专利名称：面板清洗设备和清洗方法
技术领域：
本发明涉及一种用于冲洗并移除粉尘、废渣、和其他粘附到例如液晶面板中使用的玻璃基板等表面的异物的面板表面清洗设备。本发明尤其涉及一种在清洗完传送面板的环带之后防止异物转移并再次污染面板的面板清洗设备和清洗方法。
背景技术：
液晶面板由在一对玻璃基板之间密封的液晶组成。在制造液晶面板的工序期间，异物会粘附到液晶面板的玻璃基板表面上，这会在粘附有异物的位置中导致较差的显示质量。由于该原因，必须还要在制造液晶面板的工序中提供用于移除基板上的异物的步骤。
图1是显示常规面板清洗设备的结构的横截面图。常规面板清洗设备包括用于支撑面板102的平台112；环形行进装置109和用于传送面板102的传送辊108；用于将清洗液喷射到面板102上的清洗喷嘴101；清洗头103，其将头压向面板表面并扫描面板表面，同时进行旋转以清洗面板；和用于将水排放到外部的面板清洗液排放通道110，如图1中所示。
环形行进装置109由在以预定间隔设置的一对旋转支撑辊107a和107b之间延伸的环形带106组成。把要清洗的面板102通过支撑板105安放在环形带106上。旋转支撑辊107a和107b被旋转地驱动，由此环形带106和安放在环形带上的面板102在图中所示的传送方向上传送。在环形行进装置109的两侧上设置有多个传送辊108。传送辊108将面板102从上游步骤移向环形行进装置109，然后从环形行进装置109移向下游步骤。环形带106设置有多个吸孔120。在清洗期间平台112通过吸孔120吸住并保持面板102。
在具有这种结构的常规面板清洗设备中，清洗液从清洗喷嘴101向着面板102喷射；清洗头103被压向面板表面并在旋转的同时在表面上经过，由此清洗面板102的表面；粘附到面板102的表面上的异物104随着清洗液被清洗掉。随着清洗液被清洗并被移除的异物104作为排放的水111穿过吸孔120，并被排放到设置在环形带106下面的面板清洗液排放通道110。
日本未决公开专利申请公开No.2005-194060图解了一种与面板清洗设备不同的面板传送装置的例子，其中公开了一种基板传送装置。该基板传送装置具有环形带且使异物粘附到基板的情形最小化。日本未决公开专利申请公开No.2005-194060图解了一种面板传送装置的例子，其中在以平行方式设置的一对环形带之间设置有多个安装构件锚定轴，这些安装构件锚定轴如此设置，即长度方向与环形带的旋转方向形成直角；并且该多个基板安装构件被配置到安装构件锚定轴。基板以水平的方式支撑在基板安装构件上，并且安装构件锚定轴结合环形带的旋转水平地移动，由此传送基板。
在已审查的专利申请公开No.8-1981中，公开的现有技术涉及一种基板传送装置的防尘装置，其设置在清洗基板的清洗线上。在该现有技术中，在清洗基板的处理层中设置有清洗机构和淋浴喷嘴，所述清洗结构使用清洗液来清洗用于传送基板的传送装置的驱动部件的驱动齿轮，所述淋浴喷嘴用于将基板清洗液喷射向基板。在驱动齿轮的清洗机构中，将清洗液供给到一盘子中，将驱动齿轮保持为稍微浸没，通过驱动部件的旋转将清洗液从盘子带起，从而将磨损粉末清洗掉。在给传送装置设置的旋转轴附近还设置有处理液导向部件，用于使用从淋浴喷嘴喷射的一些清洗液清洗掉轴承上的粉尘，然后将粉尘排放到锚定轴承的框架外部。因此，清洗掉了由驱动齿轮产生的磨损粉末，并清洗掉了由轴承产生的磨损粉末。
然而，上述现有技术出现了下面的问题。
在图1中所示的常规面板清洗设备中，进入环形行进装置的异物从设置在环形带中的吸孔排放。然而，吸孔较小(具有大约2mm的直径)，不容易进行排放。因此，异物聚积/沉积在内部，由此异物逐渐聚积。粘附到环形带的内表面并保留在平台与环形带之间的沉积的异物形成结块。由于该原因，当清洗期间清洗头压向面板表面时，平台上的结块在面板上产生局部压力载荷，液晶面板等中的间隔器会相对移动，并且在平板显示器中发生缺陷。
此外，当吸孔的尺寸增加时，吸功率会增加。那么，与发生结块一样，在清洗期间，由于施加到面板的集中载荷而产生了局部压力载荷，面板中的间隔器相对于液晶面板等移动，并且在平板显示器中发生缺陷。
因而，在包括常规环形行进装置的面板清洗设备中会发生一些问题，即用于排放进入环形行进装置的异物的机构是不合适的。此外，没有提供用于清洗环形行进装置的内表面的机构，异物聚积在环形行进装置中，并且在平板显示器中发生缺陷。
发明内容
本发明的目的是提供一种包括下述机构的面板清洗设备和清洗方法，所述机构用于清洗和移除聚积在传送面板的环形带上的异物并将异物排放到清洗设备外部。
根据本发明的面板清洗设备包括用于传送面板的环形带；用于从环形带的内侧下面支撑传送面板的平台；用于从上面清洗面板的清洗装置；和用于清洗环形带的内表面的清洗喷嘴。
清洗喷嘴能够将清洗液喷射到在传送方向上的平台的面板的后端部上的环形带的内表面上。
环形带在一对旋转支撑辊之间延伸，并且在其上的移动区域中传送面板，其中所述一对旋转支撑辊的旋转轴是水平的。
清洗喷嘴优选地从面板的传送方向的前面到向后和斜着向上的方向上，将清洗液喷射到位于在面板的传送方向上的后部侧上的旋转支撑辊的位置处的环形带的内表面上，所述位置是离开环形带设置的。
可以采取下述结构，即环形带具有多个通孔；平台在上表面上具有空气吸口；和通过通孔吸住面板，由此将其锚定到平台。还可采取下述结构，即环形带配置有彼此平行设置的多对带；平台在上表面上具有空气吸口；和通过带之间的间隙吸住面板，由此将其锚定到平台。
清洗装置可以具有用于给面板的表面供给清洗液的清洗喷嘴；和清洗头，其通过与面板接触并在面板的表面上通过来清洗面板的表面。
优选地另外设置用于收集和排放清洗液的排放构件。
在根据本发明的面板清洗方法中，面板在环形带上传送，通过平台从环形带下面支撑面板，且通过清洗装置从上面清洗由平台支撑的环形带上的面板，其中清洗液从清洗喷嘴向着在传送方向上的平台的面板的后端部上的环形带的内表面喷射，由此清洗聚积在环形带的内表面上的异物。
环形带优选在一对旋转支撑辊之间延伸，并且在其上的移动区域中传送面板，其中所述一对旋转支撑辊的旋转轴是水平的；并且从面板的传送方向的前面、在向后和斜着向上的方向上，清洗喷嘴将清洗液喷射到位于在面板的传送方向上的后部侧上的旋转支撑辊的位置处的环形带的内表面上，所述位置是离开环形带设置的。
根据本发明，在面板的传送方向上的平台的后端部设置了清洗喷嘴，且从清洗喷嘴向着环形带的内表面喷射清洗液，由此移除了聚积在环形带的内表面上的异物。因此，可阻止下述情形，即给面板施加压力载荷且损坏或移动了面板中的间隔器，由此在显示中发生缺陷。
图1是显示常规面板清洗设备的结构的横截面图；图2是显示根据本发明的第一实施例的面板清洗设备的横截面图；和图3是显示根据本发明的第二实施例的面板清洗设备的横截面图。
具体实施例方式
下面将参照附图详细描述本发明的实施例。首先，将描述本发明的第一个实施例。图2是显示根据本发明的第一个实施例的面板清洗设备的横截面图。
如图2中所示，在本实施例中的面板清洗设备中设置有具有环形带6的环形行进装置9。在环形行进装置9中，环形带6跨越一对旋转支撑辊7a和7b，其中该对旋转支撑辊7a和7b是以分开预定距离而设置的，以使它们的旋转轴水平并互相平行。旋转支撑辊7a和7b中的至少一个被适当的驱动装置旋转地驱动，由此环形带6在一个方向上旋转。为环形行进装置9的环形带6的入口侧和出口侧设置多个传送辊8，其用于将面板2传送进并传送出环形行进装置9。传送辊8如此旋转地设置，即它们的旋转轴垂至于面板的传送方向。面板2由传送辊8支撑，且所述辊旋转，由此面板在一个方向上移动。给环形带6设置多个用于吸基板的多个吸孔20。吸孔20是通孔。如下面所述，在清洗期间面板2通过吸孔20被吸住并保持在平台12上。
在清洗期间，用于吸住并保持面板2的平台12设置在上部移动区域的环形带6附近并设置在环形带下面。平台12的上表面设置有多个空气吸口21。通过环形带6的吸孔20吸住已经传送到环形带6上的要清洗的面板2，面板2被吸住并锚定到平台12。
在上部移动区域中的环形带6上方设置有清洗喷嘴1，其用于将清洗液喷射并供给到面板2上。在图2中所示的例子中，设置有两个清洗喷嘴1。清洗喷嘴1在传送方向上将清洗液从前方和后方喷射向面板2。在上部移动区域中的环形带6上方设置有清洗头3。清洗头3压向面板2的表面、旋转的同时在面板2上通过、抛光并清洗面板2的表面。同时，在下部移动区域的环形带6下面设置有面板清洗液排放通道10，其用于随清洗液一起排放从面板2的表面移除的杂质4。
在面板2的传送方向上的平台12的后端部附近设置有清洗喷嘴13。在清洗喷嘴13附近设置有水排放通道14，其用于将由从清洗喷嘴13喷射清洗液而清洗下来并移除的异物4和清洗液排放到清洗设备的外部。清洗液从清洗喷嘴13喷射的方向在向后和斜着向上方向(附图中向右和斜着向上的方向)上从面板传送方向的前方延伸，并在离开环形带6设置的且位于面板2的传送方向上的后部的旋转支撑辊7a的位置处面对环形带6的内表面。清洗喷嘴13优选具有喷射清洗液的多个孔，并优选地以在环形带6的宽度方向上较长的长方形狭缝的形式来喷射清洗液。由此可用单个清洗喷嘴13清洗宽度方向上的环形带6的所有区域。可选择地，可采用下述结构，即在环形带6的宽度方向上设置多个清洗喷嘴，由多个清洗喷嘴清洗宽度方向上的环形带6的所有区域。
接下来将描述如此构造的本实施例的操作。首先，根据图2的传送方向，通过设置到环形行进装置9的环形带6入口的传送辊8，在上部移动区域的环形带6上安装了设置在支撑板5上的面板，并通过环形带6将其传送到平台12上。为环形带6设置多个吸孔20(通孔)，并给平台12的上表面设置多个空气吸口21。因此，通过吸孔20从平台12的空气吸口21吸住面板2，由此面板2被吸住并锚定到平台12。接下来，作为清洗液，将水从清洗喷嘴1喷射到面板2的表面上。清洗头3压向面板2的表面、在给面板2的表面供给水的同时进行旋转、并在面板的表面上通过。位于面板表面上的异物4被清洗并移除。
从面板2的表面清洗掉和移除的异物4和清洗液穿过设置在上部移动区域的环形带6的吸孔20，并落到下部移动区域的环形带6上。然后异物4和清洗液从下部移动区域的环形带6的吸孔20再次落到环形带6下面、作为排放水11在面板清洗液排放通道10中汇集、并被排放。然而，吸孔20尺寸较小(例如直径为2mm)。因此，异物4不容易排放，一部分异物4没有从吸孔20排放到外部。而该部分粘附到环形带6的内表面。
被清洗的面板2通过环形带6传送，其由设置在环形行进装置9的环形带6出口侧的传送辊8实现，并传送到下一步骤。当在下一个面板清洗工序之前将面板传送到平台上时，在环形带6旋转同时，清洗液从清洗喷嘴13朝着环形带6内表面喷射到远离环形带6设置的旋转支撑辊7a的位置，从而将粘附到环形带6的内表面的异物清洗掉。更具体地说，清洗液从面板传送方向的前面在向后和斜着向上的方向上从清洗喷嘴13喷射，并在离开环形带6设置的旋转支撑辊7a的位置处向环形带6的内表面喷射，由此将粘附到环形带6的内表面的异物4移除。从清洗喷嘴13喷射的清洗液例如可以是在环形带6的宽度方向上具有较宽角的狭缝的形式。因而，喷射液体的方向稍微向传送方向的后面，因此与随环形带6一起传送的异物4移动的方向相反。然后，通过排放通道14，被清洗掉的异物4随清洗液一起被排放到清洗设备外部。
接下来将描述本实施例的效果。清洗喷嘴13和排放通道14设置在面板传送方向上的平台12的后端部上，且清洗液从清洗喷嘴13向着环形带6的内表面喷射，从而清洗面板。由此可移除下述这部分异物4，并通过水排放通道14将其随排放水一起排放到清洗设备的外部，所述这部分异物是通过清洗面板表面而被移除的、粘附到环形带6并再次进入平台12与面板2之间的异物。因此，环形带6的旋转可阻止下述情形，即异物4聚积在平台12上、由异物4产生的结块给要清洗的面板施加局部载荷、并且在液晶显示面板的显示或其他应用中发生局部缺陷。
提供水排放通道14能够使清洗掉的异物有效地排放，并阻止粘附到环形带6的内表面的异物4的聚积，其中通过所述水排放通道14可将通过清洗移除的异物4和排放的水排放到清洗设备外部。
清洗喷嘴13在面板传送方向上设置在平台12的后端部处，由此可在环形带6到达设置平台12的位置之前移除粘附到环形带6的内表面的异物4。可阻止下述情形，即异物4到达平台12并产生结块、给面板施加局部载荷，并且在显示中发生局部缺陷。清洗液从面板传送方向的前面在向后和斜着向上的方向上从清洗喷嘴13喷射，由此清洗液喷射方向和异物4的移动方向彼此相反。因此，可有效地移除粘附到环形带6的内表面的异物4。
还可以采用下述结构，即其中以与环形带6互相平行的方式设置多个带。在该情形中，不必给环形带6设置贯穿的吸孔20。通过带之间的间隙吸住面板2，由此将其吸住并锚定到平台12。
此外，优选地在面板传送方向上给平台12的后端部设置用于清洗环形带的内表面的清洗喷嘴13。然而，清洗喷嘴也可设置在其他位置来清洗环形带6的内表面。
接下来将描述本发明的第二个实施例。图3是显示根据本发明的第二个实施例的面板清洗设备的横截面图。
本实施例与第一个实施例不同在于，在本实施例中，使用用于清洗环形带6内表面的清洗喷嘴13来进行高压清洗。清洗喷嘴13通过供给管16连接到高压泵17和储水槽18，如图3中所示。因此，可从清洗喷嘴13喷射高压水15，提高了能够清洗环形带6的内表面的能力，并可提高从环形带6的内表面移除异物的能力。在所有其他方面，本实施例的结构与第一个实施例的相同。由于该原因，在图3中，相同的符号标记表示与图2中相同的组件，并且将省略对它们的详细描述。此外，本实施例的其他作用和效果与第一个实施例的作用和效果相同。
因而本发明适用于清洗例如液晶面板的玻璃基板。
权利要求
1.一种面板清洗设备，包括用于传送面板的环形带；用于从所述环形带的内侧下面支撑所述传送面板的平台；用于从上面清洗所述面板的清洗装置；和用于清洗所述环形带的内表面的清洗喷嘴。
2.根据权利要求1所述的面板清洗设备，其中所述清洗喷嘴将清洗液喷射到传送方向上的所述平台的所述面板的后端部上的所述环形带的内表面上。
3.根据权利要求1或2所述的面板清洗设备，其中所述环形带在一对旋转支撑辊之间延伸，并且在其上的移动区域中传送所述面板，其中所述一对旋转支撑辊的旋转轴是水平的。
4.根据权利要求1或2所述的面板清洗设备，其中从所述面板传送方向的前面到向后和斜向上的方向上，所述清洗喷嘴将清洗液喷射到位于所述面板的传送方向上的后部侧上的旋转支撑辊的位置处的所述环形带的内表面上，所述位置是离开所述环形带设置的。
5.根据权利要求1或2所述的面板清洗设备，其中所述环形带具有多个通孔；所述平台在上表面上具有空气吸口；和通过所述通孔吸住所述面板，且由此将其锚定到所述平台。
6.根据权利要求1或2所述的面板清洗设备，其中所述环形带配置有彼此平行设置的多对带；所述平台在上表面上具有空气吸口；和通过所述带之间的间隙吸住所述面板，由此将其锚定到所述平台。
7.根据权利要求1或2所述的面板清洗设备，其中所述清洗装置具有用于向所述面板的表面供给清洗液的清洗喷嘴；和清洗头，其通过与所述面板接触并在所述面板的表面上通过从而对所述面板的表面进行清洗。
8.根据权利要求1或2所述的面板清洗设备，进一步具有用于汇集和排放所述清洗液的排放构件。
9.一种面板清洗方法，其中面板在环形带上传送，通过所述平台从所述环形带下面支撑所述面板，并且通过清洗装置从上面清洗由所述平台支撑的所述环形带上的所述面板，其中清洗液从清洗喷嘴向着传送方向上的所述平台的所述面板的后端部上的所述环形带的内表面喷射，由此清洗掉聚积在所述环形带的内表面上的异物。
10.根据权利要求9所述的面板清洗方法，其中所述环形带在一对旋转支撑辊之间延伸，并且在其上的移动区域中传送所述面板，其中所述一对旋转支撑辊的旋转轴是水平的；并且从所述面板的传送方向的前面、在向后和斜向上的方向上，所述清洗喷嘴将清洗液喷射到位于在所述面板的传送方向上的后部侧上的旋转支撑辊的位置处的环形带的内表面上，所述位置是离开所述环形带设置的。
全文摘要
在使用环形带在平台上传送面板、从清洗喷嘴喷射清洗液、并通过清洗头从面板的表面清洗并移除异物的面板清洗装置中，为了清洗并移除聚积在环形带的内表面上的、已经从面板的内表面移除的一部分异物，在面板的传送方向上的平台的后端部上设置清洗喷嘴和水排放通路。因此，可清洗并移除聚积在传送面板的环形带上的异物，并将其排放到清洗设备的外部。
文档编号B08B3/02GK101071761SQ20071010099
公开日2007年11月14日 申请日期2007年5月8日 优先权日2006年5月8日
发明者吉田仁 申请人:Nec液晶技术株式会社