专利名称：Ipa雾化干燥机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种对硅片的清洗的IPA雾化干燥机。
背景技术：
IPA雾化干燥机主要用于对硅片的清洗，以往要用IPA清洗硅片时，是把硅片放 入IPA液体内进行浸泡清洗，但是这种清洗既洗不干净也浪费材料并且效率也低。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种IPA雾化干燥机，解决常用的清洗设备在IPA液体 内浸泡清洗，效率低而且浪费严重的问题。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的。IPA雾化干燥机，包括石英缸、铝板加热器、冷却盘管和提升装置，在整个设备 的顶部设置有风机，在所述冷却盘管位于石英缸的上部侧面，所述铝板加热器位于石英 缸的下部，所述提升装置位于石英缸的中心上部，在石英缸内提升产品。所述冷却盘管 的外部连接冷水循环机。整个设备的外围还设置有二氧化碳灭火器。石英缸的下部通过 管路连接到废液箱，可以将废液收集起来。本公司所制作IPA雾化干燥机，(1)它首先是让IPA受热蒸发，然后再利用石 英缸顶部冷却盘管使它直接落在要洗的硅片上，这样就要比直接放在IPA液体里洗的干 净。(2)我公司的设备，它上下放置硅片是利用提升机构来实现的，这样可避免人直接接 触到IPA液体，并且它提高了工厂的生产效率。(3)本设备所洗硅片的时间、批次、温度 的高低、等参数是可以根据PLC来控制。并且我公司的程序可根据用户所要求的工艺的 不同来设定，已达到高效率的生产。IPA干燥剂的工作原理是手动把液体(IPA)注入到石英缸(1)内，然后通过石英 缸底部的铝板加热器(2)，把里面的液体加热到82.7°C，当里面的液体达到温度时，就会 使里面的液体气化，当气化的液体遇到石英缸顶部的冷却盘管(3)时，就会结晶落到石 英缸里面花篮中的硅片上，使硅片得以洗干净，利用设备的提升机构把花篮中的硅片提 出来，然后手动排出废液。
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。图1是本实用新型实施例所述的IPA雾化干燥机风机部分的结构示意图；图2是本实用新型实施例所述的IPA雾化干燥机的整体结构示意图。
具体实施方式
如图1至2所示，IPA雾化干燥机，包括石英缸1、铝板加热器2、冷却盘管3和 提升装置5，在整个设备的顶部设置有风机6，在所述冷却盘管3位于石英缸1的上部侧面，所述铝板加热器2位于石英缸1的下部，所述提升装置5位于石英缸1的中心上部， 在石英缸1内提升产品。所述冷却盘管3的外部连接冷水循环机9。整个设备的外围还 设置有二氧化碳灭火器8。石英缸1的下部通过管路连接到废液箱7，可以将废液收集起来。本公司所制作IPA雾化干燥机，(1)它首先是让IPA受热蒸发，然后再利用石 英缸顶部冷却盘管使它直接落在要洗的硅片上，这样就要比直接放在IPA液体里洗的干 净。(2)我公司的设备，它上下放置硅片是利用提升机构来实现的，这样可避免人直接接 触到IPA液体，并且它提高了工厂的生产效率。(3)本设备所洗硅片的时间、批次、温度 的高低、等参数是可以根据PLC来控制。并且我公司的程序可根据用户所要求的工艺的 不同来设定，已达到高效率的生产。IPA干燥剂的工作原理是手动把液体(IPA)注入到石英缸(1)内，然后通过石英 缸底部的铝板加热器(2)，把里面的液体加热到82.7°C，当里面的液体达到温度时，就会 使里面的液体气化，当气化的液体遇到石英缸顶部的冷却盘管(3)时，就会结晶落到石 英缸里面花篮中的硅片上，使硅片得以洗干净，利用设备的提升机构把花篮中的硅片提 出来，然后手动排出废液。
权利要求1.IPA雾化干燥机，包括石英缸、铝板加热器、冷却盘管和提升装置，其特征在于， 在所述冷却盘管位于石英缸的上部侧面，所述铝板加热器位于石英缸的下部，所述提升 装置位于石英缸的中心上部，在石英缸内提升产品。
2.根据权利要求1所述的IPA雾化干燥机，其特征在于，在整个设备的顶部设置有风机。
3.根据权利要求1所述的IPA雾化干燥机，其特征在于，所述冷却盘管的外部连接冷 水循环机。
4.根据权利要求1所述的IPA雾化干燥机，其特征在于，石英缸的下部通过管路连接 到废液箱。
专利摘要IPA雾化干燥机，包括石英缸、铝板加热器、冷却盘管和提升装置，在整个设备的顶部设置有风机，在所述冷却盘管位于石英缸的上部侧面，所述铝板加热器位于石英缸的下部，所述提升装置位于石英缸的中心上部，在石英缸内提升产品。所述冷却盘管的外部连接冷水循环机。整个设备的外围还设置有二氧化碳灭火器。本公司所制作IPA雾化干燥机，首先是让IPA受热蒸发，然后再利用石英缸顶部冷却盘管使它直接落在要洗的硅片上，这样就要比直接放在IPA液体里洗的干净。上下放置硅片是利用提升机构来实现的，这样可避免人直接接触到IPA液体，并且它提高了工厂的生产效率。本设备所洗硅片的时间、批次、温度的高低、等参数是可以根据PLC来控制。
文档编号B08B3/10GK201791690SQ20102023496
公开日2011年4月13日 申请日期2010年6月24日 优先权日2010年6月24日
发明者刘金升, 祁延山, 裴文龙 申请人:苏州华林科纳半导体设备技术有限公司