目的，本发明提供一种无尘台，具备区划在筐体中央、且内部被保持成除尘后的气氛的作业空间；配置在上述作业空间的上部、且从作业空间上部将除尘过的空气送入作业空间的除尘单元；形成在上述作业空间前面、并在作业空间下部打开一定的间隙地覆盖前面的前面罩；区划在上述作业空间下部、并流入作业空间的空气的整流空间；在上述整流空间和上述除尘单元之间使空气可以流通地进行连接的回流通道；以及将外部空气导入整流空间或者回流通道的吸气部。
这种无尘台结构简单，并且可以实现使作业空间内维持较高的净化度。另外，因为即使在作业空间的下部打开了一定的间隙的状态下也可以使作业空间内维持较高的净化度，所以可以实现作业性极高的无尘台。
上述除尘单元最好具备主除尘过滤器、第一辅助过滤器。由此，可以提高主除尘过滤器的通气性而延长寿命。在上述作业空间的前面侧开口的下端边缘也可以还具备从上述筐体的前面向斜下方突出的遮板。该遮板可以降低从作业空间前面的下部间隙的外部空气的进入，而维持作业空间内的净化度。
也可以在上述作业空间的背面安装具有透光性的背板，进一步具备介由上述背板从里面侧来照明上述作业空间的照明装置。该照明装置避免在作业空间内设置了照明装置的情况下所产生的清洁空气的乱流，而维持作业空间内的净化度。另外，即使照明装置上堆积了灰尘，也可以通过板部来隔断与作业空间之间，从而良好地保持作业空间内的净化度。
也可以在上述吸气部还具备第二辅助过滤器。第二辅助过滤器防止将灰尘较多的外部空气直接导入无尘台内，从而提高除尘单元中的主除尘过滤器的通气性，而延长寿命。
还可以具备从上述作业空间的底面延伸到上述整流空间下方的整流板。另外，最好将上述整流板所区划的整流空间的宽度设定为与上述回流通道的宽度大致相同。这样的整流板通过对从顶板流入作业空间的清洁空气流进行整流，从而使从作业空间下部的间隙难以吸入外部空气。
为了达到上述目的，本发明提供了一种无尘台，具备区划在筐体中央、且内部保持成除尘后的气氛的作业空间；配置在上述作业空间的上部、并从作业空间上部将除尘过的空气送入作业空间的除尘单元；形成在上述作业空间前面、并在作业空间下部打开一定的间隙、并以中央部突入到上述作业空间内的方式进行弯曲地覆盖前面的前面罩；区划在上述作业空间下部、并流入作业空间的空气的整流空间；在上述整流空间和上述除尘单元之间使空气可以流通地进行连接的回流通道；以及将外部空气导入整流空间或者回流通道的吸气部。
这种无尘台结构简单，并且可以实现使作业空间内维持较高的净化度。另外，因为即使在作业空间的下部打开一定的间隙的状态下也可以使作业空间内维持较高净化度，所以可以实现作业性极高的无尘台。并且，使覆盖上述作业空间前面的前面罩以中央部伸入到上述作业空间内的方式弯曲，由此，在无尘台进行作业的操作者可以从前面罩的弯曲部分俯视观察作业空间整体。因此，操作者可以轻易地观察作业空间而有效地进行作业。
可以在上述前面罩的前端形成可以调节上述间隙间隔的裙部。可以通过该裙部自由地调节间隙间隔，而使在无尘台进行作业的操作者的臂部可以插入作业空间内，同时将作业时的间隙间隔限制在最小来抑制外部空气进入作业空间内。另外，裙部如果由柔软的材料形成，则作业者可以一边关闭间隙一边仅将臂部插入作业空间内进行作业。
也可以在上述作业空间的前侧开口的下端边缘还具备从上述筐体前面向斜下方突出的遮板。该遮板形成从间隙流出的空气流，而防止从间隙的大量外部空气的进入，从而维持作业空间内的净化度。
优选在上述整流空间的前面侧形成区划为上述整流空间、前面侧开放的下部空间。该下部空间收容坐在无尘台前面进行作业的操作者的脚部，从而达到提高无尘台操作者的作业性的效果。
图1是表示本发明的无尘台的外观立体图。
图2是表示图1的无尘台的剖视图。
图3是表示本发明验证时的测定点的说明图。
图4是表示本发明的验证结果的图表。
图5是表示本发明的验证结果的图表。
图6是表示本发明的验证结果的图表。
图中1-无尘台，11-筐体，13-开口，15-作业空间，17-下部空间，18-前面罩，18a-裙部，22-遮板，24-整流空间，25-吸气部，26-第二辅助过滤器，27-整流板，30-回流通道，32-除尘单元，33-主除尘过滤器，34-第一辅助过滤器，37-背板，38-照明装置。
具体实施例方式
以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是表示本发明的无尘台的外观立体图，图2是其剖视图。无尘台1由树脂或金属形成，具备例如宽1m、高2m的筐体11。筐体11形成由两侧的侧壁11A、11A、天面板11B、与侧壁11A、11A的前面上部以及与天面板11B连接的前面壁11C、背面板11D组成的箱形，在其前侧F的中间形成有开口13。另外，在筐体11中，在开口13的下侧形成有下部开口14。在筐体11的开口13的上部设置有无尘台1的收纳主开关等的开关盘2。
从开口13向筐体11的内部区划出略呈立方体的作业空间15。另外，从下部开口14向筐体11的内部区划出略呈立方体的下部空间17。在作业空间15的前面侧形成有覆盖开口13的前面罩18。前面罩18由例如透明树脂薄片或者树脂板形成，并通过横截棒19从开口13延伸到作业空间15内，从而保持截面弯曲为“く”字形的状态。另外，该前面罩18也可以不形成横截棒19而使用硬质的玻璃板等，并从开口13向作业空间15内延伸形成。
在前面罩18的下端和开口13的下端边缘之间形成具有一定间隔的间隙21。该间隙21可以使作业空间15内和外部空气之间的空气流通。在前面罩18的下端一侧形成有可以调节间隙21间隔的裙部18a。通过使该前面罩18的裙部18a上升来扩大间隙21的间隔，可以使在无尘台1进行作业的操作者P的臂部插入作业空间15内，同时也可以将作业时的间隙21高度限制为最小。
在开口13的下端边缘上从筐体11的前面向倾下方突出形成遮板22。遮板22对从间隙21流出的空气流动进行整流。由此，可以在间隙21附近控制乱流的产生，并使外部空气很难从间隙21进入。
在作业空间15的下面安装有由形成了多个通气孔23a的金属板、冲孔金属板等形成的通气板23。并且，在作业空间15的下侧，介由该通气板23区划整流空间24。通气板23，是在作业空间15上载置各种基材或装置的底板，同时其可以使空气在作业空间15和整流空间24之间流通。这样的通气板23形成在从作业空间15的间隙21向背面侧B后退的位置上。通过使通气板23从间隙21后退形成，可以介由通气板23防止多余的外部空气从间隙21向整流空间24进入通道。
从下部开口14向内扩大的下部空间17例如收容坐在无尘台1前面并进行作业的操作者P的脚部，从而达到提高作业性的效果。在该下部空间17的内侧，如果面向整流空间24在作业空间15的下方形成吸气部25，则吸气部25的外部由从作业空间15的间隙排出并流下的空气，形成比一般的外部空气清洁的空气。因此，认为吸入到整流空间24内的灰尘比较少。
在这样的吸气部25安装了第二辅助过滤器26。第二辅助过滤器26捕获含在外部空气中的颗粒径较大的灰尘，起到将满足了一定标准净化度的空气导入到整流空间24中的效果。在这样的第二辅助过滤器26处，可以将去除了颗粒径较大的灰尘的外部气体导入整流空间24内，从而提高后述除尘单元32的第一辅助过滤器34的通气性，可延长寿命。第二辅助过滤器26最好将300目以上、具体地说是300～600目的过滤器层叠使用，从而防止5μm以上的较大灰尘的进入。另外，在本实施方式中，虽然面向整流空间24形成吸气部25，但是也可以面向回流通道30设置背板11D或天面板11B，没有任何限定。
在通气板23的底面侧形成有下垂到整流空间24内的整流板27。整流板27可以由例如橡胶板、树脂板或者树脂薄膜形成，可设置1张～多张。
在作业空间15的上部介由顶板12区划出除尘空间31。在分隔作业空间15和除尘空间31的顶板12上形成了多个通气孔12a，通过这些顶板12可以使作业空间15和除尘空间31空气流通。
在筐体11的背面侧B上，以被筐体11的背板11D和侧壁11A，11A和天面板11B和作业空间15的背板37所包围的形状形成使空气可以在该除尘空间31和整流空间24之间流通的回流通道30。通过该结构，从除尘空间31经过作业空间15到达整流空间24，进而形成从回流通道30返回到除尘空间31的一连串空气的流通路。例如回流通道30的深度D1最好形成与上述整流板27的前端和整流空间24的底面24a的间隔D2大致相同的尺寸。通过使D1和D2大致相同，可以使移动气流的速度大致相同，所以可以使空气的循环稳定。
在除尘空间31中设置了除尘单元32。除尘单元32以覆盖顶板12上形成的多个通气孔12a的方式设置，并且通过例如橡胶衬垫来密接在顶板12上。
除尘单元32具备主除尘过滤器33、第一辅助过滤器34和风扇35。第一辅助过滤器34捕获颗粒径较大的灰尘，而将满足一定标准净化度的空气导入到主除尘过滤器33。该第一辅助过滤器34例如可以在1立方英尺中将5万个灰尘减少到9千个左右。起到由第一辅助过滤器34捕获颗粒径比较大的灰尘的预过滤器的效果，由此，可以减轻后述主除尘过滤器33的堵塞而延长主除尘过滤器33的寿命。
主除尘过滤器33适合采用以玻璃棉为主要材料的纸张状(paper状)的过滤器，例如HEPA(High Efficiency Particulate Air)过滤器。HEPA过滤器为了提高集尘的效果而弯曲收入大表面积的材料，通过惯性、扩散、碰撞这3种过滤作用能够捕捉到1μm以下的非常细微的灰尘。
风扇35起到从第一辅助过滤器34吸入除尘空间3 1内的空气并将其送入主除尘过滤器33的作用。从这样结构的除尘单元32的下面，送出例如在1立方英尺中含有10个以下细微灰尘的清洁的空气，将介由顶板12的作业空间15内保持成满足净化度的大致的标准中10级规格的空间。另外，在主除尘过滤器33中使用的过滤器材料除了上述的HEPA过滤器以外，还可以使用例如ULPA(Ultra Low Particulate Air)过滤器等发挥更高性能的除尘性的过滤器。
在作业空间15的背面侧B安装有区划作业空间15和回流通道30的背板37。该背板37最好由例如透明树脂板构成。并且在回流通道30中在与作业空间15的上部相邻的部分设置照明装置38。另外，在背板37的底面侧从作业空间15的底部向下方吊下形成隔板37A，该隔板37A的下端与后述整流板27的下端大致在相同高度。
该照明装置38介由透明树脂板构成的背板37照亮作业空间15。在回流通道30内设置照明装置38而介由背板37照亮作业空间15，由此可以防止在作业空间15内设置了照明装置的情况下所产生的净化空气的乱流和灰尘的进入。
现在，对具有以上结构的无尘台1的空气流和作用进行详细叙述。除尘空间31的空气通过风扇35的旋转被导入除尘单元32，由第一辅助过滤器34将1立方英尺中的灰尘清除到9千个。经过第一辅助过滤器34的空气接着被导入主除尘过滤器33，这里将1立方英尺中的灰尘除去到10个左右。
这样，通过顶板12将1立方英尺中灰尘除去到10个的非常清洁的空气从除尘单元32送到作业空间15中。在作业空间15中从顶板12向通气板23形成清洁的空气流，而将作业空间15内保持在净化度满足10级的灰尘非常少的环境。另外，将无尘台1的作业空间15定在10级，并不是在运转开始后马上达到10级的环境，而是可以在进行了规定时间空气的循环、除尘之后达到。另外，在将作业空间15定在10级之后，只要继续空气的循环、除尘，就可以保持10级。另外，外部空气在例如存在较多0.5μm灰尘的一般环境中，最好增多换气次数。例如，具有在600次/1h以上、优选1000次/1h以上即可保证净化度的效果。
因为覆盖该作业空间15开口13的前面罩18被保持为弯曲成“く”字形的状态从而伸出到作业空间15内，所以在无尘台1进行作业的操作者P可以从前面罩18的弯曲部分俯视观察到作业空间15的整体。因此，操作者P可以轻易地观察作业空间15而有效地进行作业。
来自顶板12的清洁气流由于前面罩18的弯曲形状而面密度暂时提高，因此风速提高。绕过弯曲形状顶点的清洁的空气流可以流向作业空间15下部的开口13，能够减少外部空气从开口13的进入。通过前面罩18的弯曲形状使清洁的空气流配合作合空间15实现最佳，由此，可以良好地维持作业空间15的净化度。另外，从开口13的下端边缘向斜下方突出的遮板22对间隙21流出的空气流进行整流，可以抑制由于外部空气从间隙21流出而产生的乱流。因此，可以抑制由于乱流而产生的外部空气从间隙21向作业空间15的进入。
这样，通过弯曲的前面罩18和遮板22，即使形成了便于操作者P在作业空间15内进行作业的间隙21，也可以将作业空间15内保持成非常清洁的环境。另外，通过在从作业空间15的间隙21向背面侧B后退的位置形成通气板23，可以防止大量的外部空气介由通气板23从间隙21向整流空间24进入通道，从而导致降低作业空间15内的净化度下降。
作业空间15内的空气介由通气板23被导入到整流空间24内。被导入到整流空间24内的空气沿整流板27降到整流空间24底面附近之后，从回流通道30被回流到除尘空间31中。因为从作业空间15流出的空气沿该整流板27被降到整流空间24的底面附近，所以，能够形成用于将通过第二辅助过滤器26进行除尘过的外部空气从位于整流空间24下部的吸气部25导入到整流空间24内的底部的气流。
另外，虽然从作业空间15的间隙21进入一部分外部空气，但是通过将进入的外部空气暂时降到整流空间24的底面附近，可以有效地提高作业空间15内的净化度。进而，如果使整流板27的前端和整流空间24的底面的间隔D2形成与回流通道30的直径D1相同的尺寸，则可以以同等的速度将从作业空间15流出、通过整流板27的空气、和从吸气部25经过第二辅助过滤器26被导入的外部空气向回流通道30送出，而可以使无尘台1内的循环稳定。
这样，从整流空间24流出的空气通过回流通道30被再次导入除尘空间31。由此，无尘台1内的空气一边适度地导入外部空气一边使他们基本上回流。由此，如果使除尘单元32动作，则可以在短时间内使作业空间15内保持在较高的净化度。
实施例本申请人验证了具有上述结构的无尘台的功能。在验证时准备了具有与上述实施方式相同结构的无尘台。首先，为了验证本发明的无尘台的净化性能，使用颗粒计数器测定外部气体的灰尘数。结果是存在20000～25000(粒子/1立方英尺)平均0.5μm的灰尘。
接下来，如图3所示，在无尘台1的作业空间15内设定12处测定点A～M，利用颗粒计数器测定每个测定点的灰尘数。在验证中使用的无尘台1的尺寸为高2.0m、宽1.3m、深0.8m，作业空间15为高0.6m、宽1.2m、深0.5m。从作业空间15的底部向整流空间24吊下两张整流板27，如图2所示将D1＝D2设为20cm。在除尘单元32中，在第一辅助过滤器34中使用300目的过滤器，在第二辅助过滤器26中使用300目的过滤器。另外，换气次数设为1800次/h。
测定点A及C是在通气板23上的、距通气板23的两侧端10cm、距前端15cm的位置上设定的测定点。测定点D和F是在通气板23上的、距通气板23的两侧端10cm、距后端10cm的位置上设定的测定点。测定点B和E分别是在通气板23上设定的测定点A-C的中间点、测定点D-F的中间点。另外，测定点G～M分别设定在距测定点A～F中各测定点25cm高度的位置上(距通气板23上表面25cm的高度)。
在这些测定点A～M中，使用颗粒计数器计算平均0.5μm的灰尘数。以下，在表1中显示测量测定点A～M中的平均0.5μm灰尘数的结果。
表1
表1～12所示的各个测定点A～M中的灰尘数的测量结果表明本发明的无尘台在作业空间15的整个区域按照无尘室的规格标准实现了充分满足10级的非常清洁的环境。本发明的无尘台证实了可以通过简单结构而得到非常清洁的环境。
接下来，验证本发明的无尘台的前面罩18的下端与开口13的下端边缘的间隙21的尺寸、和作业空间15的净化度的关系。在验证时准备了具有与上述实施方式相同结构的无尘台，将间隙21的间隔t分别设定为0cm、15cm、20cm、23cm、33cm，并在上述测定点B的位置上测定作业空间15的净化度。测定使用颗粒计数器来计量上述每个尺寸的间隙21情况下的测定点B的位置上的颗粒径平均为0.5μm的灰尘数(每1立方英尺的颗粒数颗粒/1CF)。
图4通过折线图表示测量每个间隙间隔t下的灰尘数的结果。根据图4所示的测量结果，即使间隙打开到23cm的程度，灰尘数最大也只有平均0.67个左右，作业空间15内实现了按照无尘室的规格标准满足10级的非常清洁的环境。实际证明了如果可以将间隙打开到23cm，则操作者就可以将臂部插入到作业空间15内并自由地进行作业，可以得到高净化度和操作性能非常良好的无尘台。
进而，验证在本发明的无尘台中的整流空间24内形成的整流板27(参考图2)的功能，在验证时准备了具有与上述实施方式相同结构的无尘台，并测定在设置了整流板27的情况下、撤去整流板27的情况下的、测定点B位置上的作业空间15的净化度。
图5、6由柱形图表示设置了整流板27的情况下和撤去整流板27的情况下的、测定点B的位置的颗粒径为平均0.5μm的灰尘的平均数(每1立方英尺的颗粒数颗粒/1CF)。图5、6表示在设置了整流板27的情况下，作业空间15内的最大灰尘平均数也在9个以下，其实现了按照无尘室规格标准满足10级的非常清洁的环境。
另一方面，即使在没有设置整流板27的情况下，虽然作业空间15内的平均灰尘数明显在9个以内，达到了10级，但是灰尘的检出频率比存在整流板27的情况有所增加。根据以上结果，本发明的无尘台的整流板27验证了作业空间15内的净化度提高的效果。
另外，在上述实施方式中，虽然前面罩18向作业空间15内弯曲，当然并不限定于此，也可以是覆盖作业空间前侧开口的平板状的前面罩。另外，在上述实施方式中，虽然使用了第一和第二辅助过滤器作为除尘单元32的主除尘过滤器33的除尘的前阶段，当然也并不限定于此，也可以对应各个过滤器的除尘性能适当地选择辅助过滤器的有无和数量。
如上详述，本发明的无尘台不仅具有简单的结构，而且可以将作业空间内维持高净化度。另外，因为即使在作业空间的下部打开了一定间隙的状态下，也可以使作业空间内维持高净化度，所以可以实现作业性极高的无尘台。
上述除尘单元也可以具备主除尘过滤器和第一辅助过滤器。由此，可以提高主除尘过滤器的通气性，并且延长寿命。也可以进一步在上述作业空间的前侧开口的下端边缘设置从上述筐体的前面向斜下方突出的遮板。该遮板降低外部空气从作业空间前面的下部间隙的进入，而维持作业空间内的净化度。
也可以在上述作业空间的背面安装透光性的背板，进而具备介由上述背板从里面侧照明上述作业空间的照明装置。该照明装置避免了在作业空间内设置照明装置的情况下产生的清洁空气的乱流，而可维持作业空间内的净化度。另外，即使在照明装置上堆积灰尘，也可以由板来隔离作业空间，来良好地保持作业空间内的净化度。
也可以在上述吸气部进一步具备第二辅助过滤器。第二辅助过滤器防止将灰尘较多的外部空气直接导入无尘台内，可以提高除尘单元中的主除尘过滤器的通气性，而延长寿命。
也可以进一步具备从上述作业空间的底面向上述整流空间的下方延伸的整流板。另外，最好将由上述整流板区划的整流空间的宽度设成与上述回流通道宽度大致相同。该整流板通过将从顶板流入作业空间的清洁空气流进行整流，从而从作业空间下部的间隙很难吸入外部空气。
并且，通过将覆盖上述作业空间前面的前面罩的中央部弯曲而伸出到上述作业空间内，而可以暂时提高清洁气流的风速，使绕过弯曲形状的顶点进入的清洁空气流流向作业空间的下部开口。由此，可以减少从开口进入的外部空气。另外，因为通过前面罩的弯曲形状在无尘台进行作业的操作者可以从前面罩的弯曲部分俯视观察到作业空间整体，所以操作者也可以轻易地观察作业空间而有效地进行作业。
最好在上述前面罩的前端形成上述间隙间隔可以调节的转动部。通过该转动部可以自由调节间隙的间隔，在无尘台进行作业的操作者的臂部可以插入作业空间内，同时将作业时的间隙间隔降到最小，从而抑制外部空气向作业空间内的进入。
也可以在上述作业空间的底面还具备从作业空间前面向斜下方突出的遮板。该遮板形成从间隙流出的空气流，防止了外部空气从间隙大量地进入，而维持了作业空间的净化度。
最好在上述整流空间的前面侧形成区划成上述整流空间、前面侧开放的下部空间。这样的下部空间起到收容坐在无尘台前面进行作业的操作者脚部、而提高无尘台操作者的作业性的作用。
权利要求
1.一种无尘台，其特征在于，具备区划在筐体中央、且内部被保持成除尘后的气氛的作业空间；配置在上述作业空间的上部、且从作业空间上部将除尘过的空气送入作业空间的除尘单元；形成在上述作业空间前面、并在作业空间下部打开一定的间隙地覆盖前面的前面罩；区划在上述作业空间下部、并流入作业空间的空气的整流空间；在上述整流空间和上述除尘单元之间使空气可以流通地进行连接的回流通道；以及将外部空气导入整流空间或者回流通道的吸气部。
2.根据权利要求1所述的无尘台，其特征在于上述除尘单元具备主除尘过滤器、第一辅助过滤器。
3.根据权利要求1所述的无尘台，其特征在于在上述作业空间的前面侧开口的下端边缘具备从上述筐体的前面向斜下方突出的遮板。
4.根据权利要求1所述的无尘台，其特征在于在上述作业空间的背面安装透光的背板，还具备介由上述背板从里面侧来照明上述作业空间的照明装置。
5.根据权利要求1所述的无尘台，其特征在于在上述吸气部具备第二辅助过滤器。
6.根据权利要求1所述的无尘台，其特征在于还具备从上述作业空间的底面向上述整流空间内延伸的整流板。
7.根据权利要求1所述的无尘台，其特征在于将由上述整流板所区划的整流空间的宽度设定为与上述回流通道的宽度大致相同。
8.一种无尘台，其特征在于，具备区划在筐体中央、且内部保持成除尘后的气氛的作业空间；配置在上述作业空间的上部、并从作业空间上部将除尘过的空气送入作业空间的除尘单元；形成在上述作业空间前面、并在作业空间下部打开一定的间隙、并以中央部突入到上述作业空间内的方式进行弯曲地覆盖前面的前面罩；区划在上述作业空间下部、并流入作业空间的空气的整流空间；在上述整流空间和上述除尘单元之间使空气可以流通地进行连接的回流通道；以及将外部空气导入整流空间或者回流通道的吸气部。
9.根据权利要求8所述的无尘台，其特征在于在上述前面罩的前端侧形成可以调节上述间隙间隔的裙部。
10.根据权利要求8所述的无尘台，其特征在于在上述作业空间的前面侧开口的下端边缘具备从上述筐体前面向斜下方突出的遮板。
11.根据权利要求8所述的无尘台，其特征在于在上述整流空间的前侧形成有区划为上述整流空间、且前面侧开放的下部空间。
全文摘要
本发明提供一种无尘台，该无尘台，从开口向筐体内部区划出略立方体的作业空间。另外，从下部开口向筐体内部区划出略立方体的下部空间。在作业空间的前面侧形成覆盖开口的前面罩。前面罩例如由透明树脂薄片形成，并保持成通过横截棒从开口向作业空间内伸出地弯曲成截面为“ㄑ”字形的状态。因此，这种无尘台，结构简单、可以自由设置，并且即使设置在污染的环境下也可以得到较高净化度的环境。
文档编号B08B15/02GK1576738SQ200410071378
公开日2005年2月9日 申请日期2004年7月23日 优先权日2003年7月29日
发明者姉崎裕一, 五十岚辉雄, 关繁仁 申请人:阿尔卑斯电气株式会社