专利名称：薄膜太阳能电池制造过程中清洗的一种新方法
技术领域：
本发明涉及到薄膜太阳能电池制造过程中的清洗方法，特别涉及到大规模薄膜太阳能电 池生产流程中的超声清洗。
背景技术：
薄膜太阳能电池生产，归属于半导体产业，对清洁度和联结有效性有很大的要求。因此， 在生产过程中需要对基片进行清洗。在现有技术中，为降低成本和工艺复杂性，通常在生产 过程中使用一台滚刷清洗机完成全部四次清洗；(1)透明导电玻璃清洗；(2)透明导电玻璃 刻膜后清洗；(3)透明导电膜沉积电池功能层刻膜后清洗；(4)背电极沉积完成第三次刻膜 后电池片的清洗。在(1)中主要去除表面的大颗粒和油污，(2)中主要是去除表面在(1) 后残留和污染的微细颗粒和油污以及在刻膜后刻槽边缘残留物，(3)中去除刻膜后刻膜后非 晶硅边缘的残留物；(4)中除去刻膜后铝和非晶硅在槽中残余物。
传统的滚刷清洗原理清洗液中有机分子有亲水基和憎水基，根据"物质结构相似者相溶" 的规则，有油污存在的时候，有机分子憎水基一端与油吸引，亲水基一端朝向水，形成一层 薄膜将小油滴包围，阻止小油滴彼此结合，从而得到以油为分散质，以水为分散剂的乳浊液， 达到了去油的目的，但是滚刷清洗的清洁力度毕竟有限，对附着力稍强和不溶于清洗液的污 渍的污染物达不到清洗目的。因此，传统的清洗方式下薄膜太阳能电池的质量达不到理想要 求，膜层质量不高；同时，还会对背电极金属膜造成损伤，降低产品质量。而且，清洗透明 导电玻璃后残留的清洗液会对背电极金属膜造成损伤。
发明内容
本发明的目的在于提供了薄膜太阳能电池制造过程中清洗的一种新方法，以更好的清除 透明导电玻璃上的微细颗粒和油污以及在不伤及背电极金属膜层的前提下去除残留物，使得 产品在获得良好的外观的同时，在电性能上有较大的提高。 为达到上述目的，本发明提供了如下技术方案
薄膜太阳能电池(包括非晶硅、微晶硅、CIGS等)制造过程中清洗的一种新方法，所述 的电池制造过程中清洗包括透明导电玻璃清洗，透明导电玻璃刻膜后清洗，沉积薄膜电池功 能层刻膜清洗，电池片清洗，其特征在于 .
所述的各清洗处理过程均为(1) 清洗液刷洗，利用毛刷、清洗液对玻璃表面的大颗粒污物进行物理性清洗；
(2) 清洗液超声清洗，超声波纵波有疏密变化，拉伸分子的过程中在某些特定区域产生
气泡，空化气泡的形式存在于溶液中，在下一周期中，产生空化气泡爆破，产生1， 000atm
这个作用力作用到表面，冲落表面的污染物，另外，清洗液对表面污染物有溶解作用；
(3) 超纯水超声波清洗，不加清洗液；
(4) 除静电。
所述的薄膜太阳能电池制造过程中清洗的一种新方法，其特征在于超声清洗过程中使用
喷淋水包括自来水、纯水、高纯去离子水；清洗液包括适当酸性或碱性清洗液。
所述的清洗新方法，其特征在于，将其应用于薄膜太阳能电池片生产的清洗过程，以提
高电池片清洁度，提高电池片产品质量。
所述的清洗新方法，其特征在于，将其应用于薄膜太阳能电池片生产的清洗过程，以提
高电池片清洁度，提高电池片产品质量。
与原来技术相比，本发明有以下明显优点
(1) 避免了清洗液污染，大大提高了基片的洁净度；
(2) 工艺简单对电池片清洗过程中机器调节操作方便，避免交叉污染。
具体实施例方式
将电池片选用组合式超声波清洗机清洗，以便于增减或改变各工序部件的组合，该清洗机的全部工艺流程为
A、 入料；
B、 洗洁剂刷洗利用毛刷+洗洁剂对玻璃表面的大颗粒污染物进行物理性清洗；
C、 风切；
D、 洗洁剂超声波清洗利用超声波产生的空化效应，在水中生成无数个微小气泡，每个气泡内的压强达1000个大气压，利用具有高压强的微小气泡在玻璃表面的爆破，对微观表面黏附的灰尘进行去除处理；
E、 风切；
F、 超声波清洗利用超声波产生的空化效应，在水中生成无数个微小气泡，每个气泡内的压强达1000个大气压，利用具有高压强的微小气泡在玻璃表面的爆破，对微观表面黏附的灰尘清洗液清除处理；
G、 风切；
H、 除静电；丄出料。通过清洗，能够很好的清洁电池片并去除刻膜后留下的残渣。
超声清洗过程中使用喷淋清洗用水包括自来水纯水、高纯去离子水；清洗液包括适当酸性或碱性清洗液。
权利要求
1、薄膜太阳能电池制造过程中清洗的一种新方法，所述的电池制造过程中清洗包括透明导电玻璃清洗，透明导电玻璃刻膜后清洗，沉积薄膜电池功能层刻膜清洗，电池片清洗，其特征在于所述的各清洗处理过程均为(1)清洗液刷洗，利用毛刷、清洗液对玻璃表面的大颗粒污物进行物理性清洗；(2)清洗液超声清洗，超声波纵波有疏密变化，拉伸分子的过程中在某些特定区域产生气泡，空化气泡的形式存在于溶液中，在下一周期中，产生空化气泡爆破，产生1,000atm这个作用力作用到表面，冲落表面的污染物，另外，清洗液对表面污染物有溶解作用；(3)超纯水超声波清洗，不加清洗液；(4)除静电。
2、根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池制造过程中清洗的一种新方法，其特征在于超声 清洗过程中使用喷淋水包括自来水、纯水、高纯去离子水；清洗液包括酸性或碱性清洗液。
全文摘要
本发明公开了一种薄膜太阳能电池制造过程中清洗的一种新方法，在薄膜太阳能生产过程中，根据各工艺不同特点，采取了新的清洗方法。在生产过程中总共需要四次清洗，分别为透明导电玻璃刻膜前清洗，透明导电玻璃刻膜后清洗，薄膜电池功能层沉积刻膜后清洗，电池片清洗。根据工艺的特点，在电池片制造过程前后四次清洗均使用了超声清洗机进行清洗，提高了薄膜太阳能电池片的性能。
文档编号B08B11/00GK101527334SQ200910116049
公开日2009年9月9日 申请日期2009年1月12日 优先权日2009年1月12日
发明者孙嵩泉, 王杨阳, 章新良, 毅 罗, 陈良范 申请人:普乐新能源(蚌埠)有限公司